Е.Н.Пятышев Микросистемная техника « Введение в MЭMС ». Ю.Д.Акульшин Санкт-Петербург СПбГПУ Санкт-Петербургский Государственный Политехнический Университет Лаборатория Нано- и Микросистемной техники М.С.Лурье Часть II

МИРОВОЙ УРОВЕНЬ Датчики давления Более 500 млн /год Акселерометры Более 90 млн /месяц Гироскопы Более 100 млн /год BMW 740i - более 70 МЭМС датчиков Более 1 млн микрозеркал Цифровое микрозеркальное устройство фирмы TI Микротурбогенератор 2,2 млн оборотов / мин 60 Вт Сопловые устройства струйных принтеров Более 500 млн /год Более 0,50 млн /год РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ Перспектива: замена батарей питания

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ Число механических компонентов, М Число транзисторов, Т 10 9 Т=10 7 … 10 8 М=10 4 … 10 6 Уровень и прогноз Рост числа элементов – новое качество Распределенные системы

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ Мировой уровень продаж 2004 год Микросистемная техника 18 млрд долларов Микроэлектромеханические системы 6 млрд долларов Распределение продаж по отраслям Транспорт 42,9% Медицина 23,8% Военная техника 14,3% Информационные технологии 14,3% Промышленная автоматизация 4,8%

ВЧ МЭМС RF MEMS МЭМС – источники энергии Power MEMS МЭМС МОЭМС МЭМС – флюидика Био-МЭМС MOEMS Bio-MEMS Microfluidics

МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ Датчик промышленного стандарта Автомобильный датчик Годовой выпуск более 500 млн Защитный гель Пластиковый корпус

МЭМС Элементы зубчатых зацеплений