Национальная академия наук Республики Беларусь Институт физики им. Б.И. Степанова Космос-НТ, Программное мероприятие 3.4, Договор 232, доп. согл декабря 2009 г. НИОКР «Разработка и создание нового поколения миниатюрных датчиков статического электричества на основе МЭМС из анодного оксида алюминия для систем защиты электронного оборудования». Шифр «ДСЭКА-НТ» Лаборатория микро- электроники, механики и сенсорики Мухуров Н.И., зав. лаб., д.т.н. Laboratory of Micro- Electronic, Mechanic and Sensoric Institute of Physics of National Academy of Sciences of Belarus Космос-НТ, Программное мероприятие 3.4, Договор 232, доп. согл. 3, г.

Задача этапа 4.1 Разработать технологическую документацию на изготовление экспериментальных образцов датчиков статического электричества. Разработать программу и методику метрологической аттестации лабораторного макета установки для измерения электростатических потенциалов в метрологической лаборатории. Разработать методику испытания экспериментального образца датчика статического электричества. Laboratory of Micro- Electronic, Mechanic and Sensoric Institute of Physics of National Academy of Sciences of Belarus Космос-НТ, Программное мероприятие 3.4, Договор 232, доп. согл г. Исполнители со стороны Республики Беларусь Головной исполнитель – Государственное научное учреждение «Институт физики имени Б.И. Степанова Национальной академии наук Беларуси». Соисполнитель – Белорусский национальный технический университет. со стороны Российской Федерации Головная организация-исполнитель-потребитель – Институт космических исследований РАН, г. Москва. Разработана технологическая документация на изготовление экспериментальных образцов датчиков статического электричества и ей присвоен соответствующий номер. Совокупность последовательных технологических операций изготовления датчика включает операций: от подготовки исходных пластин алюминия до формирования конструктивного варианта несущей основы датчика из анодного оксида алюминия толщиной мкм с соответствующей конфигурацией конструктивных элементов - подвижных элементов (чувствительный элемент-якорь) и соответствующих им неподвижных элементов, окончательное изготовление датчика с созданием тонкопленочных электродов, межсоединений, контактных площадок методом вакуумного напыления через биметаллические маски.

Последовательность технологических операций получения экспериментального образца датчика статического электричества Космос-НТ, Программное мероприятие 3.4, Договор 232, доп. согл г. 1.Резка пластин из алюминиевой ленты2.Мойка алюминиевых пластин 3.Отжиг алюминиевых пластин4. Рихтовка алюминиевых пластин 5.Мойка алюминиевых пластин6. Полирование алюминиевых пластин 8.Первичное анодирование алюминиевых пластин 9.Экранирование алюминиевых пластин 10.Удаление первичного анодного слоя 11. Анодирование алюминиевых пластин12.Удаление экрана с алюминиевых пластин 7.Мойка алюминиевых пластин 14.Напыление молибдена на пластины 15.Нанесение позитивного фоторезиста 16.Сушка фоторезиста 17.Совмещение и экспонирование 18.Проявление позитивного фоторезиста 19. Термическое задубливание фоторезиста при Т=180 о С20.Травление молибденовой пленки 13.Мойка алюминиевых пластин 21.Травление анодного оксида алюминия22.Удаление металлофоторезистивной маски 23.Экранирование нерабочей поверхности пластин 24.Химическое травление алюминия 25.Удаление пленки ХСЛ с поверхности подложек из Al 2 O 3 26.Отжиг подложек из Al 2 O 3 27.Монтаж оправок с подложками и масками 28.Напыление никеля на подложки 29.Демонтаж оправок с подложками 30. Контроль

Laboratory of Micro- Electronic, Mechanic and Sensoric Institute of Physics of National Academy of Sciences of Belarus Космос-НТ, Программное мероприятие 3.4, Договор 232, доп. согл г. Лабораторный макет установки измерения электростатических потенциалов ПК измерительный преобразователь Узел механического сканирования на базе ШД Блок управления ШД узла механического сканирования Блок связи ПК с узлами установки отсчетный электрод объектконтроля трансимпедансный усилитель