Растровый микроскоп Подготовил: Воробьев Н.В. Схема растрового электронного микроскопа.

Презентация:



Advertisements
Похожие презентации
Растровая электронная микроскопия и элементный анализ Батурин А.С. 26 октября 2005 года.
Advertisements

ЛЕКЦИЯ 14 Электронная микроскопия. Принципиальная схема просвечивающего электронного микроскопа 1 - источник излучения; 2 - конденсор; 3 - объект; 4 -
Лекция 23Слайд 1 Темы лекции 1.Принцип действия растрового электронного микроскопа. 2.Схема РЭМ. 3.Понятие увеличения в РЭМ. 4.Детектор электронов.
РГУ им. Иммануила Канта Инновационный парк Центр ионно-плазменных и нанотехнологий ОЖЕ МИКРОАНАЛИЗАТОР JAMP – 9500 F Образец до травления Образец после.
РГУ им. Иммануила Канта Инновационный парк Центр ионно-плазменных и нанотехнологий СКАНИРУЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП JSM-6390LV Скан образца строительного.
Сверление Электронным пучком Выполнил студент гр.350-1: Н.А. Прокопенко Проверил Доцент кафедры ЭП: А.И. Аксенов Министерство образования и науки Российской.
Электронная микроскопия это способ исследования различных структур, которые не находятся в пределах видимости светового микроскопа и имеют размеры меньше.
Электронный микроскоп Выполнила: ученица 11 класса «Б» МОУ СОШ 288 г. Заозерска Якубенко Екатерина.
Министерство образования и науки Российской Федерации Калужский филиал федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального.
Лекция 17Слайд 1 Темы лекции 1.Принцип действия просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). 2.Схема ПЭМ.
Лекционный курс «Физические основы измерений» Раздел ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ НАНОТЕХНОЛОГИЙ Тема ЗОНДОВЫЕ МИКРОСКОПЫ. 1. СКАНИРУЮЩИЙ (РАСТРОВЫЙ) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП.
Введение в специальность кафедра прикладной и компьютерной оптики Осветительные системы.
Сканирующая электронная микроскопия. Растровый электронный микроскоп прибор, предназначенный для получения изображения поверхности объекта с высоким (до.
Лекционный курс «Физические основы измерений и эталоны» Раздел ИЗМЕРЕНИЯ В НАНОТЕХНОЛОГИЯХ Тема ЗОНДОВЫЕ МИКРОСКОПЫ. СКАНИРУЮЩИЙ (РАСТРОВЫЙ) ЭЛЕКТРОННЫЙ.
ВТОРИЧНЫЙ ИОННЫЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТР PHI-6600 фирмы PERKIN ELMER Исследование элементного состава и распределения примесей по глубине основано на анализе.
Лазерно-ультразвуковой дефектоскоп УДЛ-2М. Характеристики и принцип работы лазерно-ультразвукового дефектоскопа Рассеянный УЗ сигнал Зондирующий сигнал.
Название предмета: Химия поверхностных явлений, адсорбции и наносистем (ХПЯАиН) Лекция 4 Методы исследования наночастиц и наносистем Преподаватель: Гайнанова.
Лекционный курс « Экспериментальные методы физических исследований » Раздел ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ НАНОТЕХНОЛОГИЙ Тема ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ОПТИКИ. ПРОСВЕЧИВАЮЩИЙ.
Плазменные установки. Плазменный нагрев Дуга, свободно горящая в воздухе, имеет температуру столба К. Если сжать ее потоком газа, то температура.
Транксрипт:

Растровый микроскоп Подготовил: Воробьев Н.В

Схема растрового электронного микроскопа

Взаимодействие электронного пучка с образцом Рисунок 2-Область взаимодействия

Глубина генерации сигналов

Детектор вторичных электронов Рисунок 4 - Схема детектора Эверхарта–Торнли

Детектор отраженных электронов Рисунок 5-Полупроводниковый детектор отраженных электронов Рисунок 6-Принцип формирования композиционного и топографического контраста

Электронный микроскоп ТМ 1000 Рисунок 7 – внешний вид установки

Основные характеристики электронного микроскопа ТМ 1000 Ускоряющее напряжение -15 кВ Степень увеличения - От 20 до Максимальная просматриваемая область: 3,5 мм (квадратная) Степень разряжения в электронной пушке - Свыше 5 х 10-2 Па Степень разрежения в камере для образца - Около 30 ~ 50 Па; изменение от 1 до 15 Па (без регулирования степени разрежения) Размер образца -70 мм (диаметр) Толщина образца - Менее 20 мм Способ управления - С помощью портативной вычислительной машины (специализированного компьютера) Детектор - Высокочувствительный полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов Конденсорная линза и линза объектива - Постоянный магнит + электромагнит Размер запоминаемого кадра х 960, 640 х 480 элементов изображения (только изображение)