ЗВОРОТНЕ РЕЗЕРФОРДІВСЬКЕ РОЗСІЮВАННЯ ЗВОРОТНЕ РЕЗЕРФОРДІВСЬКЕ РОЗСІЮВАННЯ (RUTHERFORD BACKSCATTERING) Підготував : Остапенко Олександр ЕП. м -51

КОНЦЕПЦІЯ МЕТОДУ Рисунок 1 Схема застосування методу ЗРР 2

Рисунок 2 - Тандемний прискорювач іонів 3

4 Установка іонної імплантації на базі прискорювача K2MV (HVEE, Нідерланди ) з системою спектроскопії зворотного Резерфордовского розсіювання (RBS- аналізу )

(1) 5

(2) (3) 6 Аналітичні можливості методу

(4) (5) 7

Рисунок 3 – Геометрія розсіювання частинок від мішені 8

(6) (7) 9

Рисунок 4- Енергетичний спектр іонів гелію з енергією 2 МеВ назад розсіяних від кремнієвої мішені (8) 10

(9) (10) 11

ПЕРЕВАГИ МЕТОДУ ПЕРЕВАГИ МЕТОДУ RBS o можливість визначення дуже малих концентрацій, особливо у випадках тяжких елементів ; o можливість визначення абсолютних концентрацій ; o можливість дослідження хімічних процесів в твердих тілах і побудова глибоких профілів розподілу домішків ; o можливість визначення товщини тонких плівок із спектрів ; o метод є неруйнівним методом кількісного і якісного аналізу. 12

ОБМЕЖЕННЯ (НЕДОЛЫКИ) ДАНОГО МЕТОДУ: низька чутливість при визначенні легких елементів ; низька чутливість при визначенні легких елементів ; втрата можливості проведення якісного аналізу в випадку тяжких елементів ; втрата можливості проведення якісного аналізу в випадку тяжких елементів ; складність і неоднозначність в інтерпретації спектрів ( необхідно додаткова інформація ); складність і неоднозначність в інтерпретації спектрів ( необхідно додаткова інформація ); неможливість отримання профілів розподілу легких домішок тяжкій матриці. неможливість отримання профілів розподілу легких домішок тяжкій матриці. 13

ДЯКУЮ ЗА УВАГУ ДЯКУЮ ЗА УВАГУ