Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное агентство по образованию Научно-исследовательский институт многопроцессорных вычислительных систем имени академика А.В. Каляева Южного федерального университета Директор НИИ МВС ЮФУ член-корреспондент РАН И.А. Каляев Руководитель ЦКП МСТИС, зам. директора НИИ МВС ЮФУ, к.т.н. В.Н. Котов Центр коллективного пользования микросистемной техники и интегральной сенсорики (ЦКП МСТИС)

Технологический центр микросистемотехники НИИ МВС ЮФУ – Центр коллективного пользования микросистемной техники и интегральной сенсорики (ЦКП МСТИС) Структура ЦКП МСТИС: -лаборатория схемотехнического и топологического проектирования и измерений; -участок фотошаблонов; -участок фотолитографии; -участок химии; -участок лазерно-технологический; -участок вакуумно-плазменных работ; -участок термических работ и ионного легирования; -участок сборочно-монтажных работ; -испытательный участок; -вспомогательные технологические подразделения.

Технологическое оснащение основных рабочих мест ЦКП МСТИС

Общая схема реализации технологии удаленного доступа в ЦКП МСТИС

Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет Микросистемные модули и сенсорные элементы

Интегральные МЭМС-преобразователи давления Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

Интегральные преобразователи температуры Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

Интегральные МЭМС-преобразователи ускорения (вибрации) и деформации Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

Твердотельные микротермоанемометры Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

Семейство унифицированных аналоговых (4 – 20мА), частотных (n-p-n OK) и цифровых (CAN 2.0B) датчиков физических величин систем Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

Элементы микросистемной техники для изделий гидроавиации БЕ-200 Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Диапазон измерения частот вращения, об/мин Дискретность цифровой индикации, об/мин 1 10 (по требованию) Дискретность индикации светодиодной шкалы, об/мин100 Основная погрешность измерений, % 0,02 0,1 Диапазон рабочих температур ИЧВ–103, 0 С Диапазон рабочих температур ДЧВ–103, 0 С Напряжение питания (борт. сеть по ГОСТ 19705–89), В Габаритные размеры ИЧВ–103, мм65х65х95 Масса ИЧВ–103, г320 Габаритные размеры ДЧВ–103, мм 30х69 Масса ДЧВ–103, г80 Двухканальный цифровой авиационный тахометр ТА-103 Основные результаты ЦКП МСТИС за последние 5 лет

МЭМС и МОЭМС устройств Инерциальная система пространственной ориентации мобильных объектов (крена- дифферента, параметров движения) Перспективные разработки ЦКП МСТИС

МЭМС и МОЭМС устройств Перспективные разработки ЦКП МСТИС

МЭМС и МОЭМС устройств Перспективные разработки ЦКП МСТИС

Структура построения системы мониторингового контроля с применением цифровых и беспроводных технологий Перспективные разработки ЦКП МСТИС

Программно-аппаратное оснащение ЦКП МСТИС В последние годы выполнен комплекс организационно-технических мер по участию в программах оснащения новым оборудованием и новым программным обеспечением. Так в рамках инновационной программы 2006 г. приобретен аппаратно-программный комплекс LabView (National Instruments). Оформлена заявка на приобретение в 2008 году следующих позиций технологического оборудования для обеспечения выполнения работ по построению мультисенсорных нано- и микросистем на основе нанокомпозитных материалов и структур: –Многофункциональная быстродействующая печь серии РЕО фирмы ATV technologie GMBH – 45,0 млн. руб. –Установка для получения тонких эпитаксиальных пленок сложных оксидов «Плазма 50 СЭ» фирмы ООО «ЭЛИТЕХ», г. Воронеж – 2 млн. руб. –Прецизионный лазерный маркирующий комплекс ЛК «Бетамарк-2005» фирмы ООО «Центр лазерных технологий», г. Санкт-Петербург – 1,7 млн. руб.

Дальнейшее развитие ЦКП МСТИС и реализация перспективных разработок планируется в соответствии с Программой развития ФГОУ ВПО «Южный федеральный университет» на 2007 – 2010 годы, по приоритетным научно- образовательным направлениям в рамках поискового проблемно-ориентированного проекта, направленного на создание научно-технического задела и совершенствования подготовки научно-педагогических кадров в области микроэлектронных интеллектуальных мультисенсорных устройств и мониторинговых систем на тему «Мультисенсорные микро- и наносистемы мониторингового контроля и диагностики с интеллектуальными устройствами сбора и передачи информации по цифровым и беспроводным технологиям» по направлению конкурсного отбора «Генерация конкурентоспособной на мировом уровне инновационной системы ЮФУ для обеспечения подготовки высококвалифицированных кадров, малых коллективов и формирования инновационной среды ЮФО, РФ (инновационные проекты)».