Что же такое вакуум? Эванджели́ста Торриче́ли ( ) Отто фон Герике ( )

История развития вакуумной техники Александр Николаевич Лодыгин ( ) Томас Эдисон ( )

Диапазоны разделения областей вакуума Низкий вакуум λ<<s – соответствующая область давлений от 0,1 до Па. Средний вакуум λs – соответствующая область давлений от 100 до 0,1 Па. Высокий вакуум λ>>s – соответствующая область давлений от 0,1 до Па.

Методы и приборы для измерения вакуума Приборы, предназначенные для измерения давлений, значительно ниже атмосферного, называют вакуумметрами. Вакуумметры состоят из преобразователя давления (ПД) и измерительного блока (ИБ). ПД – устройство, присоединяемое к вакуумной камере для непосредственного восприятия давления и преобразования его в другую физическую величину, подлежащую измерению. ИБ - устройство, обеспечивающее требуемый режим работы ПД, усиление и измерение его выходного сигнала.

Жидкостные вакуумметры с открытым коленом Р Х = Р А – ρ ж ·g·Δh с закрытым коленом Р Х = ρ Ж ·g·Δh Достоинства: - простота конструкции, - наглядность измерений. Недостатки: -проникновение паров жидкости в вакуумную систему, - небольшой диапазон определяемых давлений, - большие габариты, - недостаточная прочность конструкции, - трудность автоматизации измерений и записи отсчетов. Погрешность до 10 Па Диапазон измерения давлений с нижним пределом до 10 мм рт. ст. -3

Механические вакуумметры Вакуумметр (трубка) Бурдона Компрессионный вакуумметр Механический деформационный Мембранный вакуумметр

Достоинства: - газо независимость - высокая точность измерения (обычно 0,2% от показываемого значения) - стойкость против коррозийных газов Недостатоки: небольшой диапазон измерений. Погрешность до 0,4% Диапазон измерения от 10 до 10 Па. 5 -1

Тепловые вакуумметры Достоинства: -широкий диапазон измерений от милибар до атмосферного давления - точность измерений ± 10 %, которая достаточна для многих применений. Недостатки: - зависимость показаний от состава газа и температуры окружающей среды - большая инерционность. Погрешность 10-40%. Диапазон измерения составляет 10 2 –10 -1 Па

Ионизационные вакуумметры Рис. 5. Схема ионизационного вакуумметра: А анод; К катод; Кол коллектор. Рис. 6. Лампа Байярда- Альперта: 1 анод; 2 катод; 3 коллектор; А анод. Рис. 7. Вакуумметр Лафферти: 1 катод; 2 анод; 3 коллектор; 4 экран; 5 магнит; Н напряжённость магнитного поля.

Электронные ионизационные вакуумметры