Выполнили: студенты ФТФ АСОИиУ гр. Пушкарев В.А Евменчиков Р.Д

Устройства хранения информации занимают значительное место в структуре современных цифровых вычислительных систем. Особую роль при этом играют полупроводниковые запоминающие устройства, предназначенные для построения внутренней памяти ЭВМ. К устройствам данного класса относятся оперативные запоминающие устройства ( ОЗУ ), постоянные запоминающие устройства ( ПЗУ ), программируемые постоянные запоминающие устройства ( ППЗУ ) и репрограммируемыв постоянные запоминающие устройства ( РПЗУ )

Репрограммируемые ПЗУ по сути являются электростатиче­скими ЗУ В зависимости от типа транзи­стора различают два вида РПЗУ: * устройства, использующие в качестве элемента памяти так на­зываемый транзистор с «плавающим» затвором; * устройства, использующие в качестве элемента памяти МДП – транзистор с двухслойным диэлектриком – МНОП – транзистор. Общим для обоих видов является помимо быстрого считывания ранее записанной информации возможность ее неоднократной пе­резаписи. Однако перезапись информации требует изъятия ИС РПЗУ из устройства и использования специализированного обору­дования Сам процесс перезаписи занимает временной интервал, на много порядков превышающий время ее считывания. Отличие указанных типов РПЗУ состоит в различных способах программи­рования.

Полевой транзистор с изолированным затвором - это полевой транзистор, затвор которого отделен в электрическом отношении от канала слоем диэлектрика. Полевой транзистор с изолированным затвором состоит из пластины полупроводника (подложки) с относительно высоким удельным сопротивлением, в которой созданы две области с противоположным типом электропроводности). На эти области нанесены металлические электроды - исток и сток. Поверхность полупроводника между истоком и стоком покрыта тонким слоем диэлектрика (обычно слоем оксида кремния). На слой диэлектрика нанесен металлический электрод - затвор. Получается структура, состоящая из металла, диэлектрика и полупроводника. Поэтому полевые транзисторы с изолированным затвором часто называют МДП- транзисторами.

* Рассмотрим RC цепочку, состоящую из последовательно соединенных нагрузочного сопротивления RH 1 МОм и полевого транзистора с изолированным затвором, приведенную на рисунках а, б. * Если в такой схеме МДП-транзистор открыт, сопротивление его канала составляет десятки или сотни Oм, все напряжение питания падает на нагрузочном сопротивлении RН и выходное напряжение Uвых близко к нулю. * Если МДП-транзистор при таком соединении закрыт, сопротивление между областями истока и стока велико (сопротивление р n перехода при обратном включении), все напряжение питания падает на транзисторе и выходное напряжение Uвых близко к напряжению питания Uпит. Как видно из приведенного примера, на основе системы резистор – МДП-транзистор легко реализуется элементарная логическая ячейка с двумя значениями: ноль и единица. МДП транзистор в качестве элемента запоминающего устройства а) открытое состояние б) закрытое состояние

* Одним из недостатков приведенной элементарной ячейки информации является необходимость подведения на все время хранения информации напряжения к затворному электроду. При отключении напряжения питания записанная информация теряется. Этого недостатка можно было бы избежать, если в качестве МДП- транзистора использовать такой транзистор, у которого регулируемым образом можно было бы менять пороговое напряжение VT.

На рисунке показано изменение вольт-амперной характеристики n-канального МДП-транзистора при перезаписи информационного заряда в подзатворном диэлектрике. Состояние 1 соответствует исходному Состояние 2 соответствует закрытому состоянию транзистора при отсутствии питания (VG = 0), когда в диэлектрик записан отрицательный заряд. Состояние 3 соответствует открытому состоянию транзистора при отсутствии питания (VG = 0), когда в диэлектрик записан положительный заряд. 1. Исходная ВАХ, VT = 0,6 В. Заряд в диэлектрике отсутствует; 2. Состояние «закрыто», VT = 2,6 В. В диэлектрик записан отрицательный заряд; 3. Состояние «открыто», VT = -3,2 В. В диэлектрик записан положительный заряд

* - Величина инжектированного заряда * - Число инжектированных носителей * - Удельная ёмкость подзатворного диэлектрика * - Толщина окисла Величина порогового напряжения VT определяется уравнением:

Как видно из этого уравнения, для изменения величины порогового напряжения VT необходимо: * а) изменить легирование подложки NA (для изменения объемного положения уровня Ферми φ0, разности paбот выхода φms, заряда акцепторов в области обеднения QВ); * б) изменить плотность поверхностных состояний Nss; * в) изменить встроенный в диэлектрик заряд Qох; * г) изменить напряжение смещения канал подложка VSS (для изменения заряда акцепторов QВ в слое обеднения). Поскольку информацию в ячейку необходимо перезаписывать многократно, случаи а) и б) для этого оказываются непригодными. Случай г) не подходит вследствие того, что при отключении напряжения информация не сохраняется. Таким образом, для реализации энергонезависимого репрограммируемого полупроводникового запоминающего устройства (РПЗУ) необходим МДП транзистор, в котором обратимым образом было бы возможно изменять пороговое напряжение VT за счет изменения встроенного в диэлектрик заряда Qох.

Наиболее распространенными РПЗУ, в которых реализован этот принцип, являются РПЗУ на основе полевых транзисторов со структурой металл – нитрид – окисел – полупроводник (МНОП транзисторы) Схема, показывающая основные конструктивные элементы МНОП- транзистора. В МНОП ПТ в качестве подзатворного диэлектрика используется двухслойное покрытие. В качестве первого диэлектрика используется туннельно прозрачный слой (dox < 50 Å) двуокиси кремния. В качестве второго диэлектрика исполь­зуется толстый (d 1000 Å) слой нитрида кремния. Нитрид кремния Si3N4 имеет глубокие ловушки в запрещенной зоне и значение диэлектрической постоянной в два раза более высокое, чем диэлектрическая постоянная двуокиси кремния SiO2. Ширина запрещенной зоны нитрида Si3N4 меньше, чем ширина запрещенной зоны окисла SiO2.

При подаче импульса положительного напряжения +VGS на затвор вследствие разницы в величинах диэлектрических постоянных окисла и нитрида в окисле возникает сильное электрическое поле. Это поле вызывает, как показано на рисунке б, туннельную инжекцию электронов из полупроводника через окисел в нитрид. Инжектированные электроны захватываются на глубине уровня ловушек в запрещенной зоне нитрида кремния, обуславливая отрицательный по знаку встроенный в диэлектрик заряд. После снятия напряжения с затвора инжектированный заряд длительное время хранится на ловушечных центрах, что соответствует существованию встроенного инверсионного канала. б) запись информационного заряда

При подаче импульса отрицательного напряжения -VGS на затвор происходит туннелирование электронов с ловушек в нитриде кремния в зону проводимости полупроводника, как показано на рисунке в. При снятии напряжения с затвора зонная диаграмма МНОП структуры снова имеет вид, как на рисунке а, и инверсионный канал исчезает. а) напряжение на затворе равно нулю, ловушки не заполнены в) стирание информационного заряда

Оценим величину инжектированного заряда, необходимую для переключения МНОП транзистора: Пусть величина ΔVT = 10 В, Подставив численные значения в формулу, получаем ΔNox 3·10 11 см -2. Считая, что захват идет в энергетический интервал 1 эВ в запрещенной зоне нитрида и в слой толщиной 100 Å, получаем, что энергетическая плотность объемных ловушек Nt в нитриде должна быть порядка 2·10 18 см -3 ·эВ -1.

Время хранения информации в МНОП транзисторе обусловлено термической эмиссией с глубоких ловушек и составляет порядка 10 лет в нормальных условиях. Основными факторами, влияющими на запись и хранение заряда, являются электрическое поле, температура и радиация. Количество электрических циклов "запись-стирание" обычно не менее 105. Стирание информации (возврат структуры в исходное состояние) может осуществляться: - ультрафиолетовым излучением с энергией квантов более 5.1 эВ (ширина запрещенной зоны нитрида кремния) через кварцевое окно; - подачей на структуру импульса напряжения, противоположного по знаку записывающему.

Полевой транзистор с плавающим затвором по принципу работы и устройству похож на МНОП транзистор. Только в транзисторах с плавающим затвором инжектированный заряд хранится на плавающем затворе, находящемся между первым и вторым подзатворными диэлектрическими слоями. Схема, поясняющая устройство МОП ПТ с плавающим затвором В качестве материала для плавающего затвора используется поликристаллический кремний, легированный фосфором.

На рисунке a приведена зонная диаграмма такого транзистора. Рисунок б поясняет механизм записи информационного заряда путем туннельной инжекции из полупроводника на плавающий затвор. На рисунке в приведена зонная диаграмма МОП ПТ с плавающим затвором после записи заряда и снятия напряжения с затвора. Возможно частичное растекание наполненного информационного заряда из-за туннелирования электронов с плавающего затвора обратно в полупроводник. а) напряжение на затворе VGS равно нулю, плавающий затвор не заряжен б) процесс записи информационного заряда импульсом напряжения +VGS в) МОП ПТ при нулевом напряжении на затворе в режиме хранения информационного заряда

Рассмотрим основные соотношения, определяющие характер накопления инжектированного заряда на плавающем затворе полевого транзистора. Величина заряда Qox(τ) равна: где I(t) – величала инжекционного тока в момент времени t. Как видно из предыдущей зонной диаграммы, инжекция носителей из полупроводника через первый слой окисла на плавающий затвор осуществляется путем прямого туннелирования через трапецеидальный барьер. Величина туннельного тока I(t) описывается соотношением: Постоянные величины А и В, входящие в уравнение, зависят от типа полупроводника и высоты потенциальных барьеров на границе.

Накапливаемый на плавающем затворе инжектированный заряд Q(τ) будет вызывать уменьшение напряженности электрического поля Еоx в первом диэлектрике. Величина электрического поля Еох, обуславливающая туннелирование, равна: Из последних трёх уравнений следует, что при малых временах τ наполненный заряд Q(τ) мал и линейно возрастает со временем τ, поскольку поле в окисле Еох и туннельный ток I(t) постоянны. При больших временах наступает насыщение наполнения инжектированного заряда Q(τ). Последние три соотношения позволяют на основе расчета выбрать наиболее оптимальные режимы записи и стирания информационного заряда.

На базе МДП транзистора с плавающим затвором, который позволяет хранить электроны, реализованы устройства flash-памяти. Операция про- граммирования (заряд плавающего затвора) проводится лавинной инжекцией электронов из стоковой области канала МДП транзистора. Если заряд пла- вающего затвора у однобитного МДП транзистора меньше электронов, то это означает, что ячейка хранит логическую «1», а если заряд больше электронов, то «0». Заряд ячейки вызывает изменение порогового напряжения транзистора, и при операции чтения измеряется величина этого порогового напряжения, а по нему определяется количество заряда на плавающем затворе. После выполнения операции стирания или программирования каждой ячейки этого массива стертые ячейки (логическая «1») имели порог 3,1 В, в то время как запрограммированные ячейки (логический «0») имели пороговое напряжение более 5 В.

Гуртов В.А. Твердотельная электроника: учеб.пособие 2 изд., доп. (2005) Кравченко А.А. – «Зонная диаграмма МНОП транзистора» (ФТФ, гр.21305) (2004) -Flash-анимация «МДП- и МНОП-транзисторы» Харлукова О.В - Flash-анимация «Изменение канала МДП- транзистора»