Презентация насосов серии GV-Drystar и технологии безмаслянной откачки

Безконтактный когтевой механизм Самоизолирующий принцип Эффективный коэффициент сжатия Полное отсутствие масла в объеме Регулируемая температура корпуса Лучшие условия для откачки паров Надежный и простой механизм Устойчив к транспортированию пыли Газобалластное устройство большой емкости Предотвращение конденсации Безопасная откачка опасных сред ИДЕАЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ ВАКУУМНОГО НАСОСА Принцип работы

Механизм с когтевым захватом Эффективное сжатие потока Простой, компактный механизм 3х ступенчатый механизм Запатентованный механизм обращенной формы ротора 2ая ступень насоса имеет обратную остальным ступеням форму Более короткий газовый тракт Максимальная скорость газового потока, малое время цикла Принцип работы

Когтевой механизм в действии

Впуск газа

Конец стадии впуска газа

Впуск и выпуск насоса изолированы

Стадия сжатия

Выпуск газа

МЕХАНИЗМ КОГТЕВОГО ЗАХВАТА

Разрез когтевого насоса с дополнительной ступенью Рутса

Газовый тракт BOC Edwards запатентовано

Откачные агрегаты с насосами Рутса

Усиление откачки: глубина откачки/скорость откачки Привод с гидрокинетической муфтой Меньшее энергопотребление, Отсутствие байпассных линий и реле давлений * - некоторые ограничения при продолжительной работе на давлениях выше 100 Torr Механические бустеры

Механические бустеры серии EH Диапазон производительности м 3 /ч Запатентованный гидрокинетический привод Версии привода вращения с углеводородным либо фторсодержащим маслом Давление запуска - атмосфера Уникальное уплотнение вала вращения

Схема – разрез насоса Рутса Впуск Газовый поток Сопрягающиеся ротора Выпуск

СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА

Обратный поток в области низкого вакуума Обратный поток Стадия сжатия

Преимущества запатентованной технологии Гидро-привод

Преимущества запатентованной технологии

Параметры насосов Рутса Насос Рутса не является компрессором, и предназначен для транспортирования больших объемов газа Насос Рутса работает при определенном перепаде давлений Для работы необходим форвакуумный насос Наиболее эффективная откачка в диапазоне давлений от 1 до мбар Рабочий зазор мм Скорость откачки от 150 до 30,000 м 3 ч -1

Особенности Технологии BOCE – использует только безмаслянные агрегаты откачки на основе когтевых насосов производительностью от 40 м 3 /ч до 600 м 3 /ч. Бесконтактный износоустойчивый механизм Короткий газовый тракт – без необходимости установки межступенчатых газоохладителей Высокая компрессия потока позволяет эффективно транспортировать потоки с высоким содержанием пыли и частиц

Преимущества «сухих» насосов Стабильность процесса откачки Высокий предельный вакуум Высокая производительность БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ – ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС

КРИВЫЕ ОТКАЧКИ

Достоинства предлагаемой системы ЭКОНОМИЧНОСТЬ: Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет необходимости в утилизации отработанной жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного тумана Увеличивается производительность производства Простое обслуживание: не требует замены масла, не требует смены масляного фильтра, периодичность кап.ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь вакуума. Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые очищаемые экраны Сокращение времени откачки: требуется меньшее количество операций по чистке вакуумной магистрали (допускаемая зернистость пыли

Преимущества предлагаемой системы Улучшенное качество проведения технологического процесса: Значительно меньшие вибрации Высокое качество вакуума ( время откачки & стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и рабочей камере. Повторяемость откачных характеристик от цикла к циклу Отсутствие масляных протечек Стабильность откачных характеристик от условий окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую производительность по откачке паров ) Большая производительность по Аргону ( специально адаптированное рабочее тело насоса ) Мониторинг системы, Возможность сигнализации

Технические параметры GV160 Тип уплотненияБезмаслянный Тип насосаGV160 Откачиваемая средаAr с высоким содержанием SiО Производительность (м 3 /ч)200 Давление на входе (A)0.01мбар 0.001мбар ( с насосом Рутса) Температура на входе в насос ( o C)20 Давление на выходе (барA)1.13 Потребляемая эл.энергия (кВт)4.2 Установленная мощность (кВт)7.5 Тип приводапрямой Охлаждающая жидкостьВода Температура охл.воды ( o C)20 Расход охл.воды (л/мин)25 (при установке термоклапана расход уменьшается) Измеренный уровень шума на расстоянии 1 м

Технические характеристики EH1200 Тип уплотненияБезмасляный Тип насосаEH1200 Рекомендуемое маслона выбор Производительность (м 3 /ч)1000 Входное давление (A) 1013 до мбар Температура на входе ( o C)20 Выходное давление требует фор.насоса Потребляемая эл.энергия (кВт) менее 3 (в зависимости от уровня вакуума) Установленная мощность (кВт)3 Тип приводагидрокинетическая муфта (не требуется доп. переключателей) Тип охлажденияВоздух ( Вода по требованию) Температура охл. воды ( o C)20 Расход охлаждающей воды (л/мин) 2 ( если есть) Измеренный уровень шума На расстоянии 1 м

Стоимость компонент системы Вакуумпровод деталировка: Drystar GV160+EH1200 = ЕВРО Входная пылевая ловушка ITM 3000 (50 микронная сетка) = ЕВРО Изолирующий клапан с ручным приводом QSB 160 =2.146 ЕВРО Фильтр-глушитель ITM 3000 = ЕВРО ИТОГО = ЕВРО

Объем Поставки BOC Edwards GV160 Drystar/EH1200 откачная система, включая: BOC Edwards Drystar GV160 вакуумный насос, включая: Электродвигатель WEG 7.5 kW 415/3/50. Встроенная система охлаждения, включая ручной термоклапан Danfoss с термостатом (TCV-1) Термо-сигнализация. EH 1200 насос Рутса, включая электродвигатель 3 kW 415/3/50 Входная пылеулавливающая ловушка ITM3000 (нерж.сталь). Изолирующий клапан QSB 160 Выходной фильтр-глушитель ITM3000 (нерж.сталь) – по требованию

Обсуждение предагаемых вариантов Предлагаемые варианты вакуумных насосов были выбраны, из спектра наиболее используемых в данной области промышленности в странах Европы, США и Японии Выбор агрегата согласуется с требуемой производительностью и собственными параметрами насосов Предлагая комбинацию GV/EH безмаслянных насосов, компания считает данный тип оборудования наиболее подходящим для Вашего тех.процесса. При необходимости компания, также, может предложить агрегаты меньшей производительности. Обращаем Ваше внимание, что компания может поставить насосы с масляным уплотнением, если будет принято решение в их необходимости.

Основные параметры предлагаемой системы Соответствие требованиям по вакууму и надежный механизм насоса По окончании каждого цикла требуется продувка насоса потоком аргона ( 20 л/мин в течении 10 мин. ) Достигаемый вакуум при рабочем потоке аргона (10 Torr / 30 slm Ar )*. * Не обеспечивается при эксплуатации золотниковых насосов

Объем поставки, Киев ПИЛАР Вакуумная схема установки. Деталировка ( насос, входной фильтр, запорная арматура, коммуникации, выходной фильтр ) Соответствие, имеющимся требованиям (присоединительные фланцы, эл.питание) Деталировка выхлопной линии ловушка + очистка выхлопа ( Ar + SiO, не должны быть подключены к фильтрам масляного тумана) BOCE пусконаладка и гарантийное обслуживание

Сравнения стоимости эксплуатации насосов

Габаритные размеры предлагаемого оборудования GV 160 / EH 1200 комбинация Длина: 1213 мм Ширина: 550 мм Высота: 975 мм Вес нетто, (без масла): 500 кг замечание Размеры приведены для справки и подлежат уточнению при проектировании установки

Пусконаладочные работы и обучение Подробный инструктаж по обслуживанию насосов на месте Капитальный ремонт раз в 6 лет, согласно рекомендациям по эксплуатации

УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ Срок поставки - 10 недель Проектная документация по замене масляных насосов на «сухие» насосы (деталировка вакуумпроводов, сборочные чертежи, схемы подключения инженерных коммуникаций) 2 года гарантии

РЕФЕРЕНЦИИ Полупроводниковое производство Bullen, США эксплуатирует данные насосы уже более 5ти лет. На откачке основной камеры используется комбинация насосов GV160-EH1200, и насосы GV160 для откачки шлюзовых камер. Данные насосы оборудованы системой продувки и шумоизолирующим корпусом, а также интегрированы с управляющей ЭВМ. В процессе эксплуатации установки насосы требовали минимум технического обслуживании и надежно зарекомендовали себя при работе во внештатных ситуациях. При имевших место прорывах входного фильтра чатицы SiO попадали в рабочую полость насоса. Когтевой механизм GV насоса позволяет транспортировать газовые потоки с высоким содержанием пыли и создает избыточное давление, достаточное для удаления твердых включений на выхлоп.

СЕРВИС И ОБСЛУЖИВАНИЕ ПРЕДЛАГАЕМОГО ОБОРУДОВАНИЯ BOC EDWARDS обеспечит производства инженерами из местных представительств для запуска, обслуживания и ремонта оборудования. Каждое представительство имеет сервис центр с достаточным набор услуг и сервис-инженерами, прошедшими всестороннюю подготовку по обслуживанию оборудования BOC EDWARDS.