МГТУ МИРЭА 10 апреля 2013
Директор Центра дистанционного обучения МГТУ МИРЭА
Электронное обучение высоким технологиям, высокие технологии электронному обучению! E-LEARNING HI-TECH, HI-TECH E-LEARNING!
1. Интерактивность. 2. Доступность. 3. Понятность. 4. От простого к сложному. 5. От сложного к простому. 6. Практичность. 7. Тренинг – основа умения. 8. Компьютерное моделирование. 9. Самоконтроль. 10. Промежуточный и итоговый оценочный контроль.
1. Теоретическая составляющая с системой контроля понимания. 2. Описание обобщенного применяемого оборудования, оценка знания принципов работы. 3. 3D-моделирование реальных установок, тренинг. 4. Проведение виртуальных экспериментов (виртуальная лабораторная работа), тренинг. 5. Контрольный виртуальный эксперимент. Определение уровня компетенции.
SENTECH Instruments GmbH SI 500 Двухреакторная установка плазмохимического травления PlasmaLab 100
Ионно-реактивное травление полупроводников (Si, p- Si) Ионно-реактивное травление диэлектриков (SiO 2, Si 3 N 4 ) Ионно-реактивное травление материалов СВЧ (GaAs) Ионно-реактивное травление материалов СВЧ (GaN) Ионно-реактивное травление металлов (Аl) Ионно-реактивное травление металлов (Cu)