ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 – 2010 годы» Рабочая группа по направлению 1 «Развитие приборно-инструментальной составляющей инфраструктуры наноиндустрии» Ю.Н. Пархоменко

ОСНОВНЫЕ ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ РГ Цель РГ – обеспечение совершенствования приборно-инструментальной составляющей инфраструктуры наноиндустрии. Задача РГ – оснащение специальным экспериментальным, диагностическим, метрологическим, технологическим и производственным оборудованием, иными приборами и устройствами элементов национальной нанотехнологической сети.

ГОЛОВНЫЕ ОРГАНИЗАЦИИ ПО ТЕМАТИЧЕСКИМ НАПРАВЛЕНИЯМ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ НАЦИОНАЛЬНОЙ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ СЕТИ п/п Наименование тематического направления Головная организация отраслиВедомственная принадлежность 1НаноэлектроникаФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина»Минпромторг России 2НаноинженерияГОУВПО «МИЭТ»Минобранауки России 3Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества (в ред. постановления Правительства РФ от ) УРАН «Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова» Российская академия наук 4Функциональные наноматериалы для энергетики ОАО «ВНИИНМ им. академика А.А. Бочвара», ФГДОУВПО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» Росатом, Минобранауки России 5Функциональные наноматериалы для космической техники ФГУП «Исследовательский центр им. М.В. Келдыша» Роскосмос 6НанобиотехнологииРНЦ «Курчатовский институт»Правительство Российской Федерации 7Конструкционные наноматериалыФГУП «ЦНИИКМ «Прометей», ФГУ «ТИСНУМ» Минобрнауки России 8Композитные наноматериалыФГУП «ВИАМ»Минпромторг России 9Нанотехнологии для систем безопасности ФГУП «ЦНИИХМ»ФСТЭК России

Финансирование инвестиционных объектов ФЦП в 2008 – 2010 гг.

Финансирование инвестиционных объектов ФЦП на 2011 г.

ПРИБОРНО-ИНСТРУМЕНТАЛЬНАЯ СОСТАВЛЯЮЩАЯ ИНФРАСТРУКТУРЫ НАНОИНДУСТРИИ ПРИБОРНО- АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ КЛАССИФИКАЦИЯ ОБРУДОВАНИЯ: – по типу: микроскопы; спектрометры, спектрографы, дифрактометры; установки роста, напыления, травления; печи; лазерное оборудование; станки; – по основным производителям и поставщикам.

КЛАССИФИКАЦИЯ ПОСТУПИВШИХ ЗАЯВОК ПО ТИПУ ОБОРУДОВАНИЯ (тыс. руб.)

КЛАССИФИКАЦИЯ ЗАЯВОК НА ЗАКУПКУ ОБОРУДОВАНИЯ ПО ОСНОВНЫМ ПРОИЗВОДИТЕЛЯМ И ПОСТАВЩИКАМ (тыс. руб.)

ЦЕНТРЫ НАЦИОНАЛЬНОЙ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ СЕТИ В ходе реализации ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 – 2010 годы» по направлению 1 «Развитие приборно-инструментальной составляющей инфраструктуры наноиндустрии» создано 42 объекта ННС, в том числе на предприятиях: Наименование инвестиционного объектаМощность инвестиционного объекта ( в ред. постановления Правительства РФ от ) 1РНЦ «Курчатовский институт»3 комплекса 2ФГУП «ЦНИИКМ «Прометей»4 комлекса 3ФГУ «ТИСНУМ»2,542 тыс.кв. м 4ФГУП «ЦНИИХМ»9,297 тыс.кв. м 5ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина»2 ГэВ 6ФГУП «ВИАМ»2 участка 700 кв. м 7ФГУП «Исследовательский центр им. М.В. Келдыша»1800 кв. м 8ОАО «ВНИИНМ им. академика А.А. Бочвара»18,1 тонн/г 9ГОУВПО «МИЭТ»1 комплекс 10ФГУП «ВНИИОФИ»9 единиц оборудования 11ГУ «ИМЕТ им. А.А. Байкова»12 тыс.кв. м

Закупки оборудования ФГУ ТИСНУМ приборно- аналитическое оборудование технологическое оборудование станки и вспомогат. оборудование ИТОГО, млн. рублей Бюджетное финансирование ФГУ 0,84612,47013,78127,097 ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии»: инвестиционный объект «Реконструкция и техническое перевооружение здания лабораторного корпуса» 66,13386,10613,778166,017 Внебюджетное финансирование 96,98091,21211,876200,068 микроскопы оптические, электронные, атомно-силовые - 10 шт; спектрометры, спектрографы, дифрактометры - 8 шт; установки роста, напыления, травления - 11 шт; лазерное оборудование - 5 шт; печи - 6 шт; станки - 10 шт. Рамановский спектрометр Ростовой комплекс пленок Вертикальный обрабатывающий TriVista TR 777 монокристаллов алмаза центр MV106A Источники финансирования Группы оборудования бюджет ФГУ внебюджетФЦП вспомогательное технологическоеаналитическое

Центр коллективного пользования ФГУ ТИСНУМ «Исследования наноструктурных, углеродных и сверхтвердых материалов» В 2009 г. исследования проведены для 14 организаций по договорам о сотрудничестве ФГУ «Курчатовский институт», ОАО «Гиредмет», МИСиС, ФГУП «Прометей» и др.) и для 21 организаций - по хозяйственным договорам (ФГУП «Тринити», Донской гос. тех. университет, ООО «Ниборит», ООО «Сименс» и др.). Научно-образовательный Центр ФГУ ТИСНУМ «Физика и химия наностуктур» Партнерами научно-образовательного центра являются: Московский физико-технический институт Московский государственный университет Московский институт стали и сплавов Северокавказский государственный технический университет Владимирский государственный университет ФГУ ТИСНУМ ЦКП Академические институты НОЦ Центр аттестации и сертификации Отраслевые институты ВУЗы Промышленные предприятия... более 130 организаций в 46 регионах РФ Взаимодействие в рамках ЦКП и НОЦ ФГУ ТИСНУМ

НАУЧНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ПО РАЗРАБОТКЕ КОНСТРУКЦИОННЫХ НАНОМАТЕРИАЛОВ (НАНОЦЕНТР) ФГУП ЦНИИ КМ «ПРОМЕТЕЙ» Затраченные средства 1 282млн. руб. - гос. финансирование Оснащение «Наноцентра» современным оборудованием Всего с 2008 по 2010г. закуплено 187 единиц оборудования всего на сумму 883 млн.руб. - Оборудование для получения наноматериалов в виде порошков и аморфных лент - 8 единиц оборудования; - Оборудование для создания наноструктурированных покрытий 102 единиц оборудования; - Оборудование для направленного создания наноматериалов (лазерный синтез и спекание) - 5 единиц оборудования; - Оборудование для диагностики и испытания материалов (метрологическая аттестация и сертификация) – 57 единиц оборудования; - Вспомогательное оборудование – 15 единиц Общая площадь «Наноцентра» ФГУП ЦНИИ КМ «ПРОМЕТЕЙ» составляет кв.м.

ПРОВЕДЕНИЕ ИССЛЕДОВАНИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ НАУЧНОГО ОБОРУДОВАНИЯ ФГУП «ЦНИИ КМ «ПРОМЕТЕЙ» В РЕЖИМЕ ЦЕНТРА КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ Выполняемые работы: «Формирование дорожной карты развития наноиндустрии РФ на период до 2015 года и на перспективу до 2025 года». Работы, выполняемые по заказам организаций: ОАО «Адмиралтейские верфи», ООО «Силовые машины», ЦНИТС, ОАО «Севмаш», Магнитогорский металлургический комбинат, ЛАЭС, ОАО «ЦНИТИ «Техномаш», ОАО «Северсталь». Общий объем выполненных работ 144 млн. руб./год.

ЭФФЕКТИВНОСТЬ РАБОТЫ «НАНОЦЕНТРА» ФГУП ЦНИИ КМ «ПРОМЕТЕЙ», РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗРАБОТОК КОНСТРУКЦИОННЫХ НАНОМАТЕРИАЛОВ 1.Получение наноматериалов в виде порошков и аморфных лент: - дезинтеграторно-активаторная технология измельчения и высокоскоростной механосинтез - высокоскоростная закалка из расплава - получение нанопорошков химическим, плазмохимическим и др. методами. 2. Инжиниринг поверхности материала: - нанесение функционально-градиентных покрытий - поверхностная обработка и упрочнение. 3.Направленное создание материала: - лазерное послойное создание материала заданного состава, структуры и формы (SLS, SLM и LENS технологии); - спекание материала в присутствии электрического поля (Spark Plasma Sintering, Field Assisted Sintering). 4.Испытания и диагностика конструкционных наноматериалов (метрологическая аттестация и сертификация). Технологии создания конструкционных наноматериалов разработанные к 2010 году Эффективность и результаты работы «Наноцентра» за последние 3 года Крупные выполненные проекты: 1.Создание высокопрочных трубных сталей и высокоэффективных технологий изготовления труб большого диаметра с категорией прочности до Х100, обеспечивающих проектирование, строительство, эксплуатацию и надежность крупнейших магистральных газо- и нефтепроводов страны и сварных арктических конструкций 2.Разработка опытно-промышленных технологий создания многофункциональных полимерных и эластомерных наноструктурированных композиционных конструкционных материалов и изделий из них для транспортного машиностроения, нефтегазового комплекса и энергетического машиностроения, отвечающих требованиям безопасности для окружающей среды и обитаемых объектов

ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ, ДИАГНОСТИЧЕСКОЕ И АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ НАНОЦЕНТРА ФГУП ЦНИИ КМ «ПРОМЕТЕЙ» Система селективного лазерного спекания металлопорошковых материалов EOSINT M270 (EOS, Германия) Просвечивающий электронный микроскоп Tecnai G2 30F S-TWIN STEM Время-пролетный вторичноионный масс-спектрометр TRIFT NANOTOF Установка для исследования внутреннего трения в металлах IFT-1500M

ОБЪЕКТЫ ИНФРАСТРУКТУРЫ РНЦ «КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ» I. НАНОДИАГНОСТИКА 1.1. Нанодиагностический комплекс на базе источника синхротронного излучения с рабочими станциями и диагностическим оборудованием 1.2.Материаловедческий нанодиагностический комплекс с горячими камерами для исследований в области материалов для атомного и термоядерного машиностроения, разделительного производства 1.3.Центр испытаний, сертификации и диагностики новых сверхпроводящих материалов, кабельной и электротехнической продукции для высокотемпературных сверхпроводящих систем новой электротехники, линий электропередач, систем электродвижения 1.4. Нанодиагностический комплекс на базе исследовательского реактора ИР-8 с рабочими станциями и диагностическим оборудованием 1.5 Центр метрологии, стандартизации и оценки соответствия продукции нанотехнологий (Центр формируется на базе комплексов 1.1,1.4 и 2.7)

ОБЪЕКТЫ ИНФРАСТРУКТУРЫ РНЦ «КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ» II. НАНОТЕХНОЛОГИИ 2.1. Нанотехнологический комплекс при источнике синхротронного излучения на основе нанофаба для производства компонентов наносистемной техники 2.2.Исследовательско-производственный комплекс для изготовления компонентов микросенсорики и мехатроники, нанопорошков термостойких и сверхтвердых материалов методом фторидно-плазменной и фторидно-лазерной металлургии, а также с использованием сверхмощных фторокислителей 2.3 Комплекс для исследований и производства различных нанопорошков, их компактирования и фабрикации из них изделий, разработки технологии получения многослойных нанопокрытий на инструментах и деталях машин. 2.4.Исследовательско-технологический комплекс создания нового поколения материалов с заданными магнитными, электрическими и оптическими свойствами путем воздействия потоками заряженных частиц и модификации материалов с использованием центробежных ускорителей оригинальной конструкции 2.5. Радиохимическая лаборатория для исследования и изготовления нано- и микросистем на основе ядерных и радиоактивных материалов, в том числе ядерные микроисточники тока, микротопливо для инновационной АЭ, микрокапсулы радиофарм препаратов 2.6. Нанобиотехнологический комплекс 2.7. Научно-технологический центр нанотехнологий 2.8. Нейрокогнитивный комплекс

ОБЪЕКТЫ ИНФРАСТРУКТУРЫ РНЦ «КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ» V. ИНФОРМАЦИОННО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ И ТЕЛЕКОММУНИКАЦИОННАЯ ИНФРАСТРУКТУРА 5.1.Центр обработки данных на базе многопроцессорного вычислительного комплекса (1000 TFLOPS) для вычислений и проектных работ в области нанотехнологий, атомной и термоядерной энергетики 5.2. Информационно-аналитический Центр национальной нанотехнологической сети, включая центр управления научными данными и информацией, визуализации и анализа для обработки и обмена данными с крупных физических установок на современном уровне

Исследования структур белков с использованием СИ и нейтронов Pyrophosphatase SAICAR synthase БЕЛКОВАЯ КРИСТАЛЛОГРАФИЯ ЦЕНТР НАНОБИОНАУК И КОНВЕРГЕНТНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ с источниками синхротронного излучения и нейтронов РОССИЙСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР «КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ»

ПРОВЕРКА И КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА ПОДГОТОВКА ПОДЛОЖЕК ТОНКОПЛЕ- НОЧНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ЛИТОГРАФИЯТРАВЛЕНИЕ И ОЧИСТКА ТЕСТИРОВАНИЕ И ОБРАБОТКА НАНОФАБ –100 Модульные установки для нанопроизводства ЦЕНТР НАНОБИОНАУК И КОНВЕРГЕНТНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ с источниками синхротронного излучения и нейтронов РОССИЙСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР «КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ»

Молекулярно-лучевая эпитаксия НАНО-БИО-ПРОИЗВОДСТВО ЦЕНТР НАНОБИОНАУК И КОНВЕРГЕНТНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ с источниками синхротронного излучения и нейтронов РОССИЙСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР «КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ»

Научно-технологический центр нано- и микросистемной техники МИЭТ Цель проекта по созданию НТЦ МИЭТ: развитие широкого спектра направлений в области технологий нано-и микросистемной техники для обеспечения отечественного сектора высоких технологий и повышения конкурентоспособности экономики на основе передовых достижений наноиндустрии. Основные направления исследований и разработок Медицинские системы и диагностические комплексы Энергосберегающие системы Системы навигации и управления Сенсоры физических, биологических и химических величин Базовые технологии микро-и наноэлектроники

Приборно-инструментальная составляющая научно-технологического центра нано- и микросистемной техники МИЭТ Приборно- аналитическое оборудование Технологическое оборудование - Участок фотолитографии; - Участок химической обработки/химического травления; - Участок плазмохимического травления; - Участок диффузии/осаждения солев; - Участок сборки изделий нано- и микросистемной техники. Оборудование технологической инфраструктуры - Станция деионизации воды; - Кондиционеры GEA; - Холодильные машины GEA; - Компрессор сжатого воздуха, Dalva; - Вакуумный насос, Busch. - Микроскопия – СЗМ, РЭМ, лазерная, рентгеновская, оптическая; - Спектроскопия; - Эллипсометрия; - Исследование электрофи-зических свойств поверхности.

Приборно-инструментальная составляющая НТЦ Приборно-аналитическое оборудование, р Технологическое оборудование, р Оборудование технологической инфраструктуры, р

Развитие деятельности Научно-образовательных центров Тематические направления Количество НОЦ Композитные наноматериалы18 Конструкционные наноматериалы17 Наноэлектроника13 Нанобиотехнологии11 Наноинженерия10 Функциональные наноматериалы для энергетики7 Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества6 Нанотехнологии для систем безопасности3 Функциональные наноматериалы для космической техники1 В ходе реализации ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 – 2010 годы» проведено финансирование деятельности НОЦ в 32 ВУЗах, поддерживающих различные тематические направления:

Количество поддерживаемых ВУЗами тематических направлений ННС

РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ОБОРУДОВАНИЯ НОЦ ПО ВИДАМ ПРИМЕНЕНИЯ

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ОБОРУДОВАНИЯ НОЦ В РЕЖИМЕ ЦКП Категория оборудования Количе- ство единиц оборудо- вания, шт. Средняя интенсив- ность использо- вания единицы оборудо- вания, часов/сутки Суммарная стоимость оборудо- вания, тыс. руб. Средняя стоимость одной единицы оборудова ния, тыс.руб. Средний возраст оборудова- ния, лет Исследовательское 3365, ,29 Уникальное 736, ,27 Комплекс 2221, ,09 Научно- технологическое 1038, ,19 Учебное 69, ,67

ИНФОРМАЦИОННОЕ СОПРОВОЖДЕНИЕ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ НОЦ ННС

СТРУКТУРА САЙТА

ОБЩИЙ ОБЪЕМ ФИНАНСИРОВАНИЯ ПО ФЦП на 2011 г. – 2100, 637 МЛН. РУБ. п/п Наименование тематического направления Головная организация отраслиОбъем средств ФЦП, млн. руб. 1НаноэлектроникаФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина»79,78 2НаноинженерияГОУВПО «МИЭТ» – 3Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества УРАН «Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова» – 4Функциональные наноматериалы для энергетики ОАО «ВНИИНМ им. академика А.А. Бочвара», ФГДОУВПО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» – 5Функциональные наноматериалы для космической техники ФГУП «Исследовательский центр им. М.В. Келдыша» 31,819 6НанобиотехнологииРНЦ «Курчатовский институт»342,869 7Конструкционные наноматериалыФГУП «ЦНИИКМ «Прометей», ФГУ «ТИСНУМ» 433,97 92,86 8Композитные наноматериалыФГУП «ВИАМ»8,57 9Нанотехнологии для систем безопасности ФГУП «ЦНИИХМ»107,269 В ТОМ ЧИСЛЕ: – ГОЛОВНЫЕ ОРГАНИЗАЦИИ ПО ТЕМАТИЧЕСКИМ НАПРАВЛЕНИЯМ ННС 1097,137 млн. руб.; – ВУЗы (32) 1003,5 млн. руб.

БЛАГОДАРЮ ЗА ВНИМАНИЕ !