УРАЛЬСКИЙ ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ «СОВРЕМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ» Уральского федерального университета Размер изображения 10×10 мкм В.Я. Шур Директор УЦКП СН ИЕН УрФУ,

2 УЦКП Современные Нанотехнологии В рамках инновационной образовательной программы 12 декабря 2007 на физическом и химическом факультетах УрГУ открыт Уральский Центр Коллективного Пользования "Современные нанотехнологии" Состоит из 16 подразделений Создан на базе: существующего в университете ЦКПСканирующая зондовая микроскопия оборудования, приобретенного в годах Торжественное открытие ЦКП

3 Персонал УЦКП СН 108 Численность сотрудников за годы из них докторов наук кандидатов наук 47 в том числе совместителей 54 из них докторов наук 17 кандидатов наук 27

4 Аналитическое: Зондовые нанолаборатории, Анализаторы размеров наночастиц Оптические и электронные микроскопы, Механические и оптические профилометры, Рентгеновский дифрактометр, спектрометр ЭПР, Оптический реометр, масс-спектрометр, дилатометр, и др. Технологическое: « Чистая комната» – чистое производственное помещение класса 100, Комплекс для прецизионной резки, шлифовки и полировки, Комплект оборудования для фотолитографии, Вакуумное оборудование для напыления и плазмохимического травления, Лазерные обрабатывающие комплексы Учебное: Учебный класс сканирующей зондовой микроскопии 68 Наименований оборудования Количество единиц 75 Ведущие мировые и Российские производители 360 млн. руб. Стоимость оборудования360 млн. руб. Оборудование УЦКП СН

5 Дополнительные возможности Работа на базе оптического микроскопа Olympus Сканирующая лазерная конфокальная микроскопия спектрометрии Сканирующая лазерная конфокальная микроскопия с возможностью спектрометрии Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия Лазерная литография Нанопроволока GaN (a) люминесцентная конфокальная микроскопия (b) атомно-силовая микроскопия (c) эксперимент с облучением NTEGRA Spectra Зондовая нанолаборатория NTEGRA Spectra NT- MDT, Зеленоград Аналитическоеоборудование Аналитическое оборудование

6 Рабочая станция Auriga CrossBeam Carl Zeiss, Germany Высокопроизводительный микроскоп с уникальными характеристиками и встроенными аналитическими возможностями Методики измерения: Сканирующая электронная микроскопия пространственное разрешение 2,5 нм и выше Фокусированный ионный пучок Превосходный химический контраст Ионная оптика Оригинальная система компенсации поверхностного заряда Аналитическоеоборудование Аналитическое оборудование

7 Чистоепроизводственное помещение Чистое производственное помещение Технологическое оборудование

8 Оптическая и сканирующая лазерная конфокальная микроскопия. Спектроскопия электронного парамагнитного резонанса. Качественный и количественный элементный анализ. Газовая и жидкостная хроматография, масс-спектрометрия и термогравиметрия. Механические испытания, термомеханический анализ, дилатометрия. Измерения электрических и магнитных свойств материалов. Механическая и оптическая профилометрия. Анализ дисперсий наночастиц в растворах. Сканирующая зондовая микроскопия. Оптоэлектроника и нанофотоника. Рентгеновская дифрактометрия. Реологические исследования. Адсорбционная порометрия. Механическая обработка. Фотолитография. Предоставляемые услуги

9 Проведение комплексных исследований с использованием аналитического оборудования УЦКП НТ Проведение комплексных исследований с использованием аналитического оборудования УЦКП НТ Оказание услуг с использованием технологического оборудования УЦКП НТ Оказание услуг с использованием технологического оборудования УЦКП НТ Консультации предприятий Консультации предприятий по использованию оборудования по использованию оборудования и приобретению оборудования и приобретению оборудования Участие в повышении квалификации и переподготовке специалистов предприятий Участие в повышении квалификации и переподготовке специалистов предприятий по нанотехнологиям по нанотехнологиям по лазерным технологиям по лазерным технологиям Контакты с промышленностью

10 1. ФГУП ПО «Уралвагонзавод», Нижний Тагил 2. ФГУП «НПО Автоматики», Екатеринбург 3. ООО «СИАМС», Екатеринбург 4. ЗАО НПЦ «РОСНА», Екатеринбург 5. ООО НПВП «ИВА», Екатеринбург 6. ЗАО «Региональный Центр Листообработки», Екатеринбург 7. Корпорация ВСМПО-АВИСМА, Верхняя Салда 8. Пермская научно-производственная приборостроительная компания, Пермь 9. ОАО «Урал НИТИ», Екатеринбург 10. ОАО НПП «Старт», Екатеринбург 11. ОАО «Уральский завод резиновых технических изделий», Екатеринбург 12. НПП «Лазерные технологии», Екатеринбург 13. Уральский электромеханический завод, Екатеринбург 14. Электрохимический комбинат, Новоуральск Контакты с промышленностью

11 Работы с участием УЦКП в 2009–10 гг. Источники финансирования 2009 год2010 год Кол-во Объем, млн. руб. Кол-во Объем, млн. руб. Хоз. договоры24248, ,4 из них региональные19197, ,29,29,29,2 РОСНАНО50,830,2 РФФИ178, ,55,55,55,5 Рособрнаука4039,74164,3 ИТОГО 8156,67979,2

12 Сайт УЦКП СН Рубрики Подразделения центра

Семнадцать выставок Образовательные 1. Планета Education-2009 и Образование от А до Я, 2009 и Национальная образовательная стратегия 4. Ночь открытых дверей УрГУ 5. Всероссийская научная конференция «Праздник в пространстве современной городской культуры» Наука/Инновации/Бизнес 1. НАНОТЕХНОЛОГИИ-2009, 2. Фотоника, мир лазеров и оптики 3. Урал-Техно. Наука. Бизнес. 4. Нанотехнологии. Инновационное развитие Урала 5. 2й и 3й Международные форумы по нанотехнологиям 6. Второй молодежный инновационный конвент V Уральская венчурная выставка «Инновации 2010» 8. Уральская международная выставка «ИННОПРОМ-2010» Участие в выставках годы 13

14 Советглавных конструкторов промышленных предприятий Свердловской области Совет главных конструкторов промышленных предприятий Свердловской области УЦКП СН УрГУ март 2010

Вице-премьер РФ Жуков А.Д. Визиты в УЦКП СН УрГУ 10 марта 2010 г. 15

16 Испытательный Центр (ИЦ) 19 ноября 2009 года УЦКП СН УрГУ в составе Испытательного Центра веществ, материалов и продукции наноиндустрии ФГУП «Уральский научно-исследовательский институт метрологии» аккредитован Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии на техническую компетентность и независимость Аттестат аккредитации испытательной лаборатории (центра) РОСС RU НН02

17 Метрологическое обеспечение Работы по метрологическому обеспечению измерительного парка УЦКП СН в 2010 году Аттестация методик выполнения измерений20 Разработка методик калибровки13 Калибровка средств измерения13 Поверка средств измерения10 План по улучшению деятельности в области измерений на ноябрь-декабрь 2010 года Аттестация методик выполнения измерений 9 Разработка методик калибровки 3 Калибровка средств измерения 3 Поверка средств измерения 3 Достижение высокого уровня достоверности измерений в УЦКП СН и повышение качества научных результатов НИР по проектам, грантам и договорам, в том числе в рамках деятельности естественнонаучных НОЦ университета Расширение спектра сертифицированных измерений по договорам со сторонними организациями по получению сертификатов соответствия своей продукции и услуг

Стажировки FEI Январь 2009 Системы микроскопии и анализа, Москва, Россия представитель FEI Jeol Январь 2009 Jeol, Tokyo Boeki, Tokyo, Japan Carl Zeiss Февраль 2009 Carl Zeiss, Germany TESCAN Malvern Instruments Апрель 2009 Экситон аналитик, С.-Петербург, Россия представитель TESCAN и Malvern Instruments Нанотехнологии – МДТ Май 2010 Нанотехнологии – МДТ, Зеленоград, Россия MalvernInstruments Август 2010 Malvern Instruments, Great Malvern, UK 18

19 PPLN Периодически поляризованный ниобат лития PPLN от 30 до 2 мкм Период доменной структуры от 30 до 2 мкм Создание стабильных доменных структур в коммерчески доступных сегнетоэлектриках с важными для применения характеристиками Периодические доменные структуры в нелинейно-оптических монокристаллах объемные и волноводные устройства Прецизионная доменная инженерия с наноточностью Доменная инженерия

20 Armstrong&Bloembergen, 1962 Воспроизводимость периода 20 нм Период доменной структуры от 4 до 7 мкм Воспроизводимость периода 20 нм Скважность 0.5 Квази-фазовый синхронизм

21 Параметры элементов Материал LiNbO 3, легированный MgO Размер элементов длина мм ширина мм толщина мм Период доменной структуры мкм (возможны структуры до 20 мкм) Длина волны 532 нм, 488 нм, 473 нм, 460 нм Температура QPM 30 – 80 0 C 30 – 80 0 C (по выбору заказчика) Полировка оба торца оптически отполированы Покрытие просветляющее покрытие на одну или две длины волны Средняя мощность более 10 Вт Эффективность преобразования до 70% до 70% для нм Генерация второй гармоники

22 Зеленый свет 1064 нм (350 мВт) 532 нм (250 мВт ) Прецизионная доменная инженерия ООО «Лабфер»

R G B 23 Генерация второй гармоники

24 Участие в выполнении совместных НИР и НИОКР Участие в выполнении совместных НИР и НИОКР с предприятиями УрФО с предприятиями УрФО с институтами УрО РАН с институтами УрО РАН с университетами с университетами Выполнение исследований в области Выполнение исследований в области нанотехнологий нанотехнологий лазерных нанотехнологий лазерных нанотехнологий нанотоксикологии нанотоксикологии Участие в выполнении комплексных проектов в области наноиндустрии Участие в выполнении комплексных проектов в области наноиндустрии Роснанотех Роснанотех Федеральные Целевые Программы Федеральные Целевые Программы Уральский нанотехнологический центр Уральский нанотехнологический центр Перспективы УЦКП

СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ Размер изображения 10×10 мкм 25

26 Испытательный Центр (ИЦ) ИЦ руководствуется в своей деятельности Федеральным законом «О техническом регулировании» Федеральным законом «Об обеспечении единства измерений» ГОСТ Р ИСО/МЭК , ГОСТ Р ИСО/МЭК Основные функции ИЦ проводит испытания нанопродукции, включенной в область аккредитации выдает протоколы испытаний в форме, соответствующей требованиям ГОСТ Р ИСО/МЭК обеспечивает достоверность, объективность и требуемую точность результатов испытаний принимает на испытания образцы (пробы) с сопроводительной документацией организует работу по поддержанию технического состояния используемых средств измерений и испытательного оборудования участвует в проведении межлабораторных (сравнительных) испытаний ведет учет предъявляемых претензий по результатам испытаний соблюдает установленные сроки проведения испытаний

НАНОТЕХНОЛОГИИ Участие в выставках марта 2009