«Разработка технологии создания фазо- компенсирующих покрытий» автор работы: Никандров Г. В. руководитель: Путилин Э. С. Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики Кафедра оптических технологий

2 Определение фазо-компесирующего покрытия Фазо-компенсирующие покрытия – это такие покрытия, у которых с изменением оптической толщины одного или нескольких слоёв, значение энергетического коэффициента отражения, в одной или интервале длин волн, не должно меняться. То есть: R( )= const, где – показатель преломления слоя, – его геометрическая толщина, R – энергетический коэффициент отражения всей системы, - оптическая толщина слоя

3 Цели Выполнены: Изучены структуры фазо-компенсирующих покрытий. Исследованы влияния погрешности показателя преломления градиентного слоя на спектральные зависимости энергетического коэффициента отражения для исследованных систем. Исследованы спектральных характеристик фазо-компенсирующих покрытий. Проанализированы возможные области применения фазо- компенсирующих покрытий. Планируется: Экспериментальная проверка расчётных результатов Оценка точности воспроизведения фазо-компенсирующих покрытий применительно к задачам создания: - асферизующих покрытий для оптических элементов работающих в пропускании и отражении - градиентных зеркал для лазерных резонаторов, формирующих излучение с высокой осевой яркостью и малой расходимостью

4 Двухслойная четверть волновая система – показатель преломления среды, из которой идёт свет – показатель преломления подложки – показатель преломления первого (градиентного) слоя – показатель преломления второго слоя – амплитудный коэффициент отражения системы – амплитудный коэффициент отражения второго слоя

5 Спектральная зависимость энергетического коэффициента отражения для двухслойной системы ПВН

6 Зависимость энергетического коэффициента отражения от длины волны и толщины градиентного слоя для двухслойной системы ПВН

7 Спектральная зависимость энергетического коэффициента отражения для семислойной системы ПНВНВН ВН.

8 Зависимость энергетического коэффициента отражения от длины волны и толщины градиентного слоя для семислойного покрытия ПНВНВН ВН

9 Спектральная зависимость энергетического коэффициента отражения для системы из девятнадцати слоёв ПНВНВНВНВНВНВНВНВН ВН

10 Зависимость энергетического коэффициента отражения от длины волны и толщины градиентного слоя для системы из девятнадцати слоёв ПНВНВНВНВНВНВНВНВН ВН

11 Расчёт погрешности для двухслойной системы Относительная погрешность в определении n1, при допустимом отклонении значения R в 1% равна:

12 Аналоги Для асферицации: механическая обработка ионная обработка Для резонаторов: градиентные системы (зеркала, мягкие диафрагмы).

13 Этапы разработки 1.Расчёт наиболее экономичных систем в зависимости от задачи. 2.Разработка технологической оснастки применительно к вакуумной установке. 3.Экспериментальная проверка. 4.Изготовление опытной партии