Презентация: «ИННОВАЦИИ В РАЗВИТИИ КОМПАНИИ «ЭСТО-ВАКУУМ» - процессы и оборудование для вакуумно-плазменного формирования наноструктурированных пленок, - презентация

1 Презентация: «ИННОВАЦИИ В РАЗВИТИИ КОМПАНИИ «ЭСТО-ВАКУУМ» - процессы и оборудование для вакуумно-плазменного формирования наноструктурированных пленок, слоев и покрытий» Presentation: «INNOVATIONS IN THE DEVELOPMENT COMPANY «ESTO-VACUUM» - vacuum & plasma processes and equipment for formation nanostructured films, layers and coating» Докладчик: Киреев Валерий Юрьевич – д.т.н., зам. директора департамента научных исследований и перспективных разработок компании «ЭСТО-Вакуум». Presenter: Valeri Yu Kireev – Dr. Sci., depute head R&D department company ESTO- Vacuum Компания ООО «ЭСТО-Вакуум»: , Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 4, стр.1; тел/факс: +7-(499) ; эл. почта: сайт: Joint stock company ESTO-Vacuum: , proezd 4806, 4, bld.1, Moscow, Zelenograd; tel/fax: +7-(499) ; site: vacuum.ru Москва, 2011 Moscow, 2011

2 Перевод вещества в коллоидное (ультрадисперсное) состояние называется наноструктурированием, под которым следует понимать не только получение его в виде свободных наночастиц и нанослоев, но создание и формирование на поверхности вещества наноструктур и нанослоев, а в объеме физических и/или химических нанофаз, а также нанополостей, которые можно рассматривать как своеобразные нанообъекты, отделенные от остальной структуры поверхностями раздела (см. табл. 1). Вещества, материалы и среды в коллоидном состоянии с размерами фаз, частиц, структур и слоев в диапазоне 1,0-100 нм хотя бы по одной координате, принято называть наносистемами, а сами такие объекты - наночастицами, наноструктурами, нанослоями, (нанопленками), нанофазами и нанополостями, обычно обозначая их совокупность термином «нанообъекты». Под технологией, в производственном смысле, понимаются способы контролируемого преобразования вещества, энергии, информации в процессе изготовления продукции, обработки и переработки материалов, сборки готовых изделий, контроля качества, управления. Тогда: нанотехнологии - это способы контролируемого получения веществ, материалов и сред в наноструктурированном (коллоидном) состоянии с новыми физико-химическими свойствами, сопровождающиеся исследованием этих свойств и измерением характеристик и последующим использованием в различных отраслях науки, техники и промышленности. Таким образом, в настоящее время установлено, что в основе нанотехнологий лежит контролируемое наноструктурирование веществ и материалов, приводящее к получению новых искусственных (отсутствующих в природе) внутренних структур этих веществ и материалов, определяющих их уникальные физико-химические свойства. Практически, контролируя процессы наноструктурирования, можно получить неограниченные наборы искусственных аллотропных и полиморфных

3 . Таблица 1 Состояние вещества Раздробленность вещества Размер частиц, нм Степень дисперсности D, см -1 Число атомов в одной частице шт. Средство наблюдения МакроскопическоеГрубодисперсная >10 18 Невооруженный глаз МикроскопическоеТонкодисперсная >10 9 Оптические микроскопы Коллоидное или наноструктуриро- ванное Ультрадисперсная Ультрамикроскопы, РЭМ, ТЭМ, СЗМ Молекулярное, атомное и ионное Молекулярная, атомная и ионная >10 7

4 модификаций любых веществ и материалов, устойчивых в условиях получения и эксплуатации, и имеющих регулируемые новые (требуемые) физико-химические свойства. К таким свойствам относятся: прочность, теплоемкость, температура плавления, электрические и магнитные характеристики, реакционная способность. Подобные различия называются размерными (или масштабными) эффектами. Кроме того, если размеры нанообъектов, хотя бы в одном измерении меньше критических длин, характеризующих многие физические явления, то у них появляются физико- химические свойства квантовомеханической природы. Обобщив в гг. результаты исследований дисперсных систем, профессор Санкт-Петербургского Горного института П.П. фон Веймарн сформулировал фундаментальный принцип универсальности коллоидного состояния вещества: «Коллоидное (наноструктурированное) состояние не является обособленным, обусловленным какими-либо особенностями состава вещества. При определенных условиях каждое вещество может быть получено в коллоидном (наноструктурированном) состоянии». Таким образом, любое вещество может быть получено в виде коллоида и, следовательно, целесообразно говорить не о коллоидных (наноструктурированных) веществах, а именно о коллоидном (наноструктурированном) состоянии, как свойстве Материи. Именно поэтому можно говорить о неисчерпаемости нанотехнологий и с полным основанием считать П. фон Веймарна, а не Р. Фейнмана, основателем нанотехнологий Принцип универсальности требует введения в качестве пятого агрегатного (фазового) состояния, наряду с твердым, жидким, газообразным и плазменным, коллоидного (ультрадисперсного, наноструктурированного) состояния вещества.

5 В наносистемах (наноструктурированных веществах, материалах и средах) можно выделить следующие нанообъекты: - свободные наночастицы; - свободные нанослои (нанопленки); - наночастицы различных веществ в аэрозолях и эмульсиях; - нанопузырьки (газовые наноячейки) в жидких пенах различных веществ; - наночастицы различных веществ в коллоидных растворах (золях) или в коагулированных коллоидных растворах (гелях); - поверхностные физические и химические наноструктуры (наноямки, нановыступы, наноканавки, наностенки); - поверхностные химические наноструктуры (кластеры, фуллерены, углеродные нанотрубки и т.д.); - поверхностные физические и химические нанослои (нанопленки) и их наборы; -объемные физические наноструктуры (нанокристаллические зерна, наноразмерные полиморфные фазы, нанопоры, нанопузырьки и наноканалы); - объемные химические наноструктуры в виде наночастиц и нанослоев вещества, чужеродных данному веществу; - макромолекулы полимеров (следует отметить, что наличие распределения по размерам является признаком, отличающим наночастицы от макромолекул); - супрамолекулярные наноструктуры: макромолекулы, мицеллы, везикулы, липосомы, дендриты, полимолекулярные ансамбли, молекулярные слои, клатраты - молекулярные комплексы типа «хозяин – гость» и др.; биологические наноструктуры: вирусы, белки, хромосомы, нуклеиновые кислоты ДНК и РНК, гены и др. Первоначально объективные физические и химические закономерности ультрадисперсного (коллоидного) состояния вещества изучала коллоидная химия, которая сформировалась в начале 20-го века в самостоятельную научную дисциплину и, впоследствии, стала научной основой промышленных производств многих материалов. Основные отрасли науки и промышленности, изучающие коллоидное (ультрадисперсное, наноструктурированное) состояние веществ и материалов (наносистемы) и использующие нанотехнологии для их получения, исследования и применения, приведены на рис. 1.

6 Коллоидная химия Физика низкоразмерных структур Физико-химическая механика твердых тел и ультрадисперсных структур Биология ультрадисперсных структур Микроэлектроника наноразмерных структур Метрология ультрадисперсных систем Наноэлектроника Молекулярная электроника Функциональная электроника наноструктурированных материалов Наноэлектромеханические системы (НЭМС) Химия полимеров Физическая химия поверхности Супрамолекулярная химия Генетика Молекулярная биология Вирусология Иммунохимия Физика металлических, полупроводниковых и диэлектрических наноструктур Физика сверхпроводящих наноструктур Физика наноструктурированных материалов Механика наноструктурированных и нанокомпозитных материалов Механика нанопорошковых материалов и нанопленочных покрытий Механика обработки материалов с помощью поверхностно-активных веществ Высокоразрешающая сканирующая и просвечивающая электронная микроскопия Сканирующая туннельная, атомная силовая и ионно-полевая микроскопия Инфракрасная, рамановская, фотоэмиссионная и рентгеновская спектрометрия Высокоразрешающая спектрометрия на основе ЯМР и ЭПР и масс-спектрометрия Лазерные и электроннолучевые устройства счета наночастиц в различных средах Рис. 1. Основные отрасли науки и промышленности, изучающие коллоидное (ультрадисперсное, наноструктурированное) состояние веществ и материалов и использующие нанотехнологии для их получения, исследования и применения.

7 Нанообъекты занимают промежуточное состояние между атомно- молекулярным и конденсированным непрерывным (континуальным) состоянием вещества, к которому относятся объекты микро- и макромира. Поэтому нанообъекты могут формироваться: - из более крупных непрерывных объектов макро- или микроскопического уровня путем их диспергирования (измельчения, рассеяния) (диспергационные методы нанотехнологий - подход «сверху вниз» или «top-down»); - и из более мелких дискретных объектов (молекул, атомов, ионов, структурных единиц) атомно-молекулярного уровня вещества их конденсацией (объединением, уплотнением) (конденсационные методы нанотехнологий - подход «снизу вверх» или «bottom up»). Наносистемы (наноструктурированные вещества, материалы и среды) также могут формироваться из нанообъектов диспергационными и конденсационными методами. Если нанообъекты образованы из непрерывного вещества диспергационным методом, а наносистема сформирована из этих нанообъектов конденсационным методом, то обычно формулируется, что наносистема образована из непрерывного вещества дисперсионно-конденсационным методом (рис. 2 ). Если же нанообъекты образованы из дискретных молекул, атомов, ионов или структурных единиц конденсационным методом, а наносистема из этих нанообъектов сформирована диспергационным методом, то часто отмечается, что наносистема образована из дискретных частиц вещества конденсационно-диспергационным методом (рис. 2).

8 Рис. 2. Классификация методов нанотехнологий для получения нанообъектов и наносистем.

9 В отличие от объектов атомно-молекулярного уровня и непрерывных веществ и материалов микро- и макроскопических уровней физико-химические свойства нанообъектов и наносистем в значительной степени определяются параметрами внешней среды. При этом под параметрами внешней среды понимаются: - вид и агрегатное состояние среды, в которой происходит процесс получения нанообъектов и наносистем; - режимы процессов получения и обработки нанообъектов и наносистем; - конструкция, материал и размеры процессных камер и их элементов, в которых происходит процесс получения нанообъектов и наносистем; - материал, качество обработки и очистки поверхности подложек, на которых происходит процесс получения нанообъектов и наносистем. Таким образом, в основе классификации нанообъектов и наносистем обычно лежат способы (методы) их получения ([1] - Киреев В.Ю. Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии. – М.:ФГУП «ЦНИИХМ», – 432 с.). Автор настоящей презентации согласен с утверждением академика РАН Бучаченко А.Л. ([2] -А.Л. Бучаченко. Нанохимия – прямой путь к высоким технологиям нового века. – Успехи химии. 2003, том 72, 5, с. 419 – 437.), что границы области размеров в нанометрах не могут быть корректными критериями наноструктурированного состояния вещества, изучаемого нанохимией. Однако, размерные границы коллоидного (наноструктурированного) состояния вещества были введены еще в начале 20-го века, когда при определении нижней границы не были точно известны размеры атомов и молекул, а верхней граница оценивалась по предельному разрешению оптических микроскопов ([3] - В. Киреев. Нанотехнологии: история возникновения и развития. - Наноиндустрия, 2008, 2, с ).

10 В настоящее время наноструктурированное состояние вещества или мир нанообъектов можно охарактеризовать с четырех точек зрения: классической коллоидной химии; физики низкоразмерных структур; нанохимии и полевой физики. Коллоидная химия использует только размерный критерий, т.е. диапазон (1,0 – 100) нм. Физика низкоразмерных структур оперирует размерами, меньшими критических длин, характеризующих изучаемые физические явления, т.е. началом проявления квантовомеханических эффектов. Согласно нанохимии [2], мир нанообъектов простирается от индивидуальных атомов или молекул до континуальных (непрерывных) систем, составляющих объекты (фазы) микроскопического или макроскопического уровня, причем нанообъекты проявляют физико- химические свойства отличные от других объектов идентичного химического состава, и эти свойства зависят от размера нанообъектов (количества атомов, молекул или структурных единиц в них). С точки зрения полевой физики, основное отличие нанообъектов от других объектов заключается в том, что для первых потеря или приобретение одного элемента (атома, молекулы, структурной единицы) значительно изменяет форму и (или) набор их энергетических полевых оболочек, а, следовательно, их внутреннюю структуру и (или) химический состав и, в конечном итоге, физико-химические свойства ([4] - Киреев В.Ю., Врублевский Э.М., Недзвецкий В.С. и Сосновцев В.В. Философские, физические и химические аспекты объектов и методов нанотехнологий. – Информация и инновации. 2010, специальный выпуск, с. 1 – 90.).

11 Таким образом, в соответствии с классической наукой могут существовать нанообъекты, не являющиеся таковыми с точки зрения нанохимии, так как не обладают размерным эффектом относительно изменения физико-химических свойств. Например, частица железо почти полностью теряет специфические физико- химические свойства (энергия ионизации, магнетизм) и приближается к металлическому железу при числе атомов в частице n = 15. При n > 15 она остается наночастицей в размерном смысле, но теряет качества нанообъекта, в котором, согласно нанохимии, свойства являются функцией размера [2]. Контролируемое наноструктурирование материалов пленок, пленочных структур и покрытий, наносимых в вакууме, эффективнее всего проводить непосредственно в процессе их осаждения на подложки (или изделия), используя управляемые ионно-плазменные обработки подложек и/или попеременное использование источников нанесения пленок различных материалов (рис. 3). Например, изменяя энергию и плотность тока потока ионов аргона, облучающих подложку в процессе нанесения на нее пленок меди из магнетронного источника, можно получить слои меди с различной степенью наноструктурирования и ориентации зерен, а, следовательно, с различной удельной проводимостью. Аналогичным образом, только используя ионы газовой смеси аргон/метан/водород можно получить различные пленки углерода: от аморфного графита до алмазоподобных слоев. Формируя с помощью реактивного магнетронного нанесения структуру из сотни чередующихся слоев нитридов ниобия и тантала толщиной по 20 нм, можно получить сверхтвердое наноструктурированное покрытие.

12 Рис. 3. Принципы наноструктурирования пленок и покрытий при их нанесении на подложку с использованием вакуумно-плазменных и ионных процессов

13 Стратегическим направлением компании ООО «ЭСТО-Вакуум» в области развития наноиндустрии является разработка и изготовление серийного технологического вакуумно-плазменного оборудования, позволяющего энергетически с помощью независимого варьирования параметрами ионного пучка и потока материала управлять процессом формирования структуры наносимых или выращиваемых на подложке пленок, пленочных структур и покрытий различных материалов (рис. 4). Таким образом, на установках компании ООО «ЭСТО-Вакуум» серии «Caroline» получение пленок, пленочных структур и покрытий с уникальными (требуемыми) физико-химическими свойствами может быть поставлено на поток, так как длительные и дорогостоящие научные исследования заменяются независимым варьированием параметров энергетического потока и потока конденсирующего (наносимого) вещества или материала. В настоящее время компания ООО «ЭСТО-Вакуум» ведет разработку кластерной вакуумной установки на базе интегрированного комплекса запатентованных ионно-плазменных устройств с независимой регулировкой операционных параметров каждого устройства, которая будет являться универсальным инструментом для получения новых пленочных материалов, структур и покрытий с уникальными (требуемыми) физико-химическими свойствами.

14 а bc def Рис. 4. Оборудование серии «Caroline» для получения наноструктурированных пленок, слоев и покрытий фирмы «ЭСТО-Вакуум»: a – модель D12A1 для термического, ионно-лучевого магнетронного нанесения с ионным ассистированием; b, e – модели D12B и D12C для магнетронного одностороннего нанесения с ионным ассистированием; c, d – модели D12B1 и D12B3 для магнетронного двустороннего нанесения с ионным ассистированием; f – модель PECVD 15 для химического осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием.