Скачать презентацию
Идет загрузка презентации. Пожалуйста, подождите
Презентация была опубликована 7 лет назад пользователемОлександр Остапенко
1 ЗВОРОТНЕ РЕЗЕРФОРДІВСЬКЕ РОЗСІЮВАННЯ ЗВОРОТНЕ РЕЗЕРФОРДІВСЬКЕ РОЗСІЮВАННЯ (RUTHERFORD BACKSCATTERING) Підготував : Остапенко Олександр ЕП. м -51
2 КОНЦЕПЦІЯ МЕТОДУ Рисунок 1 Схема застосування методу ЗРР 2
3 Рисунок 2 - Тандемний прискорювач іонів 3
4 4 Установка іонної імплантації на базі прискорювача K2MV (HVEE, Нідерланди ) з системою спектроскопії зворотного Резерфордовского розсіювання (RBS- аналізу )
5 (1) 5
6 (2) (3) 6 Аналітичні можливості методу
7 (4) (5) 7
8 Рисунок 3 – Геометрія розсіювання частинок від мішені 8
9 (6) (7) 9
10 Рисунок 4- Енергетичний спектр іонів гелію з енергією 2 МеВ назад розсіяних від кремнієвої мішені (8) 10
11 (9) (10) 11
12 ПЕРЕВАГИ МЕТОДУ ПЕРЕВАГИ МЕТОДУ RBS o можливість визначення дуже малих концентрацій, особливо у випадках тяжких елементів ; o можливість визначення абсолютних концентрацій ; o можливість дослідження хімічних процесів в твердих тілах і побудова глибоких профілів розподілу домішків ; o можливість визначення товщини тонких плівок із спектрів ; o метод є неруйнівним методом кількісного і якісного аналізу. 12
13 ОБМЕЖЕННЯ (НЕДОЛЫКИ) ДАНОГО МЕТОДУ: низька чутливість при визначенні легких елементів ; низька чутливість при визначенні легких елементів ; втрата можливості проведення якісного аналізу в випадку тяжких елементів ; втрата можливості проведення якісного аналізу в випадку тяжких елементів ; складність і неоднозначність в інтерпретації спектрів ( необхідно додаткова інформація ); складність і неоднозначність в інтерпретації спектрів ( необхідно додаткова інформація ); неможливість отримання профілів розподілу легких домішок тяжкій матриці. неможливість отримання профілів розподілу легких домішок тяжкій матриці. 13
14 ДЯКУЮ ЗА УВАГУ ДЯКУЮ ЗА УВАГУ
Еще похожие презентации в нашем архиве:
© 2024 MyShared Inc.
All rights reserved.