Сканерлеуші электронды микроскоп. Растрлы қ электронды қ микроскоп (РЭМ) ү лгіні ң бетіндегі суретті, сонымен қ атар құ рамы туралы информацияны алу ғ. - презентация

1 Сканерлеуші электронды микроскоп

2

3 Растрлы қ электронды қ микроскоп (РЭМ) ү лгіні ң бетіндегі суретті, сонымен қ атар құ рамы туралы информацияны алу ғ а арнал ғ ан жо ғ ары (0,4 нанометрге дейін) ке ң істіктік р ұқ саты бар электронды микроскоп класына жататын қ ондыр ғ ы. Б ұ л микроскоп электронды қ микроскопты ң бір т ү рі, зерттелетін бетті барлап бай қ ау ү шін оны фокустал ғ ан электр шо ғ ы ар қ ылы сканерлейді. Зерттелетін затты ң электронды қ шо қ тарыны ң ә серлесу принципына негізделген Сканерлеуші электронды микроскоп

4 Сканирлеуші электронды қ микроскоп биік ке ң істікті ң (0,4 нм дейін) р ұқ сатымен объектіні ң бет жа ғ ыны ң бейнесін алу ү шін қ олайлы ж ә не құ рамы туралы а қ парат береді. Электронды қ шо қ тарды ң зерттелетін объектімен ө зара ә серлесуіне негізделген. Қ азіргі уа қ ытта сканирлейтін электронды қ микроскоп ү лкен диапозонда 10 краттан кратка дейін ү лкейтеді. Ол оптикалы қ микроскоп қ а қ ара ғ анда 500 есе жа қ сы ү лкейтеді. СЭМ

5 Суретті қ арау ү шін ә р т ү рлі сигналдарды детектірлеуді пайдаланады: екінші электрондар теріс электондар, рентгендік с ә уле шы ғ ару ү лгі ар қ ылы ө тетін ток қ олданылады.

6 Сканирлеуші электронды қ микроскоп биік ке ң істікті ң (0,4 нм дейін) р ұқ сатымен объектіні ң бет жа ғ ыны ң бейнесін алу ү шін қ олайлы ж ә не құ рамы туралы а қ парат береді. Сканерлеуші электронды қ микроскопты ң негізгі қ ызметі – зерттелініп от қ ан ү лгіні ң улкейтілген суретін ә р т ү рлі сигналдарда алу.

7 Сканерлеуші электронды микроскопты ң сызба-н ұ с қ асы

8 2009 жылы ен жа қ сы р ұқ сат микроскопында 30 кВ кернеуде 0,4 нм бол ғ ан.

9 Физика; Электроника; Биология; Фармацевтика; Медицина; Материалтану; Химия; Нанотехнология ж ә не т.б. Қ олданылуы

10

11 Carl Zeiss Microscopy (часть Carl Zeiss Group) Германия FEI Company США (часть Thermo Fisher Scientific (англ.) Hitachi Япония JEOL (англ.) Япония (Japan Electron Optics Laboratory) Tescan Чехия KYKY Китай

12 Көлемді Обьектілердің үлкен пішімдері Электронды оптиканың қарапайым жүйесі Үлкейтудің үлкен диапазоны: 3-тен есеге дейін Үлгінің бетіндегі бөлшектердің көрінуі Сканерлеуші электронды микроскоптың артықшылықтары

13 Р ұқ сат беру қ абілеттілігі аз (5 – 20 нм) Сканерлеуші электронды микроскоптың кемшілігі