РАЗРАБОТКА И АПРОБАЦИЯ МОДУЛЯ «ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ 3D ИЗДЕЛИЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ» ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ ПРОГРАММЫ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЭЛЕМЕНТОВ ДИСТАНЦИОННОГО. - презентация

1 РАЗРАБОТКА И АПРОБАЦИЯ МОДУЛЯ «ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ 3D ИЗДЕЛИЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ» ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ ПРОГРАММЫ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЭЛЕМЕНТОВ ДИСТАНЦИОННОГО ОБУЧЕНИЯ Скажи мне, и я забуду, Покажи мне, и я вспомню, Вовлеки меня в процесс, и я пойму, Отойди, и я буду действовать! ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ (ВГТУ)

2 «ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ 3D ИЗДЕЛИЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ» ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ «ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ 3D ИЗДЕЛИЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ» Цель пилотного модуля: теоретическая и практическая подготовка специалистов в области проектирования и производства 3D сверхбольших интегральных схем (3D ИС) с топологическими нормами менее 100 нм в режиме дистанционного обучения (e-learning).

3 Задачами подготовки специалистов являлись: освоение высокоуровневых языков моделирования и проектирования; освоение методики проектирования аналоговых, цифровых и аналого-цифровых сложно-функциональных блоков 3D ИС; освоение методов оптимизации, верификации и тестирования 3D ИС; освоение технологии производства 3D ИС; изучение принципов работы и конструкции оборудования для производства 3D ИС; получение практических навыков использования контрольно-измерительного и аналитического оборудования в производстве 3D ИС.

4 Кооперация ВГТУ и предприятий региона по проектированию и производству 3D изделий наноэлектроники

5 Эволюция технологии создания межсоединений Система на плате Проблемы: длинные соединения; ограничения по пропускной способности Система в корпусе Проблемы: высокая трудоемкость выполнения проволочных выводов; низкая надежность проволочного монтажа. 3D-ИС Достоинства: интеграция кристаллов, изготовленных по различным технологиям; гибкость и высокая функциональность; высокая пропускная способность.

6 ВЗПП-С ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ на программу переподготовки сотрудников ОАО «ВЗПП-С» в формате e-learning по пилотному модулю «ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ 3D ИЗДЕЛИЙ НАНОЭЛЕНКТРОНИКИ» ВГТУ РЕАЛИЗАЦИЯ ПИЛОТНОГО МОДУЛЯ

7 ЦЕНТР ДИСТАНЦИОННОГО ОБУЧЕНИЯ ВГТУ Система дистанционного обучения Moodle e-learning.vorstu.ru

8 Разработанные учебные пособия по теме пилотного модуля Балашов Ю.С. Системное проектирование 3D изделий: учеб. пособие / Ю.С. Балашов, И.А. Сафонов. Воронеж: ФГБОУ ВПО «Воронеж. гос. техн. ун-т», с. Балашов Ю.С. Проектирование аналоговых устройств для 3D изделий: учеб. пособие / Ю.С. Балашов, А.М. Сумин, А.В. Русанов. Воронеж: ФГБОУ ВПО «Воронеж. гос. техн. ун-т», с. Балашов Ю.С. Проектирование цифровых устройств для 3D изделий: учеб. пособие / Ю.С. Балашов, Д.В. Шеховцов. Воронеж: ФГБОУ ВПО «Воронеж. гос. техн. ун-т», с. Балашов Ю.С. Проектирование систем в корпусе: учеб. пособие / Ю.С. Балашов, И.А. Сафонов, Д.В. Шеховцов. Воронеж: ФГБОУ ВПО «Воронеж. гос. техн. ун-т», с. Каширский С.Н. Ускоренный курс английского языка для проектировщиков сверхбольших интегральных схем: учеб. пособие / С. Н. Каширский, Ю.С. Балашов, А.А. Твожидло. Воронеж: ФГБОУ ВПО «Воронеж. гос. техн. ун-т», с. Липатов Г.И. 3D интеграция с использованием технологии TSV / Г.И. Липатов. Воронеж: ФГБОУ ВПО «Воронеж. гос. техн. ун-т», с.

9 Проектирование 3D сборки источника опорного напряжения и микроконтроллера ввода-вывода UART Электрическая схема передающей части блока UART, синтезированная в RTL Compiler Электрическая схема принимающей части блока UART, синтезированная в RTL Compiler Топология блока UART

10 Разработка компаратора напряжения с последовательным портом вывода Топология последовательно порта вывода Моделирование схемы в ADEL с использованием симулятора Spice 3D-сборка компаратора и последовательного порта

11 МОДЕРНИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВА ПРИ ВНЕДРЕНИИ 3D СБОРКИ ИС НА УЧАСТКЕ ЭЛЕКТРОХИМИИ Технология медной 3D металлизации (damascene) только затравочный слой 5 сек 10 сек 15 сек 25 сек Эволюция заполнения углубления осадком меди Схема ячейки электроосаждения и ее конструкция с регулировочной платой спереди

12 МОДЕРНИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВА ПРИ ВНЕДРЕНИИ 3D СБОРКИ ИС НА УЧАСТКЕ УТОНЕНИЯ ПЛАСТИН Утоненная кремниевая пластина Последовательность этапов утонения пластины Поперечные сечения трех основных схем 3D интеграции лицевая-к-задней лицевая-к-лицевой на базе КНИ Установка шлифования пластин ЭМ-2050

13 ИЗ ИНТЕРВЬЮ С ГЕНЕРАЛЬНЫМ ДИРЕКТОРОМ ОАО «ВЗПП-С» РЯЗАНЦЕВЫМ Б.Г. … Считаю необходимым продолжение совершенствования содержательной части образовательной программы дистанционного обучения по программе «Проектирование и технология 3D изделий наноэлектроники» с целью формирования интерактивной образовательной среды разработка виртуальных лабораторий, интерактивных учебных пособий, видеороликов и демонстраций, многовариантной вопросной базы и т. п. Нашим предприятием будут предприняты организационные мероприятия по дополнительному финансированию данной работы для обеспечения подготовки высококвалифицированных кадров как для нашего предприятия, так и для отрасли в целом, включая предприятия Воронежской области, работающие в области наноиндустрии.