МГТУ МИРЭА 10 апреля 2013. Директор Центра дистанционного обучения МГТУ МИРЭА. - презентация

1 МГТУ МИРЭА 10 апреля 2013

2 Директор Центра дистанционного обучения МГТУ МИРЭА

3 Электронное обучение высоким технологиям, высокие технологии электронному обучению! E-LEARNING HI-TECH, HI-TECH E-LEARNING!

4 1. Интерактивность. 2. Доступность. 3. Понятность. 4. От простого к сложному. 5. От сложного к простому. 6. Практичность. 7. Тренинг – основа умения. 8. Компьютерное моделирование. 9. Самоконтроль. 10. Промежуточный и итоговый оценочный контроль.

5 1. Теоретическая составляющая с системой контроля понимания. 2. Описание обобщенного применяемого оборудования, оценка знания принципов работы. 3. 3D-моделирование реальных установок, тренинг. 4. Проведение виртуальных экспериментов (виртуальная лабораторная работа), тренинг. 5. Контрольный виртуальный эксперимент. Определение уровня компетенции.

6

7

8

9 SENTECH Instruments GmbH SI 500 Двухреакторная установка плазмохимического травления PlasmaLab 100

10 Ионно-реактивное травление полупроводников (Si, p- Si) Ионно-реактивное травление диэлектриков (SiO 2, Si 3 N 4 ) Ионно-реактивное травление материалов СВЧ (GaAs) Ионно-реактивное травление материалов СВЧ (GaN) Ионно-реактивное травление металлов (Аl) Ионно-реактивное травление металлов (Cu)