-это новая волна полупроводниковой революции. МЭМС обеспечивают полупроводникам сверх возможности «думать»,возможность «ощущать» сообщаться и взаимодействовать. - презентация

1

2 -это новая волна полупроводниковой революции. МЭМС обеспечивают полупроводникам сверх возможности «думать»,возможность «ощущать» сообщаться и взаимодействовать с внешним миром. -МЭМС в новом веке такой же ускоряющий развитие фактор, как микропроцес- соры в 80-х и Интернет в 90-х. -потенциальные возможности МЭМС ограничены только нашим воображением

3 Ускорение, давление, температура, усилие, перемещение и тд. МикроЭлектроМеханические Системы миниатюрные детали микроинструменты микромашины микродатчики Сопротивление, емкость, индуктивность

4

5 гироскоп образца XIX векаСовременный МЭМС-гироскоп Лапка муравья на матрице из микрозеркал

6 стекло, монокристаллический, поликристаллический, пористый кремний, диоксид и нитрид кремния, полиимид, вольфрам, никель, медь, золото, алмазо-подобный углерод использующиеся для формирования: несущих конструкций; токоразводки; смазки. Конструкционные"Активные умные" никель/титан, пермаллой, кварц, окись цинка, пьезокерамика, материалы группы A 3 B 5, А 4 В 6 использующиеся для формирования: источников движения; механизмов передачи движения; сенсорных и активирующих сред.

7 MEMS-транспортер образец микротурбины Самый маленький в мире паровой двигатель Прототип щипцов для микрохирургии глаза

8

9 компания Epson компании HP, Canon, Lexmark

10

11

12