Сканирующая зондовая литография Лаврентьев Анатолий Генрихович Лицей 2 г. Чебоксары. - презентация

1 Сканирующая зондовая литография Лаврентьев Анатолий Генрихович Лицей 2 г. Чебоксары

2 Литография Литография (от греческих «lithos» камень и «grapho» пишу, рисую) была создана в 1798 году Алоизием Зенефельдером в Богемии. В этот период это было невероятное ноухау)))

3 Для чего нужна литография???

4 Для чего это нужно ??? Стало возможным делать сравнительно недорогие цветные рисунки и переводить графику художников для продажи. Вначале литография использовалась для воспроизведения цветных иллюстраций. В Европе начали открываться литографические заведения, а с 1813 года появились и у нас, в России.

5 Литографский камень - кусок плотного известняка, который долго и трепетно шлифуется. Далее на него наносится рисунок

6 Процесс литографии на камне рисуется изображение камень протравливается кислотой, воздействующей на не покрытую жиром поверхность. (жир - это наш карандаш и тушь) литографский камень устанавливается в станке исходное изображение смывается валиком наносится на увлажненный камень краска, пристающая лишь к непротравленным частям камня, в точности соответствующим рисунку бумага посредством литографского станка плотно прижимается к покрытому краской литографскому камню или пластине (прокатывается под прессом).

7 Литография сегодня В микроэлектронике технологию, которая применяется при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных микросхем, а также некоторых сверхпроводниковых наноструктур.микроэлектронике полупроводниковых приборов интегральных микросхемсверхпроводниковых

8 Сканирующая зондовая литография Биннинг и Рорер предложили использовать зонд для манипуляции отдельными атомами

9 Виды зондовой литографии СТМ литография; АСМ анодно-окислительная литография; АСМ силовая литография. Другие специфические виды (электростатическая зарядовая литография, литография с помощью зонда ближнепольного оптического микроскопа и др

10 СТМ литография В сканирующем туннельном микроскопе при напряжении между игольчатым электродом и подложкой 5 В и зазоре между ними 0,5 нм возникают электрические поля приблизительно ? В/см, сравнимые с внутриатомными

11

12

13

14 Примеры анодного окисления

15 Силовая литография Виды силовой литографии статическое воздействие(наногравировка) Динамическое воздействие(наночеканка).

16 При осуществлении наногравировки с использованием методики обычной контактной силовой микроскопии зонд микроскопа перемещается по поверхности подложки с достаточно большой силой прижима, так что на подложке (или на расположенном на ней слое резиста) формируется рисунок в виде углублений (царапин)

17

18 Динамическая силовая литография С использованием динамической силовой литографии (наночеканки) модификация поверхности происходит за счет формирования углублений на поверхности образца колеблющимся зондом, при этом используется прерывисто-контактный метод сканирования.

19

20 Пример динамической литографии