Компьютерное моделирование и проектирование микро- и нано- электроники и микроэлектро- механических систем III-ий региональный семинар, 2011 г. Кафедра. - презентация

1 Компьютерное моделирование и проектирование микро- и нано- электроники и микроэлектро- механических систем III-ий региональный семинар, 2011 г. Кафедра «Физика» Естественнонаучный факультет Государственный университет – Учебно-научно-производственный комплекс Наугорское шоссе, 29, г. Орел, , Россия

2 Приборно-технологическое моделирование микро- и наноэлектроники в Госуниверситете УНПК 2004 г. - моделирование характеристик полупроводниковых приборов силовой электроники (ЗАО «Протон-Электротекс») 2008 г. - организация учебно-научно-исследовательской лаборатории приборно-технологического моделирования микро- и наноэлектроники (кафедра «Физика» ФЭиП ОрелГТУ)

3 Учебно-научно-исследовательская ЛАБОРАТОРИЯ ПРИБОРНО- ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ Турин Валентин Олегович профессор кафедры «Физика» Госуниверситета-УНПК, кандидат физико-математических наук Тел. +7 (4862) Факс: +7 (4862) Наугорское шоссе, 29, г. Орел, , Россия

4 ОБЛАСТЬ ИССЛЕДОВАНИЙ ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ - технологические процессы; - процессы, протекающие при различных режимах работы приборов; - проблемы эксплуатационной надежности и т.д.

5 Методы исследований ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РАБОТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И УСТРОЙСТВ ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННЫХ СХЕМ И ПРИБОРОВ НА ОСНОВЕ КОМПАКТНЫХ МОДЕЛЕЙ АНАЛИТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ

6 СОВРЕМЕННЫЕ ПРОМЫШЛЕННЫЕ СТАНДАРТЫ ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ (TCAD) математические пакеты: MatLab, Mathcad, Mathematica, Maple; пакеты решения уравнений математической физики методом конечных элементов: COMSOL Multiphysics, ANSYS, SIMULIA Abaqus; пакеты моделирования электронных схем типа SPICE фирм SYNOPSYS, CADENCE, SILVACO, MENTOR GRAPHICS; TCAD пакеты моделирования полупроводниковых приборов и технологий фирм SYNOPSYS и SILVACO использование свободного математического обеспечения

7 Потенциал развития: проблемы, решаемые ранее отраслевыми институтами

8 Круг интересов на современном этапе развития Силовые диоды и тиристоры (ЗАО «Протон-Электротекс») МОП-транзисторы (ООО «Протон») КНС-тензодатчики (ЗАО «ОрлЭкс») Тонкоплёночные транзисторы (RPI -USA, URV-Spain, МИФИ) GaN полевые транзисторы (RPI-USA) Полупроводниковые лазеры (ФГУП «Полюс», ФИАН, МИРЭА) Лекционные курсы и экспериментальный практикум по физическим основам электроники и физико-химическим основам технологии электронных систем (ОрёлГТУ)

9 Учебно-научно-исследовательская ЛАБОРАТОРИЯ ПРИБОРНО- ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ Турин Валентин Олегович профессор кафедры «Физика» Госуниверситета-УНПК, кандидат физико-математических наук Тел. +7 (4862) Факс: +7 (4862) Наугорское шоссе, 29, г. Орел, , Россия