Спецкурс «Методы элементного анализа твердых тел» Черныш Владимир Савельевич Основная литература. 1. Л. Фелдман, Д. Майер. Основы анализа поверхности и. - презентация

1 Спецкурс «Методы элементного анализа твердых тел» Черныш Владимир Савельевич Основная литература. 1. Л. Фелдман, Д. Майер. Основы анализа поверхности и тонких плёнок. Пер. с англ. - М.: Мир, – 344 с., ил. 2. Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. III. Характеристики распыленных частиц, применения в технике: Пер. с англ./ Под ред. Р. Бериша и К. Виттмака. – М.: Мир, – 551 с., ил. 3. Электронная и ионная спектроскопия твёрдых тел. Пер. с англ./ Под ред. Л. Фирмэнса, Дж. Вэнника и В. Декейсера. – М.: Мир, – 467 с., ил. 4. Черепин В.Т. Ионный микрозондовый анализ.-К.: Наукова думка, Дополнительная литература

2 История вопроса ОБЪЕКТ ИССЛЕДОВАНИЯ И ПРЕДМЕТ КУРСА ?

3 Глава I. Краткие сведения из теории атомных столкновений 1.1. Кинематика атомных столкновений. m1m1 E0E0 m2m2 E2E2 E1E1 Упругие столкновения. E 1 = [ (m 2 2 –m 1 2 sin 2 ) 1/2 +m 1 cos /(m 1 +m 2 )] 2 E 0 = =kE 0 где k – кинематический фактор E 2 = E 0 cos 2, где = 4m 1 m 2 /(m 1 +m 2 ) 2 До столкновения: m 1 v 1 2 /2=E 0 v 2 =0 I. Если m 1 >m 2, то (m 2 2 –m 1 2 sin 2 ) 0. Отсюда: max = arc sin m 2 /m 1. II. Рассеяние назад, т.е. 2, возможно только, если m 1

4 1.2. Рассеяние в центральном поле Приведенная масса. О переходе к лабораторной системе! (см. Ландау, «Механика», т.1) Итак, задача о движении двух взаимодействующих частиц (m 1 и m 2 )сводится к рассмотрению движения одной частицы с приведенной массой m в центральном потенциальном поле U(r).

5 1.2.2.Рассеяние частиц. Таким образом, зная прицельный параметр и потенциал взаимодействия, мы можем определить угол рассеяния частицы, т.е. решить задачу рассеяния.

6 1.2.3.Потенциал взаимодействия атомных частиц.

7 1.2.4.Сечение рассеяния.

8 Глава II. Распыление поверхности при ионной бомбардировке 1.Основные характеристики распыления.