1 Волкова Яна Борисовна НОЦ «Наносистемы» каф. ИУ4 Москва 2011 В рамках технологий обучения в системе непрерывного образования «Школа-колледж-университет-последипломное образование»

2 Непрерывное образование на базе учебно-экспериментального комплекса формирования компонентов наносистем Начальное общее образование Основное общее образование Профильно ориентированные технологические лаборатории для школьников Среднее (полное) общее образование Начальное профессиональное образование Специальное профессиональное образование Среднее профессиональное образование. Колледж. Экспериментально прикладные бакалаврские задачи Исследовательские магистерские программы Повышение квалификации Высшее профессиональное образование Экспериментальные маршруты для исследовательских задач кадров высшей квалификации Аспирантура. Докторантура.

Микро- и нано- технологии – совокупность наук Изучение наноструктур и наноматериалов, как направление нанотехнологических и нанонаучных изысканий, базируется на нескольких фундаментальных и прикладных науках, а также на исследовательских методиках.

4 Профильно ориентированные технологические лаборатории для школьников Решаемые задачи: Анализ элементарных методов и средств формирования микро- и нано- структур. Применение базовых средств и методов измерения микро- и нано– структур. Формирование общих представлений о микро- и нано- структурах. Личностное развитие по направлению профильной ориентации. Цели проведения лабораторных работ: Расширение кругозора в области профильной ориентации школьников. Интеграция фундаментальных наук в практические методы формирования и результаты исследований микро- и нано- структур. Получение практических навыков работы в лаборатории.

5 Профильно ориентированные технологические лаборатории для студентов колледжей Цели проведения лабораторных работ: Подготовка специалистов среднего звена, для работы с технологическим оборудованием, формирования и исследования микро- и нано- структур. Расширение кругозора студентов в области профессиональной деятельности. Получение практических навыков формирования и исследования микро- и нано- структур. Решаемые задачи: Анализ общих методов и средств формирования микро- и нано- структур. Применение различных средств и методов измерения микро- и нано– структур. Получение навыков анализа микро- и нано- структур, а так же исследования физико- химических характеристик поверхности

6 Профильно ориентированные технологические лаборатории для студентов высших учебных заведений Цели проведения лабораторных работ: Подготовка специалистов советующего уровня профессиональных знаний и навыков. Получение практических и теоретических знаний по методам формирования, моделирования, модификации и измерения микро- и нано- структур. Изучение комплексов, установок и методов работы с микро- и нано- структурами. Решаемые задачи: Обновление и углубление знаний в направлении приобретения практических и теоритических знаний в области формирования и измерений микро- и нано- структур; Освоение прогрессивных методов, средств и технологий; расширения кругозора, повышения профессиональной и общей культуры; изучения отечественного и зарубежного опыта; Привить практические навыки использования информационных технологий в профессиональной деятельности;

7 Задачи ресурсного центра Задача 1 : Формирование методической и материально- технической инфраструктуры подготовки и переподготовки кадров по наноиндустрии Задача 2 : Развитие инфраструктуры проведения совместных научных исследований в кооперации с центрами ННС и университетами Задача 3: Формирование инфраструктуры осуществления научно-информационного обмена и мониторинга

8 «Жизненный цикл ресурсного центра» (НОЦ, ЦКП) Лаборатории и кафедры Малые фирмы R&D центры Творческие коллективы Кадровое обеспечение предприятий ННС Инновационные предприятия ННС Нац. проекты, ФЦП, Программы МОН РФ Фонды содействия малому предпринимательству РФФИ Целевые программы ННС Заказные НИКОР Международные Фонды и программы Начальное (посевное) финансирование Софинансирование НИОКР и управление интеллектуальной собственностью (бизнес инкубатор) Результаты НИОКР, патенты, лицензии, опытные образцы софинансирование Область «Идея» Область коммерциализации (предприятия ННС) Государственные ресурсы Инкубатор университета НОЦ «Наносистемы» 1. Подготовка кадров 2. Проведение НИОКР 3. Научно-информационный обмен и мониторинг. Университет Подготовка и переподготовка кадров для ННС на базе проектных методов обучения Проектные задания от ННС Жизненный цикл «проектных технологий» обучения

9 Лаборатория «Формирование наноструктур» Научно-учебная лаборатория «Формирование наноструктур» предназначена для обеспечения тестовыми образцами проектных работ студентов, магистров и аспирантов по направлениям наноинженерия и наноэлектроника, а также тест-образцов для проведения лабораторных работ по микроскопии и оптонаноэлектронике в лабораториях кафедры ИУ4. Включает в свой состав несколько малогабаритных экономичных настольных напылительных установок Scancoat Six, которые предназначены для проведения лабораторных работ и начального обучения студентов по использованию вакуумного нанотехнологического оборудования. Обеспечивает весь цикл подготовки образцов для традиционного сканирующего электронного микроскопа (SEM). Система проста в обращении и может использоваться для нанесения высококачественных токопроводящих покрытий на разнообразные образцы. Учебные программы по специализации наноэлектроника в рамках данной лаборатории реализуются при поддержке НИИ Системных исследований (РНЦ Курчатовский центр»). В рамках лаборатории работает студенческое конструкторское бюро «Наносистемная техника и наноэлектроника». Учебно-экспериментальный технологический цикл формирования компонентов наносистем Проектирование структуры компонентов наносистем Формирование структуры (напыление) Формирование структуры (осаждение) Формирование структуры (литография) Функциональное тестирование (зондовая станция) Измерения и контроль качества (микроскопия) Испытания и сертификация

10 Лаборатория «САПР наносистем» Лаборатория «САПР наносистем» реализует образовательные программы подготовки специалистов по направлению «Проектирование и технология производства ЭС» (направление: «Наноинженерия и наноэлектроника») и включает в себя весь спектр необходимого программного обеспечения для моделирования наносистем. Задачи моделирования и автоматизированного проектирования наносистем выходят в последнее время на первое место, они позволяют на много снизить сроки разработки новых образцов и снизить финансовые издержки на опытно-экспериментальные работы. Задачи моделирования элементов МЭМС и НЭМС, тонкопленочных и наноразмерных структур решаются с использованием таких современных САПР как ANSYS, COMSOL (метод конечных элементов); APSYS (метод конечных элементов для полупроводниковых наноструктур); IntelliSuite (полный цикл разработки МЭМС), CODE V (оптическое моделирование), MatLab (математическое моделирование), CADENCE (проектирование приборов и систем), Mentor Graphics (проектирование электронных приборов и устройств), SYNOPSYS (схемотехническое проектирование), TCAD - SYNOPSYS (приборно-технологического моделирования полупроводниковых структур), PTC Software and Services (САПР электронно-механических систем), Solidworks (САПР конструкционных систем), PROLITH (комплекс моделирования литографии компании Компания KLA-Tencor). Учебные программы по специализации наноэлектроника в рамках данной лаборатории реализуются при поддержке НИИ Системных исследований (РНЦ Курчатовский центр»). Сеточная модель кантеливера СЗМ

11 Модуль «САПР наносистем» ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: проведение практикумов и мастер классов по блоку дисциплин «САПР наносистем»: - «Автоматизированное проектирование наносистем»; - «Моделирование физико-механических компонентов наносистем»; - «Моделирование МЭМС и НЭМС»; - «Моделирование объектов среда- структура в САПР наносистем»; выполнения курсовых работ по специал. «САПР наносистем»; проведения научно-исследовательских работ; подготовки бакалаврских и магистерских диссертаций с использованием современного программного обеспечения; повышения квалификации и переподготовки профессорско- преподавательского состава. Для решения экспериментальных задач: проведение фундаментальных исследований по проблемам моделирования наносистем и разработки САПР наносистем; выполнения научно-исследовательских и опытно - конструкторских работ по разработке наносистем с использованием современных промышленных САПР; выполнение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по разработке аппаратно-программных средств автоматизации проектирования, направленных на повышение эффективности использования средств САПР при создании наносистем; консалтинг представителей промышленности по внедрению САПР и ИКТ в наноинженерии. разработка нормативно-технической документации.

12 Лаборатория «Микроскопии» Лаборатория «Микроскопии» специализируется на проведении исследований микро и наноструктур. Среди разработок лабораторий: электрохромные покрытия оптических систем, фильтры Фабри Перо высокой разрешающей способности, Разработка нейросетевых методов распознавания изображений при дефектоскопии проводящих микро- и наноструктур, разработка активных виброзащитных систем от низкочастотной вибрации нанотехнологичсеких измерительных комплексов и т.п. Лаборатория Микроскопии укомплектована современным измерительным оборудованием с высоким разрешением: Сканирующими зондовыми микроскопами (СЗМ) NanoEducator_v.I. Оптическими микроскопами IntelPlay, Zeiss Stereo_v.8, Zeiss Axio_v.2. Научно-исследовательским сканирующим зондовым микросокпом Solver PRO 47 – Сканирующим туннельным микроскопом производства концерна Наноиндустрия «Умка» Спектроэлипсометром «Эльф» концерна Наноиндустрия. Конфокальным Рамановским микроскопом Учебные программы по специализации наноэлектроника в рамках данной лаборатории реализуются при поддержке НИИ Системных исследований (РНЦ Курчатовский центр») и ФТИАН РАН.

Нанотехнологии – наука среди наук! Размер: 16x16x2 mkm Лимфоциты человеческой крови Размер: 12.5x13.0 mkm АСМ изображение эритроцитов

Современные микросхемы Технологии позволяют изготовить микросхемы, в которых характеристическая величина, равная половине расстояния между каждым элементом памяти составляет 32 нм. Intel Xeon L мкм В настоящее время одной из общих тенденций развития современной техники является миниатюризация функциональных устройств.

Микросхемы из нанопроводов еще и в 10 раз энергоэффективнее, чем из обычных материалов. Одной из причин являются их электрические свойства, которые не позволяют току рассеиваться, как случается с обычными транзисторами. Другая причина – использование в микросхеме емкостных соединений вместо менее эффективных резистивных. Микросхемы будущего Структура полевого транзистора, соединенного нанопроводами.

16 Модуль микроскопии ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: -Обеспечивает проведение лабораторных практикумов и практических занятий по дисциплинам ГОС подготовки бакалавров/ магистров по Нанотехнологии с профилем подготовки наноинженерия: - сканирующая зондовая микроскопия - сканирующая тунельная микроскопия - оптическая микроскопия, профилометрия эллипсометрия и т.п. -Обеспечение функций контроля качества образцов и тест-структур при выполнении курсовых проектов и курсовых работ. -Освоение базовых методик микроскопии согласно перечню ГОС. Для решения экспериментальных задач: Обеспечение реализации следующих базовых методик микроскопии: 1. Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ) 2. Контактная сканирующая атомно- силовая микроскопия (КАСМ) 3. Прерывисто-контактная сканирующая силовая микроскопия 4. Бесконтактная атомно-силовая микроскопия (Non Contact AFM) 5. Многопроходные методики (Many-pass techniques) 6. Ближнепольная оптическая микроскопия (БОМ) 7. Оптическая микроскопия 7.1.Спектроскопия 7.2.Эллипсометрия 7.3.Оптическая профилометрия 7.4. Раман-спектроскопия 7.5.Рентген 8. Электронная микроскопия

17 Подготовительные операции Модуль формирования наноструктур Для проведения полного цикла получения образцов необходимо реализовать следующие подготовительные операции: Очистка поверхностей Нанесение резиста Отмывка между технологическими операциями Центрифуга для нанесения резиста Стол и оснастка для проведения жидкостных процессов и приготовления растворов удаление органических пленок и загрязнений удаление остатков металлов и загрязнений удаление остатков двуокиси кремния Нанесение резистивных масок Отмывка между технологическими операциями Контроль заготовок образцов

18 Модуль формирования наноструктур ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: жидкостные процессы – самые простые и понятные процессы, необходимы для полного понимания изучаемых базовых технологических процессов формирования компонентов наносистем простое и быстрое (в течении одной Лабораторной работы без предвари- Тельной подготовки) получение экспонированного изображения лёгкость эксплуатации и обслуживания Для решения экспериментальных задач: большое количество реализуемых процессов возможность работы с веществами для нескольких процессов гибкость системы для применения к любому тех. процессу (обеспечивают следующие базовые техоперации: нанесение пленки резиста и сушку, совмещение и экспонирование, проявление).

19 Литография Установка совмещения и экспонирования применяется для формирования рисунка в фоторезисте Модуль формирования наноструктур

20 Модуль формирования наноструктур ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: простая и удобная в использовании система быстрое получение (цикл менее 1 часа) экспонированного изображения лёгкость управления и обслуживания Для решения экспериментальных задач: высокая точность совмещения (1мкм) лампа с длиной волны 280 нм для проектной нормы до 150 нм ИК выравнивание задней поверхности для большей точности совмещения Параметры: Контактная литография 6 пластины + кусочные образцы Шаблоны от 2,5х2,5 до 7х7 Разрешение < 1 мкм Совмещение < 2 мкм Точность стола XY +- 3,8 мм Точность стола Z < 50 нм

21 MantisDeposition Qprep Модуль формирования наноструктур Система магнетронного осаждения, применяется для получения тонких плёнок металлов, оксидов и диэлектриков Используемые газы: - аргон и кислород для всех установок, - CF4(RIE), SF6(RIE), TEOS(PECVD), N2(PECVD), N2O(PECVD).

22 Модуль формирования наноструктур ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: простая и удобная в использовании система модульная система облегчает обучение и эксплуатацию Для решения экспериментальных задач: большое количество реализуемых процессов оптимальные технические параметры и минимальное занимаемое пространство высокое качество проводимых процессов большое количество опций делает систему очень гибкой

23 TrionTech Orion III Система осаждения из газовой фазы, стимулированной плазмой, применяется для осаждения слоёв кремния, его оксидов и нитридов, тантала, вольфрама и углеродо содержащих соединений Модуль формирования наноструктур

24 Модуль формирования наноструктур ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: простая и удобная в использовании система с лёгким интерфейсом значительно упрощает освоение и работу на ней гибкая система настроек для получения необходимого результата большой выбор осаждаемых покрытий Для решения экспериментальных задач: большое количество реализуемых процессов оптимальные технические параметры и минимальное занимаемое пространство высокое качество проводимых процессов большое количество настроек и готовых схем процессов повышенная мощность осаждения

25 TrionTech Sirus T2 Система реактивно-ионного травления кремния и его соединений, а также некоторых металлов. Позволяет проводить выборочное травление покрытий, получая структуры заданных размеров. Модуль формирования наноструктур

26 Модуль формирования наноструктур ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: простая и удобная в использовании система с лёгким интерфейсом значительно упрощает освоение и работу на ней гибкая система настроек для получения необходимого результата Для решения экспериментальных задач: большое количество реализуемых процессов оптимальные технические параметры и минимальное занимаемое пространство высокое качество проводимых процессов

27 Функциональное тестирование Зондовая станция SUSS EP6 - решение для конкретных задач пользователя для измерений на пластинах до 150 мм (6 дюймов). Пользователю теперь не нужно ломать голову, выбирая из нескольких видов зондовых головок, манипуляторов, рук, типов крепления манипуляторов, игл и т.п. Готовое решение позволяет достать установку из коробки, подсоединить провода и начать работать сразу же, буквально в течение одного часа. Новые возможности системы: - Для использования на пластинах до 150 мм (6 дюймов) - Высокая механическая аккуратность и точность, высокая эргономика Тестер Formula HF предназначен для проведения динамического ф ункционального контроля СБИС, контроля и измерения статических параметров Тестер Formula TT - тестер полупр. приборов, предназначен для контроля статических параметров транзисторов, диодов, стабилитронов, тиристоров и оптопар на пластине и в корпусе и т.п. Тестер Formula 2K - универсальный тестер для контроля аналоговых и цифровых компонентов наносистем, БИС и ИМС, ОЗУ, и межоперационного контроля Модуль «Испытаний, сертификации и метрологических исследований»

Мультимедиа лекции (видеоконференцсвязь) Лабораторный комплекс (интернет доступ к уникальному оборудованию) Мобильные мультимедийные классы Вычислительный кластер Т-платформ Тестирование и методическое сопровождение учебного процесса «Электронный университет» «Электронная кафедра» «Электронный деканат» ИКТ Инфраструктура Суперкомпьютер «СКИФ МГУ» Вычислительный центр Томского Университета: суперкомпьютер «СКИФ Cyberia» Центр компетенции Инженерно -промышленных расчетов на базе Санкт- Петербургского государственного политехнического университета РЕСУРНЫЕ ЦЕНТРЫ И ПОЛЬЗОВАТЕЛИ ННС

29 Модуль «Испытаний, сертификации и метрологических исследований» Виброиспытания Компактный вибростенд с низким уровнем шума (Номинальное усилие: гармонические колебания Н, - случайные колебания 210 Н (среднеквадратичное), ударные колебания Н пиковое, максимальное ускорение -500 м/с2, максимальная скорость - 1,6 м/с, максимальное смещение - 26 мм (от пика к пику), масса арматуры - 0,6 кг, диапазон частот - 5~3 000 Гц). (Компания IMV Япония). Испытания на воздействия температуры и влажности Камера температуры и влажности настольного типа (Модель SH 221, компания ESPEC, Япония). Проведение испытаний показателей стойкости к воздействию высокой температуры (+150) и низкой (-80) температур, показателей стойкости к влаге, низкой влажности, хранения, определения срока службы, параметров износа и старения. Дефектоскопия и мониторинг тепловых полей Система тепловизионного контроля тепловых полей на базе тепловизора ИРТИС 2000

30 ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ Для решения образовательных задач: большое количество проводимых процессов испытаний позволяет провести весь цикл сертификации легкость освоения и управления простота подготовки образцов Для решения экспериментальных задач: большое количество реализуемых процессов испытаний гибкость системы позволяет адаптировать систему под любую задачу тестирования разнообразие методов тестирования позволяет проводить все необходимые испытания разрабатываемых конструкций Модуль «Испытаний, сертификации и метрологических исследований»

31 Мультисервисная информационная система комплекса МИОС УНЦ Обмен опытом Доступ удаленных пользователей к образовательным ресурсам Дистанционное образование и метод обмен БД подготовки специалистов по направлениям Удаленный доступ к уникальному оборудованию БД образовательных ресурсов Взаимосвязь Центр - Филиал Проведение видеоконференций МИОС – средство для предоставления мультимедийного образовательного контента GRID – архитектура построения распределенных информационных систем Школьная нанолаборатория Международная кооперация и стажировки Стажировки, практики, трудоустройство

32 Вычислительный кластер «ИКТ и САПР наносистем» Архитектура модуля «Мультисервисная информационно-образовательная среда и САПР наносистем»

33 Вычислительный кластер «ИКТ и САПР наносистем» Тонкие клиенты IGEL-9319 LX Elegance Высокая производительность и широкие возможности операционной системы Flash Linux 19-ти дюймовый TFT монитор Доступ к веб приложениям с помощью веб браузера с интегрированной Java M - Player для мультимедиа приложений Безопасный доступ к данным и удобность использования для сотрудников благодаря Smartcard Reader. Тонкие клиенты IGEL-9619 XP Elegance Последняя версия операционной системы MS Windows XPe 19-ти дюймовый TFT монитор Широкий выбор интерфейсов для соединения периферийными устройствами Безопасный доступ к данным и удобность использования для сотрудников благодаря использованию Smartcard Reader.

34 Триединая компетентностная модель развития инфраструктуры научных образовательных центров Уровень факультета НОЦ – как научно-образовательная инфраструктура обеспечения межкафедральных учебных курсов, НИОКР и проектов СНТО. Уровень кафедры НОЦ – как образовательная инфраструктура подготовки кадров на основе проектных методов обучения. Уровень университета (региона) НОЦ – как центр коллективного пользования уникальными методиками и оборудованием для решения прорывных задач в рамках региональной и международной научной кооперации.

35 Контакты Волкова Яна Борисовна «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана» Кафедра ИУ4 «Проектирование и технология производства электронно-вычислительных средств» НОЦ «Нанотехнологические системы и наноэлектроника»