Аналитический обзор значимых раработок в области обеспечения единства измерений стандартизации и оценки соответствия Московский физико-технический институт НОЦ «Нанотехнологии» Директор НОЦ, декан ФФКЭ МФТИ П.А. Тодуа Зам. директора А.С. Батурин

2 План доклада Несколько слов про МФТИ Несколько слов про МФТИ НОЦ «Нанотехнологии» НОЦ «Нанотехнологии» Нанодиагностика, метрология, стандартизация и сертификация продукции наноиндустрии Нанодиагностика, метрология, стандартизация и сертификация продукции наноиндустрии Наши планы Наши планы

3 Проведение научных исследований Работа в научно- исследовательских центрах Фундаментальное образование Отбор талантливых школьников по всей России Одновременно в ЗФТШ обучается около школьников 8-11 классов Образовательная технология подготовки специалистов в МФТИ «Система Физтеха» ЗФТШ Бакалавриат 700 студентов 1– го курса (по итогам олимпиад, вступительных экзаменов) из них 60 % выпускники ЗФТШ Магистратура Аспирантура

4 Что такое МФТИ? Неразрывная связь с Российской Академией Наук МФТИ был факультетом МГУ гг МФТИ Число студентов Выпуск – 30% дипломы с отличием Число аспирантов Ежегодно защищают диссертации в срок более 25% аспирантов За 60 – летнюю историю МФТИ окончили около выпускников, среди которых свыше 100 членов РАН свыше 4500 докторов наук около кандидатов наук

5 Потребители кадров Федеральное агентство по промышленности Федеральное агентство по промышленности Федеральное космическое агентство Федеральное космическое агентство Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии Федеральное агентство по атомной энергии Федеральное агентство по атомной энергии Федеральная служба по техническому и экспертному контролю Федеральная служба по техническому и экспертному контролю Федеральное агентство по здравоохранению и социальному развитию Федеральное агентство по здравоохранению и социальному развитию Министерство Российской Федерации по делам гражданской обороны, чрезвычайным ситуациям и ликвидации последствий стихийных бедствий Министерство Российской Федерации по делам гражданской обороны, чрезвычайным ситуациям и ликвидации последствий стихийных бедствий Министерство здравоохранения и социального развития Российской Федерации Министерство здравоохранения и социального развития Российской Федерации Министерство информационных технологий и связи Российской Федерации Министерство информационных технологий и связи Российской Федерации Российская Академия Наук Российская Академия Наук ГНЦ РФ «Курчатовский институт» - головная организация ННС ГНЦ РФ «Курчатовский институт» - головная организация ННС Высокотехнологичные коммерческие компании (ООО «ЮникАйСиз», ЗАО «НТ-МДТ», НТО «ИРЭ-Полюс», IBS и другие) Высокотехнологичные коммерческие компании (ООО «ЮникАйСиз», ЗАО «НТ-МДТ», НТО «ИРЭ-Полюс», IBS и другие) Более 100 выпускающих кафедр

6 Участие в Приоритетном национальном проекте «Образование» Один из приоритетов ИОП – развитие приборно- аналитической базы для исследований в области нанотехнологий

7 Деятельность НОЦ «Нанотехнологии» Обучение студентов по нанодиагностике и нанометрологии, элементам микро- и наноэлектронной технологии Переподготовка и повышение квалификации сотрудников сторонних организаций Осуществление научно-исследовательских проектов на имеющемся аналитическом оборудовании Изготовления экспериментальных (пилотных) образцов и отработка отдельных технологических этапов на имеющемся технологическом оборудовании

8 Подготовка научных кадров Для нанодиагностики требуются современные аналитические и измерительные инструменты. Для нанодиагностики требуются современные аналитические и измерительные инструменты. Основа успешного использования передового оборудования – квалифицированные кадры. Основа успешного использования передового оборудования – квалифицированные кадры.

9 Учебный класс СЗМ «Nanoeducator» Дружественный интерфейс Пошаговая настройка СЗМ методик Наглядность, анимационное обучение Отсутствие сложных настроек Недорогие расходные материалы Простая смена образца Возможность восстановления зонда

10 Международная магистерская образовательная программа МИСиС - МФТИ «Нанодиагностика, метрология, стандартизация и сертификация продукции нанотехнологий и наноиндустрии» Грант Российской корпорации нанотехнологий

11 Идея проекта Фундаментальные знания по физике и химии наночастиц и наносистем Фундаментальные знания по физике и химии наночастиц и наносистем Приборы и устройства на основе нанотехнологий Приборы и устройства на основе нанотехнологий Физико-химические основы нанотехнологий Физико-химические основы нанотехнологий Приборы и методы исследования микро и наноструктур Приборы и методы исследования микро и наноструктур Метрология, стандартизация и сертификация Метрология, стандартизация и сертификация

12 Мероприятия Привлечение квалифицированных российских ученых Привлечение квалифицированных российских ученых Интенсивные (краткие) обзорные курсы иностранных ученых Интенсивные (краткие) обзорные курсы иностранных ученых Интенсивный лабораторный практикум по приборам и методам исследования, технологиям Интенсивный лабораторный практикум по приборам и методам исследования, технологиям Краткосрочная зарубежная стажировка Краткосрочная зарубежная стажировка Индивидуальная научно-исследовательская работа Индивидуальная научно-исследовательская работа

13 Лабораторные работы МФТИ 1 Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ 2 Атомно-силовая микроскопия (включая изучение артефактов и методы калибровки) 3 Нанесение электронного резиста и электронная литография, проявление и химическое травление 4Атомно-слоевое осаждение 5 Изготовление полупроводникового диода МИСиС 6Оже-спектроскопия 7 Рентгеновская электронная спектроскопия 8Вторично-ионная масс-спектрометрия 9Методы рентгеновской дифракции 10 Просвечивающая электронная спектроскопия

14 Структура приглашенных лекций Месяцпнвтсрчтптсбвс нед февраль март БлокI апрель БлокII мая БлокIII

15 Научно-исследовательская деятельность НОЦ «Нанотехнологии» МФТИ

16 Научно-исследовательская деятельность Проведение собственных НИР (в интересах госзаказчиков и коммерческих организаций) Проведение собственных НИР (в интересах госзаказчиков и коммерческих организаций) Предоставление услуг сторонним организациям в режиме Центра коллективного пользования Предоставление услуг сторонним организациям в режиме Центра коллективного пользования

17 Современный парк средств измерения Сканирующая зондовая микроскопия Сканирующая зондовая микроскопия Растровая электронная микроскопия Растровая электронная микроскопия

18 Сканирующий электронный микроскоп с приставкой электронной литографии и фокусированным ионным пучком Quanta 3D

19 Критерии выбора технологического оборудования Современное оборудование – возможность разработки и тиражирования технологий Современное оборудование – возможность разработки и тиражирования технологий Унифицированность и мультифункциональность – гарантирует долговременную востребованность оборудования Унифицированность и мультифункциональность – гарантирует долговременную востребованность оборудования

20 Технологическое оборудование OPTI WET ST30 OPTI НОТ SHT20+ OPTI COAT ST20+

21 Технологическое оборудование Oxford Plasma LAB 100 PECVD BOC EDWARDS AUTO 500 И другое оборудование … Размещается в «чистой» комнате ISO 6 (80 м 2 )

22 План доклада Несколько слов про МФТИ Несколько слов про МФТИ НОЦ «Нанотехнологии» НОЦ «Нанотехнологии» Нанодиагностика, метрология, стандартизация и сертификация продукции наноиндустрии Нанодиагностика, метрология, стандартизация и сертификация продукции наноиндустрии Наши планы Наши планы

23 1. Метрология в нанотехнологиях нанометрология Все теоретические и практические аспекты, связанные с измерениями в нанотехнологии: - эталоны единиц физических величин, стандартные образцы состава и свойств для нанотехнологии; - методы и средства калибровки средств измерений; - метрологическое сопровождение технологических процессов. 2. Стандартизация в нанотехнологиях: - стандартизация методов калибровки и измерений, технологических процессов, параметров материалов и объектов нанотехнологии; - терминология и определения; - здоровье, безопасность и окружающая среда. НЕЛЬЗЯ ИЗМЕРИТЬ – НЕВОЗМОЖНО СОЗДАТЬ

24 НИЦПВ ТК 441 Национальный технический комитет по стандартизации ТК 441 Нанотехнологии и наноматериалы ИСО ТК 229 (г.р. 2005) МЭК ТК 113 ( г.р ) ВУЗы (МФТИ, МИСиС,…) НИИ (Институт кристаллографии РАН, Центр синхротронного излучения и нанотехнологий РНЦ КИ,…) Промышленность

25 Область деятельности Технического комитета по стандартизации ТК 441 Нанотехнологии и наноматериалы ТК 441 Методы испытаний объектов нанотехнологий Измерения. Методы и средства Терминология и определения Здоровье, безопасность и окружающая среда Как это называть? Как это измерять или испытывать? Какое влияние это может иметь на здоровье, безопасность и окружающую среду?

26 отрасли наноиндустрии СвойстваСостав Геометрические размеры Структура 1D 2D2D 3D3D Механи- ческие Термо- динами- ческие Электри- ческие Магнит- ные Опти- ческие Нано- элек- троника Наноинже нерия Функцио- нальные нанома- териалы для косми- ческой техники Функцио- нальные нанома- териалы для энер- гетики Конструк- ционные нанома- териалы Нано- био- техно- логии Нано- технологии для систем безопас- ности Нано- фото- ника Функцио- нальные нанома- териалы и высоко- чистые вещества Композит ные наномате риалы Хими- ческий Фазо- вый Метрологическая и нормативно-методическая база обеспечения единства измерений в нанотехнологиях

27 Почему эталон единицы длины в нанотехнологии – базисный? 1. Первоочередная задача метрологии в нанотехнологии – определение геометрических параметров объекта, метрология линейных измерений. 2. Измерения механических, электрических, магнитных и многих других свойств объекта требуют прецизионного пространственного позиционирования зонда измерительного устройства в требуемое место с эталонной точностью по координатам.

28 Базисный эталон единицы длины в диапазоне 1 нм – 100 мкм на основе растровой, просвечивающей электронной и зондовой микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и лазерной интерферометрии Ближайшая перспектива широкомасштабной схемы метрологического и стандартизационного обеспечения нанотехнологий Меры малой длины – эталоны сравнения Базисная ветвь калибровка Средства измерений Объекты измерений Стандартные образцы состава, структуры и свойств

29 Базисный эталон единицы длины в диапазоне 1 нм – 100 мкм на основе растровой, просвечивающей электронной и зондовой микроскопии и лазерной интерферометрии Точность измерения по X и Y: 0,5 нм по X и Y: 0,5 нм по Z : 0,5 3 нм по Z : 0,5 3 нм Диапазон перемещений по X и Y : нм по X и Y : нм по Z : нм по Z : нм ЛИН - лазерный измеритель наноперемещений Z-ЛИН X-ЛИН Y-ЛИН x z y

30 Измерение геометрических параметров объектов нанотехнологий Растровый электронный микроскоп Сканирующий зондовый микроскоп Эталон сравнения 3-х мерная шаговая линейная мера, обеспечивающая калибровку и поверку измерительных систем по 3-м координатам в диапазоне линейных размеров от 1 нм до 100 мкм и более.

31 Эталон сравнения – линейная мера Общий вид меры в РЭМ при разных увеличениях Метод Аттестации - Интерферометрический Номинальные размеры Погрешность аттестации Номинальные размеры Погрешность аттестации Шаг 2000 нм 1 нм Шаг 2000 нм 1 нм Ширина линии нм 1 нм Ширина линии нм 1 нм Высота (глубина) нм 1 % Высота (глубина) нм 1 % Носитель размера – длина волны стабилизированного He-Ne лазера

32 Профиль эталона сравнения РЭМ изображения сколов АСМ изображения 80 нм 30 нм Ширина верхнего основания выступа

33 Эталон сравнения Калибровка РЭМ по 1 изображению Определение увеличения Определение диаметра зонда Время калибровки: менее 5 минут

34 Эталон сравнения Калибровка АСМ по 1 изображению Цена деления шкал АСМ Неортогональность Z-сканераРадиус острия кантилевера

35 Прослеживаемость передачи размера единицы физической величины Реализация пути иерархической передачи размера единицы, основанная на использовании эталонов сравнения, методов и средств измерений, обеспечивающая абсолютную привязку результатов конкретного измерения к национальному эталону данной физической величины Использование эталонов сравнения – мер малой длины, обеспечивает привязку линейных измерений, выполняемых в нанометровом диапазоне, к национальному эталону метра

36 Международная стандартизация в области нанотехнологий и наноматериалов

37 Международные стандарты (общие вопросы, в стадии разработки) ISO/NP TS Nanotechnologies -- Core terms -- Terminology and definitions ISO/NP TS Nanotechnologies -- Core terms -- Terminology and definitions ISO/NP TS Nanotechnologies - Terminology and definitions for nanostructured materials ISO/NP TS Nanotechnologies - Terminology and definitions for nanostructured materials ISO/NP Nanotechnologies -- Terminology for nanoscale measurement and instrumentation ISO/NP Nanotechnologies -- Terminology for nanoscale measurement and instrumentation ISO/NP TS Nanotechnology - Terminology for the bio- nano interface ISO/NP TS Nanotechnology - Terminology for the bio- nano interface ISO/NP TS Nanotechnologies - Terminology for medical, health and personal care applications ISO/NP TS Nanotechnologies - Terminology for medical, health and personal care applications ISO/AWI TS Terminology and definitions for carbon nanomaterials ISO/AWI TS Terminology and definitions for carbon nanomaterials

38 Международные стандарты (в стадии разработки) ISO/AWI TS Nanotechnologies -- Format for reporting the engineered nanomaterials content of products ISO/AWI TS Nanotechnologies -- Format for reporting the engineered nanomaterials content of products ISO/AWI TR Nanotechnologies -- Guidance on nanoparticle measurement methods and their limitations ISO/AWI TR Nanotechnologies -- Guidance on nanoparticle measurement methods and their limitations ISO/NP TS Nanomaterials - Guidance on specifying nanomaterials ISO/NP TS Nanomaterials - Guidance on specifying nanomaterials ISO/AWI TR Nanotechnologies -- Guidance on methods for nanotribology measurements ISO/AWI TR Nanotechnologies -- Guidance on methods for nanotribology measurements ISO/NP Nanomaterials -- General framework for determining nanoparticle content in nanomaterials by generation of aerosols ISO/NP Nanomaterials -- General framework for determining nanoparticle content in nanomaterials by generation of aerosols

39 Международные стандарты (Углеродные нанотрубки) ISO/AWI TS Nanotubes -- Use of transmission electron microscopy (TEM) in walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/AWI TS Nanotubes -- Use of transmission electron microscopy (TEM) in walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/AWI TS Nanotubes -- Scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive X- ray analysis (EDXA) in the charaterization of single walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/AWI TS Nanotubes -- Scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive X- ray analysis (EDXA) in the charaterization of single walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/NP TS Nanotechnologies -- Use of Raman spectroscopy in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/NP TS Nanotechnologies -- Use of Raman spectroscopy in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/NP TS Nanotubes -- Use of NIR-Photoluminescence (NIR-PL) Spectroscopy in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/NP TS Nanotubes -- Use of NIR-Photoluminescence (NIR-PL) Spectroscopy in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/NP TS Nanotubes - Use of UV-Vis-NIR absorption spectroscopy in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/NP TS Nanotubes - Use of UV-Vis-NIR absorption spectroscopy in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/AWI TS Measurement methods for the characterization of multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs) ISO/AWI TS Measurement methods for the characterization of multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs) ISO/AWI TS Nanotechnologies -- Use of evolved gas analysis-gas chromatograph mass spectrometry (EGA-GCMS) in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/AWI TS Nanotechnologies -- Use of evolved gas analysis-gas chromatograph mass spectrometry (EGA-GCMS) in the characterization of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) ISO/AWI TS Nanotechnologies -- Use of thermo gravimetric analysis (TGA) in the purity evaluation of single-walled carbon nanotubes (SWCNT) ISO/AWI TS Nanotechnologies -- Use of thermo gravimetric analysis (TGA) in the purity evaluation of single-walled carbon nanotubes (SWCNT) ISO/NP TS Determination of mesoscopic shape factors of multiwalled carbon nanotubes (MWCNTs) ISO/NP TS Determination of mesoscopic shape factors of multiwalled carbon nanotubes (MWCNTs)

40 Международные стандарты (неорганические наноматериалы) ISO/NP Nanotechnologies -- Nano-calcium carbonate -- Part 1: Characteristics and measurement methods ISO/NP Nanotechnologies -- Nano-calcium carbonate -- Part 1: Characteristics and measurement methods ISO/NP Nanotechnologies -- Nano-titanium dioxide -- Part 1: Characteristics and measurement ISO/NP Nanotechnologies -- Nano-titanium dioxide -- Part 1: Characteristics and measurement

41 Международные стандарты (безопасность, токсичность) ISO/NP TS Nanotechnologies -- Guidance on safe handling and disposal of manufactured nanomaterials ISO/NP TS Nanotechnologies -- Guidance on safe handling and disposal of manufactured nanomaterials ISO/CD Nanotechnologies -- Endotoxin test on nanomaterial samples for in vitro systems ISO/CD Nanotechnologies -- Endotoxin test on nanomaterial samples for in vitro systems ISO/CD Nanotechnologies -- Generation of nanoparticles for inhalation toxicity testing ISO/CD Nanotechnologies -- Generation of nanoparticles for inhalation toxicity testing ISO/CD Nanotechnologies -- Monitoring nanoparticles in inhalation exposure chambers for inhalation toxicity testing ISO/CD Nanotechnologies -- Monitoring nanoparticles in inhalation exposure chambers for inhalation toxicity testing

42 Опубликованные стандарты ISO ISO/TS 27687:2008 Nanotechnologies -- Terminology and definitions for nano-objects -- Nanoparticle, nanofibre and nanoplate ISO/TS 27687:2008 Nanotechnologies -- Terminology and definitions for nano-objects -- Nanoparticle, nanofibre and nanoplate ISO/TS 27687:2008 ISO/TS 27687:2008 ISO/TR 12885:2008 Nanotechnologies -- Health and safety practices in occupational settings relevant to nanotechnologies ISO/TR 12885:2008 Nanotechnologies -- Health and safety practices in occupational settings relevant to nanotechnologies ISO/TR 12885:2008 ISO/TR 12885:2008

43 Пилотные российские стандарты в области нанотехнологий Введены в действие в 2008 г. 4. ГОСТ Р Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки. 1. ГОСТ Р Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления. 2. ГОСТ Р Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки. 3. ГОСТ Р Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки. 5. ГОСТ Р Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки. 6. ГОСТ Р Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.

44 «Наносертифика» Объекты подтверждения соответствия (сертификации): Продукция наноиндустрии, создаваемая при реализации проектов, относящихся к ведению Корпорации и/или финансируемых Корпорацией и иная продукция наноиндустрии, созданная в Российской Федерации или поставляемая в Российскую Федерацию и соответствие которой требованиям технических регламентов, стандартов, сводов правил или иных документов может быть подтверждено при сертификации Продукция наноиндустрии, создаваемая при реализации проектов, относящихся к ведению Корпорации и/или финансируемых Корпорацией и иная продукция наноиндустрии, созданная в Российской Федерации или поставляемая в Российскую Федерацию и соответствие которой требованиям технических регламентов, стандартов, сводов правил или иных документов может быть подтверждено при сертификации Технологии наноиндустрии Технологии наноиндустрии Системы менеджмента качества предприятий, создающих продукцию наноиндустрии (стандарты серии ISO 9000) Системы менеджмента качества предприятий, создающих продукцию наноиндустрии (стандарты серии ISO 9000) Системы экологического менеджмента предприятий, работающих в наноиндустрии или применяющих продукцию наноиндустрии (стандарты серии ISO 14000) Системы экологического менеджмента предприятий, работающих в наноиндустрии или применяющих продукцию наноиндустрии (стандарты серии ISO 14000) Системы охраны труда и предупреждения профессиональных заболеваний (стандарты серии OHSAS 18000) Системы охраны труда и предупреждения профессиональных заболеваний (стандарты серии OHSAS 18000)

45 ОСНОВНЫЕ ЗАДАЧИ СИСТЕМЫ СЕРТИФИКАЦИИ «НАНОСЕРТИФИКА» ОСНОВНЫЕ ЗАДАЧИ СИСТЕМЫ СТАНДАРТИЗАЦИИ ОБЪЕКТЫ СЕРТИФИКАЦИИ Подтвердить качество (функциональные характеристики) и безопасность нанопродукции (1) РАЗРАБОТАТЬ И ВВЕСТИ В ДЕЙСТВИЕ Стандарты Корпорации: - основополагающие - требования к продукции (1) - требования к оборудованию (2) оборудованию (2) - требования к технологиям (3) технологиям (3) - методы и средства измерений и испытаний (1) измерений и испытаний (1) - требования безопасности (1) безопасности (1) - требования к персоналу (4) - требования к системам менеджмента (4) менеджмента (4) - отраслевые требования к системам менеджмента (5) системам менеджмента (5) Международные стандарты (принятые в ранге стандартов Корпорации или национальных) (2) Технические регламенты (2) Продукция наноиндустрии (1) Продемонстрировать состоятельность и конкурентоспособность продукции на внутреннем и международном рынках (2) Технологии наноиндустрии (2, 3) Подтвердить способность производителя обеспечить стабильность при изготовлении продукции (3) Системы менеджмента качества предприятий, создающих продукцию наноиндустрии по ISO 9000 (3) Подтвердить эффективность деятельности организации (4) Системы экологического менеджмента предприятий, работающих в наноиндустрии или применяющих продукцию наноиндустрии по ISO (4) Системы охраны труда и предупреждения профессиональных заболеваний по OHSAS (4) Улучшить имидж и увеличить инвестиционную привлекательность предприятия, повысить доверие со стороны клиентов, инвесторов, кредитных и страховых компаний (5) Стандарты Корпорации на системы менеджмента по отраслевым признакам (5)

46 «Виртуальный микроскоп»

47 Общая проблема измерений в нанометровом диапазоне Профиль реальной структуры Размер зонда сравним с размерами объекта Изображение отличается от реального рельефа Профиль РЭМПрофиль АСМ

48 Концепция проведения измерений на наномасштабе

49 Общая структура «виртуального РЭМ»

50 Кооперация Московский физико-технический институт Московский физико-технический институт ООО «СИАМС» (г. Екатеринбург) ООО «СИАМС» (г. Екатеринбург) ОАО «НИЦПВ» (г. Москва) ОАО «НИЦПВ» (г. Москва) УГТУ-УПИ (г. Екатеринбург) УГТУ-УПИ (г. Екатеринбург) ИПМех РАН (г. Москва) ИПМех РАН (г. Москва)

51 Наши планы Новый корпус для развития технологических возможностей Новый корпус для развития технологических возможностей Работы по проектам Ростехрегулирования (консорциум: МФТИ, МИСиС, НИЦПВ, ИК РАН, РНЦ «КИ», СибНИИМ, УНИИМ) Работы по проектам Ростехрегулирования (консорциум: МФТИ, МИСиС, НИЦПВ, ИК РАН, РНЦ «КИ», СибНИИМ, УНИИМ) Оказание услуг в режиме ЦКП Оказание услуг в режиме ЦКП Разработка УМК по нанометрологии (НИ-11) Разработка УМК по нанометрологии (НИ-11) Обеспечение деятельности кафедры нанометрологии МФТИ ( «Нанодиагностика, метрология, стандартизация и сертификация продукции нанотехнологий и наноиндустрии») Обеспечение деятельности кафедры нанометрологии МФТИ ( «Нанодиагностика, метрология, стандартизация и сертификация продукции нанотехнологий и наноиндустрии»)

52 Авторы выражают глубокую признательность коллегам за совместную работу профессору В.П. Гавриленко профессору Ю.А. Новикову профессору А.В. Ракову профессору М.Н. Филиппову к.ф.-м.н. В.С. Бормашову асп. А.В. Заблоцкому

53 Московский физико-технический институт (государственный университет) , г. Долгопрудный, Московская область, Институтский пер., 9 Тел. (495) , (495)