Физические основы электронной техники Курс лекций: Основы Вакуумной Техники 2 лекция Типовые вакуумные технологии Деулин Евгений Алексеевич Титул МОСКОВСКИЙ.

Презентация:



Advertisements
Похожие презентации
Физические основы электронной техники Курс лекций: Основы Вакуумной Техники 2 лекция Типовые вакуумные технологии Деулин Евгений Алексеевич Титул МОСКОВСКИЙ.
Advertisements

СРАВНЕНИЕ НЕКОТОРЫХ СПЕКТРАЛЬНЫХ МЕТОДОВ АНАЛИЗА ЭОС РФС (ЭСХА) Динамический ВИМС Времяпролетный ВИМС Область применения Поверхность, частицы, анализ дефектов,
Физические основы электронной техники Курс лекций: Основы Вакуумной Техники 4 лекция Молекулярно-кинетическая теория газов Деулин Евгений Алексеевич Титул.
ВТОРИЧНЫЙ ИОННЫЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТР PHI-6600 фирмы PERKIN ELMER Исследование элементного состава и распределения примесей по глубине основано на анализе.
Понятие вакуума. Вакуумная техника. Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН докладчик: А.Е. Пестов Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур.
Масштаб 1 : Приложение 1 к решению Совета депутатов города Новосибирска от
Масштаб 1 : Приложение 1 к решению Совета депутатов города Новосибирска от _____________ ______.
Курс лекций: Основы Вакуумной Техники 6 лекция Явления переноса и их практическое применение Деулин Евгений Алексеевич Титул МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ.
Курс лекций: Основы Вакуумной Техники 6 лекция Явления переноса и их практическое применение Деулин Евгений Алексеевич Титул МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ.
РГУ им. Иммануила Канта Инновационный парк Центр ионно-плазменных и нанотехнологий ОЖЕ МИКРОАНАЛИЗАТОР JAMP – 9500 F Образец до травления Образец после.
Электронный курс для магистрантов направления «Машиностроение » Кафедра физики высоких технологий в машиностроении ИФВТ Автоматизация и управление.
XVI конференция молодых ученых и специалистов ОИЯИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ВЛИЯНИЯ ПРОЦЕССОВ СОРБЦИИ НА ВТОРИЧНУЮ ЭЛЕКТРОННУЮ ЭМИССИЮ А.Ю. Рудаков.
КТО ПЕРВЫЙ? 12 * 3 = * 2 = * 3 = * 13 = * 4 = ПОБЕДА!!! 15 * 3 = * 2 =
1 Название дисциплины: Основы анализа поверхности твердых тел и тонких пленок методами атомной физики Преподаватель: Д. ф. - м. н., профессор, Никитенков.
Понятие вакуума. Вакуумная техника. Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН докладчик: А.Е. Пестов Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур.
производственно- технологическая: организация и проведение работ по монтажу, испытанию, эксплуатации, техническому обслуживанию и ремонту промышленного.
Основы вакуумной техники Курс лекций: Основы Вакуумной Техники 7 лекция Основы процесса откачки. Термины и определения. Деулин Евгений Алексеевич Титул.
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э. Баумана Разработка быстродействующего высоковакуумного натекателя с блоком управления и исследование.
Ул.Школьная Схема с. Вознесенка Ярославского городского поселения п.Ярославский 10 2 Ул.Флюоритовая
Основы Вакуумной Техники проф.д.т.н. Деулин Е.А Лекция 8 Расчёт проводимости трубопроводов МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.Э.
Транксрипт:

Физические основы электронной техники Курс лекций: Основы Вакуумной Техники 2 лекция Типовые вакуумные технологии Деулин Евгений Алексеевич Титул МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.Э. БАУМАНА

Цели и структура курса ОВТ: Изучение задач и целей курса, структуры и формы изучения материала курса. Углублённое изучение молекулярно- кинетической теории газов, изучение физических процессов в вакууме, принципов работы насосов, манометров, течеискателей, газо анализаторов, типовых схем вакуумных систем. Изучение типовых технологических процессов начинается с углубленного рассмотрения методов откачки: штенгельной и бесштенгельной откачки. Вторая часть курса создаёт у студентов навыки конструирования элементной базы внутрикамерных устройств. Анализируются компоновка вакуумных установок по шлюзованию, степени непрерывности процессов, принципам межоперационной транспортировки. Изучаются элементы камер: фланцы, окна, токовводы, вводы движения, манипуляторы, шлюзы. Затем следует изучение методов термовакуумной обработки с учетом газопроницаемости, адсорбции, и десорбции газов,

Цели и структура курса ОВТ:. Полученные навыки закрепляются шестью тестами рубежного контроля. Лабораторные работы подкрепляющие курс включают изучение насосов и манометров, быстроты откачки, методов течеискания, масс-спектрометрии. Использование курса В 7 семестре студенты выполняют курсовой проект по «Основам вакуумной техники», целью которого является проверка инженерных навыков и уровня практических знаний в области вакуумной техники. Курс «ОВТ» будет использоваться при выполнении курсовых проектов не только по «Основам вакуумной техники» но и в курсовых проектах : «Основы электронных технологий», «РИК оборудования».

Разделы курса ОВТ: 1) молекулярно-кинетическая теория ; 2) физические процессы в вакууме, деление вакуума по степеням, критерии для оценки степени вакуума ; 3)принципы работы насосов, манометров, течеискателей, анализаторов остаточной газовой среды, 4) типовые схемы вакуумных систем, 5) основные зависимости для стационарной и нестационарной вакуумных систем, расчёт времени откачки 6)Элементная база вакуумной техники, основы конструирования, 7) типовые конструкции и структура построения вакуумных систем различного технологического назначения. Лабораторные работы включают: изучение насосов изучение манометров, измерение быстроты откачки, изучение методов течеискания, изучение методов масс-спектрометрии. Изучение методов вакуумной диагностики на примере ТМН

Рекомендуемая литература 1.Розанов Л.Н. Вакуумная техника. Учебник для высшей школы, 3-е издание, М.- Высшая школа, 2007, 391 с. 2. Пипко А.И. и др. Конструирование и расчёт вакуумных систем. М., Энергия, с. 3. Вакуумная техника: Справочник. Под редакцией Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. М., Машиностроение, (Примечание: Конструкции элементов вакуумных систем, представленные в справочнике не рекомендуется для использования при курсовом проектировании) 4.. Механика и физика точных вакуумных механизмов / Под редакцией проф. Е.А. Деулина, т.1.- Владимир, Владим. Гос. Университет, с. 5. Механика и физика точных вакуумных механизмов / Под редакцией проф. Е.А. Деулина, т.2.- М. «Интелвак-Вакууммаш», с. 6. Е.А. Деулин, О.А.Румянцева Конспект лекций по Основам Вакуумной Техники на английском языке, МГТУ, 1997г., 67с. 7. Ю.А.Хруничев Е.А.Деулин Э.П.Амосова Расчёт передач движения в вакуум, М., МГТУ.,. !977г. 55 с. 6. Машиностроение. Энциклопедия (в 40 томах). т , (Под ред. проф. Ю.В. Панфилова) часть М., «Машиностроение», с Руководство к выполнению расчетной части курсовых и дипломных проектов / Учебное пособие для студентов вечернего факультета. – М.:МВТУ, – 60 с. 8. Целевые механизмы вакуумного технологического оборудования / Атлас типовых конструкций/ Е.П. Аршук, А.И. Беликов, Е.А.Деулин и др. – МГТУ, – 68 с.

Понятие вакуум Вакуум - газовая среда с давлением ниже атмосферного (P

Некоторые единицы измерения давления, принятые в мировой практике.Pa N/m 2 bar Pa 11*10 -5 bar1* mbar1001*10 -3 Torr1.33* *10 -3 micron *10 -6 atm1.01* mmWS *10 -5 psi6.89* *10 -2 psf *10 -4

Основные единицы измерения давления, принятые в мировой практике Pa N/m 2 barmbarmbar dyn/ cm 2 Torr mmHg micr on mTo rr atmatMmWSpsi lbf/inch 2 psf lbf/ft 2 Pa11* * * * * * *10 -2 bar1* *10 3 1* * * *10 3 mbar1001* * * * mbar0.11* * * * * * * *10 -3 Torr1.33* * * * * micro n * * * * * * * *10 -3 atm1.01* * * * *10 3 at9.81* * * * *10 3 mmW S * * * * * * psi6.89* * * * * * psf * * * *

Использование вакуума в рутинных и модернизируемых технологиях ЭВП (расширим знания курса ФОЭТ)

Использование вакуума в рутинных технологиях откачки ЭВП ( P= Pa) (вспомним курс ФОЭТ)

Использование вакуума в рутинных и модернизируемых технологиях ЭВП (расширим знания курса ФОЭТ) Схема карусельной откачной машины (машины со средним вакуумом, Р= Па): 1- откачиваемые ЭВП; 2-кулачок управления клапанами; 3-клапан; 4-подвижный диск золотника; 6-механический насос; 7- карусель с Роликами; 8-улита поворотно-фиксирующего механизма; (ПОМ); 9-ось; 10-двигатель привода карусели; 11-манометр.

Условные обозначения насосов (начало таблицы) ОСТ эл. пром. Справочник по ВТ Описание Механический вращательный (объемный) насос P=10-1 Па Pp=105 – 5*10-1Па Двухроторный насос P=10-2 Па Pp=10-10 Па Турбомолекулярный насос P=10-7 Па Pp=10 – 5*10-7 Па Водокольцевой насос P=103 Па Pp=105 – 5*103 Па Пароструйный диффузионный насос P=10-4 Па Pp=10 – 5*10-4 Па

Условные обозначения насосов ( продолжение ) ОСТ эл. пром. Справочник по ВТ Описание Пароструйный пароэжекторный насос P=10-1 Па Pp=102 – 5*10-1 Па Адсорбционный насос P=10 Па (P=10-4 Па) Pp=105 – 10 Па (Pp=10 – 10-3 Па) Магнитный эл. разрядн. насос P=10-7 Па Pp=10-1 – 5*10-7 Па Криосорбционный насос P=10-10 Па Pp=10-1 – 5*10-10 Па Криогенный насос P=10-9 Па Pp=10-1 – 5*10-9 Па

Условные обозначения элементов вакуумопроводов ОСТ эл. пром. Справочник по ВТ Описание Ловушка (общее обозначение) Адсорбционная ловушка Клапан Натекатель Затвор Манометр (вакууметр)

Использование вакуума в современных технологиях

Использование вакуума (10 -3 Па) в технологии сварки. 1.7 The diagram of the electron beam welding carousel installation: 1- electron gun; 2- spindle with the detail being worked; 3- drive of the spindle vertical transference; 4- rotation motion feedthrough; 5- motor of the spindle rotation; 6- cross wheel for periodical carousel turning (rotation); 7- rotation motion feedthrough.

Использование вакуума (10 -5 Па) в технологии Электронной литографии Еlectron beam lithography installation based on a hydro drive: 1- work chamber; 2- sluice chamber; 3- light-emitting diodes of raster coordinate counting system; 4- cross pilot- bearing of the coordinate table; 5- hydro drive of cross transference; 6- pilot-bearing of the coordinate table; 7- hydro drive of the coordinate table transference; 8- manual drive of the samples feeder; 9- drive of the gate; 10- drive of the storage drum.

Использование вакуума (10 -4 Па) в технологии нанесения тонких плёнок Схема установки УВН-73П-2: 1- the arm of the manipulator for the samples loading into vacuum chamber; 2- storage drum; 3-sluice chamber; 4-working drum; 5- vacuum chamber; 6- drive of the arm; 7- gate; 8- evaporator; 9- carrousel ; 10- evaporator screen; 11- gear wheel of working drum; 12,13- the drives of the carrousel and the drum.

Использование вакуума (10 -4 Па) в технологии нанесения тонких плёнок 1.2a The view of the internal vacuum chamber mechanisms of the thin films coating installation manufactured by Balzers Company[1]: 1-evaporators screens; 2- working drums, 3- drums rotation drive; 4-carrousel.

Использование вакуума (10 -4 Па) в технологии выращивания монокристаллов Installation based on Chockhralsky method: 1- touch-string of a monocrystal; 2- harmonic drive for the monocrystal touch-string transference; 3- nut-screw drive; 4- drive of the fast touch-string transference; 5-drive of the touch-string rotation; 6- motor of the touch-string transference; 7- motor of the touch-string rotation.

Использование вакуума (10 -9 Па) в технологии МЛЭ Installation of molecular beam epitaxy: 1,2,3- evaporators; 4- the carrier with the sample; 5,6,7- the screens of the evaporators; 8- linear motion feedthrough for the carrier transference; 9- the samples magazine; 10-the carrier drive; 11- sluice chamber. Fig The general view of the analytical installation of Riber Co.[8]: 1- two freedom degree magnet vacuum manipulator; 2- sluice chamber; 3- inlet vacuum valve; 4- positioning vacuum manipulator; 5- work chamber.

Использование вакуума в современных технологиях

Использование вакуума в современных технологиях поверхностного и структурного анализа The general view of the analytical installation of Riber Co.: 1- two freedom degree magnet vacuum manipulator; 2- sluice chamber; 3- inlet vacuum valve; 4- positioning vacuum manipulator; 5- work chamber.

Использование вакуума в современных методах физико- химического анализа поверхности P= Pa 1. EMP (Electron Microprobe) - ЭМА (Электронный Микроанализатор) первичный пучок: электроны; вторичный пучок: электроны (анализ тока); 2. AES (Auger Electron Spectroscopy) - ЭОС (Электронная Оже-спектроскопия) первичный пучок: электроны ( эВ); вторичный пучок: электроны (анализ энергии); 3. ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) - ЭСХА (Электронная Спектроскопия для хим. анализа) первичный пучок: фотоны Х; вторичный пучок: электроны (анализ энергии); 4. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) - ВИМС (Вторичная Ионная Масс- спектрометрия) первичный пучок: ионы; вторичный пучок: ионы (анализ массы); 5. ISS (Ion Scattering Spectrometry) - СПРИ (Спектрометрия рассеявшихся ионов) первичный пучок: ионы; вторичный пучок: ионы (анализ энергии);

Размещение датчиков-анализаторов в вакуумных камерах установок физико-химического анализа поверхности ( P= Pa) From down left, according clock wise rotation : 1- detector of the secondary ions; 2 -searched wafer -; 3- secondary ions mass-spectrometer; 4- electron gun for Auger analysis; 5- X-ray source; 6- energy analyzer; 7- ion gun; 8- ultra violet source; 9- micro focus electron gun; 10- electron gun; 11- Faraday cup.

Требования к манипуляторам при перемещени датчиков-анализаторов в вакуумных камерах установок физико-химического анализа поверхности ( P= Pa) ХарактеристикиЗначение параметра 1.Вакуум10 -9 Па 2.Количество степеней подвижности до 6 3.Диапазоны перемещений Х,Y Z ±40 мм ±20 мм 4.Точность отсчета линейных перемещений ±0.5 мкм 5.Диапазон угла поворота, угла наклона объекта, угла азимутального поворота объекта Точность отсчета угловых перемещений ±1 угл. Мин. 7.Биения вводов вращения, приведенные к объекту радиальное осевое ±10-50 мкм ±0.5-1 мкм

Использование вакуума в современных методах физико- химического анализа поверхности P= Pa EMP (ЭМА) AES (ЭОС) ESCA (ЭСХА) SIMS (ВИМС) ISS (СПРИ) Глубина10 4 Å15 Å50 Å монослои ~3 000 монослой ~3 Å Обнаружение: - элементовда - изотоповнет да - водороданет да Чувствительность: - монослоя

Использование вакуума в технологии ВИМС (SIMS) анализа поверхности P= Pa SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) - ВИМС (Вторичная Ионная Масс- спектрометрия) первичный пучок: ионы; вторичный пучок: ионы (анализ массы);

Вид вакуумной установки вторичной ионной масс- спектрометрии CAMECA-4m, P= Pa Внешний вид установки вторичной ионной масс-спектрометрии «Cameca-4m».

Использование вакуума в новейшем методе анализа поверхности с помощью времяпролётной масс- спектрометрии P= Pa При времяпролётной масс- спектрометрии (TOF SIMS) исследуемая поверхность образца бомбардируется импульсным пучком первичных ионов. В результате такого воздействия ионы в атомарном и молекулярном состояниях эмитируют с внешних слоёв поверхности. Их масса определяется временем, за которое они проходят путь от поверхности до детекторного приёмника. Этот процесс длится до тех пор, пока не будет получен полный спектр с высоким динамическим диапазоном.

Вид вакуумной установки времяпролётной масс- спектрометрии P= Pa

Использование вакуума в современных технологиях (cборка фотоэлектронных приборов ночного видения P= Pa, «НПО Геофизика», ул. Стромынка, 18 ) ЭОП поколения 2+ с параллельным переносом электронного изображения с фотокатода на МКП и с МКП на экран в электростатическом поле 1-стекловолоконная или стеклянная пластина ВОП; 2-многощелочной фотокатод; 3-МКП (входная поверхность); 4- МКП (выходная поверхность); 5- катодолюминесцентный экран; 6- стекловолоконный выходной элемент; 7-металлокерамический корпус; 8-индеевое уплотнение;

Результат использование вакуума в технологии cборки приборов ночного видения P= Pa, «НПО Геофизика», ул. Стромынка, 18, Вид нашлемника с закреплёнными на нём двумя ЭОП поколения 3+ с параллельным переносом электронного изображения с фотокатода на МКП и с МКП на экран

Использование вакуума в технологии cборка фотоэлектронных приборов ночного видения P= Pa (10 Авторских свидетельств МТ-11, МГТУ им.Н.Э.Баумана).

Использование вакуума P= Pa в технологии сборки ФЭП (проект МЭЛЗ) 1- work chamber for photo cathode forming; 2- the photoelectron gauge being assembled; 3- stem of the photoelectron gauge ; 4- linear motion feedthrough; 5,6- cryogenic sorption pumps; 7,8- vacion pumps; 9,10- adsorption pumps; 11- rough-vacuum pump.

Использование вакуума в современных технологиях(Установки термоядерного синтеза «Токамак 10», «Токамак 15 », P= Pa)

Пример проекта по курсу ОВТ «Использование технологии СВЧ накачки Установки термоядерного синтеза «Токамак 15 » в вакууме P= Pa

Использование вакуума в технологии защиты труб магистральных трубопроводов от «водородной болезни», P= – Pa, (Патент МТ-11, МГТУ им. Н.Э.Баумана и примеры фрагментов проектов по ОВТ)

Пример использования вакуума в технологии защиты труб магистральных трубопроводов от «водородной болезни» (на основе фрагментов проекта по ОВТ)

Использование вакуума в современной ВИМС (SIMS) технологии диагностики отказов труб магистральных трубопроводов, от «водородной болезни» P= Pa (Патент МТ-11, МГТУ им Н.Э.Баумана) Уважаемые студенты, убедительная просьба не распространять представленный вам материал за пределами МГТУ им Н.Э.Баумана

Уважаемые студенты, Спасибо за внимание !