СОСТОЯНИЕ РАЗРАБОТОК УСТРОЙСТВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ (ПАВ) НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ (ПАВ) И ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В И ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В АППАРАТУРЕ ОАО "МНИИРС"

СОСТОЯНИЕ РАЗРАБОТОК УСТРОЙСТВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ (ПАВ) И ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В АППАРАТУРЕ ОАО "МНИИРС" 1. ВВЕДЕНИЕ: - принципы работы устройств на ПАВ; - условная классификация устройств на ПАВ; - преимущества и недостатки; - области применения устройств на ПАВ. 2. БАЗОВЫЕ КОНСТРУКЦИИ И РЕАЛИЗОВАННЫЕ В МНИИРС ПАРАМЕТРЫ ТРАНСВЕРСАЛЬНЫХ ФИЛЬТРОВ НА ПАВ 2.1. Фильтры с высокими вносимыми потерями IL=20-25 дБ: - на двунаправленных преобразователях Фильтры с уменьшенными вносимыми потерями IL=4-16 дБ: - на одно-направленных однофазных преобразователях; - на квази-веерных однонаправленных преобразователях; - на направленных ответвителях. 3. БАЗОВЫЕ КОНСТРУКЦИИ И РЕАЛИЗОВАННЫЕ В МНИИРС ПАРАМЕТРЫ РЕЗОНАТОРНЫХ ФИЛЬТРОВ НА ПАВ С МАЛЫМИ ВНОСИМЫМИ ПОТЕРЯМИ IL= ДБ: - на резонаторах с поперечной акустической связью; - на резонаторах с продольной акустической связью; - лестничных резонаторных фильтров; - с комбинированием одно-модовых и двух-модовых звеньев. 4. ОЦЕНКА НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОГО УРОВНЯ 5. ПРОВЕДЕНИЕ РАЗРАБОТОК ДЛЯ СТОРОННИХ ЗАКАЗЧИКОВ 1

ВВЕДЕНИЕ В1. ОБЩИЕ ПРИНЦИПЫ РАБОТЫ УСТРОЙСТВ НА ПАВ Поверхностные акустические волны (ПАВ) – это упругие деформации в твердом теле, имеющие преимущественно продольную компоненту. Поперечная компонента, направленная в глубь твердого тела, мала. Поэтому ПАВ распространяются в приповерхностном слое, глубиной не более 3-4 длин волн. Основными элементами акустического тракта устройств на ПАВ являются входной и выходной преобразователи и пьезоэлектрический звукопровод (подложка) между ними. Характеристики устройств на ПАВ формируются за счет частотно- зависимого преобразования электрического сигнала в акустическую волну входным преобразователем и акустической волны в электрический сигнал выходным преобразователем. Скорость ПАВ составляет 3-4 км/сек, т.е. на 4 порядка меньше скорости электромагнитной волны. Этим обусловлены габариты устройств на ПАВ, меньшие на 2-3 порядка по сравнению с электромагнитными аналогами. В2. УСЛОВНАЯ КЛАССИФИКАЦИЯ УСТРОЙСТВ НА ПАВ Устройства на ПАВ можно условно разделить на два класса: трансверсаль- ные и резонаторные. Трансверсальные устройства являются неминимально-фазовыми и позволяют при проектировании независимо задавать АЧХ и ФЧХ сложной формы, например, симметричную АЧХ и линейную фазу, или несимметричную АЧХ и нелинейную фазу. К трансверсальным устройствам на ПАВ относятся: полосовые фильтры, взвешивающие фильтры, согласованные фильтры ЛЧМ, ФМ и ММС сигналов, линии задержки, дисперсионные линии задержки, дифференциаторы, частотные дискриминаторы, преобразователи Гильберта и т.д. Модель, описывающая в первом приближении трансверсальное устройство на ПАВ, близка к модели цифрового фильтра с конечной импульсной характеристикой. Резонаторные устройства являются минимально-фазовыми и могут быть описаны в первом приближении на основе классической теории цепей. К резонаторным устройствам относятся одно-входовые и двух-входовые резонаторы, полосовые лестничные и мостовые фильтры, полосовые фильтры на резонаторах с электрической или акустической связью, фильтры верхних и нижних частот, режекторные фильтры. 1-1

В3. ПРЕИМУЩЕСТВА И НЕДОСТАТКИ УСТРОЙСТВ НА ПАВ В3.1. Преимущества: - чрезвычайно малые габариты (на 2-3 порядка по сравнению с электро- магнитными аналогами); - высокая температурная стабильность (0,5-1,0) ед/ о С для кварцевых подложек; (18-35) ед/ о С для танталат литиевых подложек; (50-90) ед/ о С для ниобат литиевых подложек; - широкий диапазон рабочих частот (1,0 МГц – 15 ГГц); - малые вносимые потери 1,0-3,0 дБ при полосах пропускания 1-3 %; - высокая надежность ( тыс. чипов), т.к. число соединений составляет 6-8 вместо нескольких сотен, например, в LC и ФСС; - высокая повторяемость параметров и низкая стоимость серийном производстве; - простота регулировки или отсутствие необходимости регулировки вообще. В3.2. Недостатки: - малая рассеиваемая мощность (типичная мВт, максимальная 1,0-1,5 ВТ); - высокие вносимые потери для трансверсальных устройств (10-20 дБ); - чувствительность к электростатическому разряду. В4. ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ УСТРОЙСТВ НА ПАВ - Радиотелефоны и базовые станции систем связи стандартов GSM, AMPS, CD, IS-59, PHS, PCS, CDMA, W-CDMA, радиоудлинители стандартов DECT,WLAN и других (в каждом из 95% радиотелефонов используются 4-5 фильтров и резонаторов на ПАВ); - мобильные системы связи (персональные и автомобильные радиостанции полиции, диспетчеров, военных); - пейджеры; - приемо-передатчики систем навигации GPS и GLONASS; - устройства формирования и обработки сложных сигналов в РЛС дальнего и ближнего обнаружения; систем наведения на цель и сопровождения цели; управления воздушным движением; - разведывательные приемники; - бортовая и наземная аппаратура спутниковых систем связи; - радиорелейные системы связи; - системы телевидения, включая спутниковое и кабельное (канальные фильтры, фильтры для телевизоров, тюнеров, передатчиков, модуляторов); - устройства дистанционного радиоуправления (замки, взрыватели и т.д.); - устройства охраны, включая автомобильную сигнализацию; - датчики давления, влаги, температуры, ускорения, парциального давления газов. В 2002 году в мире было выпущено около 1,5 млрд. штук устройств на ПАВ. 1-2

1. ТРАНСВЕРСАЛЬНЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ПАВ 1.1. На двунаправленных встречно-штыревых преобразователях (ВШП) (с потерями IL=20-25 дБ) Аналоги :Частоты МГц (15 ГГц). Полосы пропускания BW3=3-80%. Преимущества: - высокая прямоугольность АЧХ до К П =(BW40/3 дБ)=1,15; - малые пульсации ГВЗ (до GDT=5-8 нсек) и фазы PD=0,5-1,0 град); - высокая избирательность (до UR=70 дБ); - возможность реализации несимметричных АЧХ и нелинейных ФЧХ. Недостатки: - высокие вносимые потери до дБ На однонаправленных преобразователях с уменьшенными потерями IL=6-14 дБ Аналоги: Частоты МГц (2500 МГц). Полосы пропускания BW3=0,5-30 %. Преимущества: - сниженные вносимые потери IL=4-12 дБ. Недостатки: - сложность реализации пульсаций ГВЗ менее GDV=30 нсек; - сложность получения избирательности более дБ при полосах до BW3=5%. Таблица 1 Основные параметры трансверсальных фильтров на ПАВ разработки ОАО "МНИИРС " 2

a б в ТРАНСВЕРСАЛЬНЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ДВУНАПРАВЛЕННЫХ ВШП (Потери IL=15-25 дБ. Полосы BW3=3-75%) Рис.1.1. Схема работы трансверсального фильтра на ПАВ: а – структура фильтра с двумя двунаправленными встречно- штыревыми преобразователями в одном акустическом канале; б – структурная схема трансверсального устройства; в – структурная схема для расчета S-параметров фильтра через матрицы элементов его электрического и акустического трактов a б Рис.1.2. Трансверсальный фильтр на ПАВ с двумя акустическими каналами и с селективным многополосковым ответвителем (МПО) между ними: а – структурная схема для расчета S-параметров фильтра; б – структура секционированного селективного МПО и его параметры 3

Рис.1.3. Сборка трансверсального фильтра ФП-479 (140/20 МГц) в металло-стеклянном корпусе (DIP 19.5x14.5x5.0 мм) Рис.1.4. Рекомендуемая схема включения в корпусе DIP 19.5 x 14.5 x 5.0 мм 4

2 1.0 dB/div S21 log MAG dB REF dB CENTER GHz SPAN GHz ns/div S21 - / ns REF -6.6 s CENTER GHz SPAN GHz dB/div S21 log MAG dB REF dB CENTER GHz SPAN GHz dB/div S21 log MAG dB REF dB START GHz STOP GHz aб вг Частотные характеристики трансверсального фильтра FP-479 (140/20 МГц) на двунаправленных встречно-штыревых преобразователях Рис.1.5. Измеренные частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-479 на двунаправленных встречно-штыревых преобразователях: а - |S21| в полосе пропускания; б – GDT в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе частот; г - |S21| в широкой полосе частот; Частота: F 0 =140,0 МГц. Полоса BW3=22,97 МГц. Потери: IL=21,0 дБ. Избирательность UR=56 дБ 5

aб вг Частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-331 (500/36 МГц) на двунаправленных встречно-штыревых преобразователях Рис.1.6. Измеренные частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-331 на двунаправленных встречно-штыревых преобразователях: а - |S21| в полосе пропускания; б – GDT в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе частот; г - |S21| в широкой полосе частот Частота: F 0 =500 МГц. Полоса BW1=43 МГц. Потери: IL=20,3 дБ. Избирательность UR=54 дБ 6

ФИЛЬТРЫ НА ОДНОНАПРАВЛЕННЫХ ОДНОФАЗНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ (Потери IL=6-12 дБ. Полосы BW3=0,5-10,0 %) Рис.1.7. Трехэлектродный однофазный однонаправленный преобразователь (ОНП): а – элементарная секция; б – возбуждение ПАВ; в – отражение ПАВ a б в a б в C 1 =45 пФ; L 1 =354 нГн; Q 1 =90 C 2 =45 пФ; L 2 =312 нГн; Q 2 =90 Рис.1.8. Трансверсальный фильтр ФП-322 (110.5/1.1 МГц) на однофазных однонаправленных преобразователях: а – топология фильтра; б – сборка в корпусе SMD 9.1 x 7.1 x 1.6 мм; в – схема включения 7

2 1.0 dB/div S21 log MAG dB REF dB CENTER GHz SPAN GHz ns/div S21 - / ns REF ns CENTER GHz SPAN GHz dB/div S21 log MAG dB REF dB CENTER GHz SPAN GHz dB/div S21 log MAG dB REF dB START -100 ns STOP 5.0 s aб вг Частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-322 (110,5/1,1 МГц) на однофазных однонаправленных преобразователях Рис.1.9. Измеренные частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-322 на однофазных однонаправленных преобразователях: а - |S21| в полосе пропускания; б – GDT в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе частот; г – импульсная характеристика Частота: F 0 =110.5 МГц. Полоса BW3=1.1 МГц. Потери: IL=8,4 дБ. Избирательность UR=50 дБ 8

2 1.0 dB/div S21 log MAG dB REF dB CENTER GHz SPAN GHz ns/div S21 - / ns REF 0.0 ns CENTER GHz SPAN GHz dB/div S21 log MAG dB REF dB CENTER GHz SPAN GHz dB/div S21 log MAG dB REF dB START GHz STOP GHz aб вг Частотные характеристики фильтра ФП-521 (134.5/3.9 МГц) на однофазных однонаправленных преобразователях Рис Измеренные частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-521 (134.5/3.9) на однофазных однонаправленных преобразователях: а - |S21| в полосе пропускания; б – GDT в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе частот; г - |S21| в широкой полосе частот; Частота: F 0 =134.5 МГц МГц. Полоса BW3=3.9 МГц. Потери: IL=9,0 дБ. Избирательность UR=50 дБ 9

ФИЛЬТРЫ НА КВАЗИ-ВЕЕРНЫХ ОДНОНАПРАВЛЕННЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ (Потери IL=8-18 дБ. Полосы BW3=3-30%) Рис Топология фильтра на квази-веерных ОНП L* 1 =200 нГ, C* 1 =43 пФ, Q1=60, L* 2 =240 нГ; C* 2 =56 пФ; Q2=60 Рис Схема включения фильтра ФП-448 в корпусе SMD 19.0x6.5x1.8 мм, KD-V98286, KYOCERA, Япония 10

Частотные характеристики фильтра ФП-448 (70/2,1 МГц) на квази-веерных однонаправленных преобразователях S21 log MAG 0.5 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz GDT - / 50.0 ns/div REF 22.5 ns CENTER GHz SPAN GHz S21 log MAG 10.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz aб в Рис Измеренные частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-448 на квази-веерных однонаправленных преобразователях: а - |S21| в полосе пропускания; б – ГВЗ в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе частот; г - |S21| в широкой полосе частот Частота: F 0 =70 МГц. Полоса BW3=2,1 МГц. Потери: IL=7,3 дБ. Избирательность UR=50 дБ S21 log MAG 10.0 dB/div REF dB 1: dB 33,0 42,4 51,8 61,2 70,6 80,0 89,4 98,8 108,2 117,6 127,0 МГц START GHz STOP GHz г 11

Частотные характеристики фильтра ФП-458 (70/30,3 МГц) на квази-веерных однонаправленных преобразователях S21 log MAG 0.5 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz GDT - / 10.0 ns/div REF ns CENTER GHz SPAN GHz Phasa 3.0 о /div REF o CENTER GHz SPAN GHz aб в Рис Измеренные частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-458 на квази-веерных однонаправленных преобразователях: а - |S21| в полосе пропускания; б – ГВЗ в полосе пропускания; в – ФЧХ в полосе пропускания; г - |S21| в средней полосе частот Частота: F 0 =70 МГц. Полоса BW3=30,3 МГц. Потери: IL=16,6 дБ. Избирательность UR=50 дБ S21 log MAG 10.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz г 12

ФИЛЬТРЫ НА ОДНОНАПРАВЛЕННЫХ ОТВЕТВИТЕЛЯХ (Потери IL=4-6 дБ. Полосы BW3=5-15%) Рис Структурная схема фильтра на ПАВ с малыми вносимыми потерями с ОНП на U –образных направленных ответвителях Рис Схема включения фильтра ФП-305 в корпусе SMD 13,3x6,5x1,8 мм, IRK 12F2-5857C-C, NTK Technical Ceramics, Япония 13

Частотные характеристики фильтра ФП-305 на направленных ответвителях aб вг Рис Измеренные частотные характеристики трансверсального фильтра ФП-305 на направленных ответвителях (МПО): а - |S21| в полосе пропускания; б – GDT в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе частот; г - |S21| в широкой полосе частот Частота: F 0 =140,0 МГц. Полоса BW3=10,8 МГц. Потери: IL=4,63 дБ. Избирательность UR=50 дБ 14

Основные параметры трансверсальных фильтров на ПАВ разработки ОАО "МНИИРС " 15

2. РЕЗОНАТОРНЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ПАВ С МАЛЫМИ ВНОСИМЫМИ ПОТЕРЯМИ IL=1,5-6,0 ДБ 2.1. Сверх-узкополосные фильтры на поперечно-связанных резонаторах Частоты: F 0 = МГц. Полосы пропускания BW3=0,05-0,2%. Потери IL=3-8 дБ. Преимущества: - высокая избирательность до дБ; - высокая температурная стабильность ТКЧ=-0, / о С. Недостатки: - сложность изготовления из-за необходимости подстройки частоты резонаторов с точностью (0,01-0,02)% Узко-полосные лестничные резонаторные фильтры (без акустической связи резонаторов) Частоты: F 0 = МГц. Полосы пропускания BW3=2-3%. Потери: IL=1,2-4,0 дБ. Преимущества: - самые малые вносимые потери. Недостатки: - ограниченный диапазон полос пропускания Средне-полосные фильтры на продольно-связанных резонаторах Частоты: МГц. Полосы пропускания BW3=3-8%. Потери: IL=1,8-6,0 дБ. Преимущества: - высокая избирательность в широкой полосе частот; - возможность трансформации импедансов, например, 50 Ом на входе, 200 Ом на выходе; - возможность построения балансных структур для подавления электромагнитной наводки. Недостатки: - паразитное "плечо" с уровнем –(25-30) дБ на правом склоне АЧХ; - сложность реализации потерь менее 2,5 дБ Средне-полосные фильтры с комбинированием лестничных и акустически связанных звеньев Зарубежные аналоги отсутствуют. Преимущества: высокая избирательность. Недостатки: сложность проектирования и изготовления. Таблица 2 Основные параметры резонаторных фильтров на ПАВ разработки ОАО "МНИИРС" 16

2.1. СВЕРХ-УЗКОПОЛОСНЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ПОПЕРЕЧНО-СВЯЗАННЫХ РЕЗОНАТОРАХ (Полосы BW3=0,05-0,2%. Вносимые потери IL=3-8 дБ) Рис Одно-входовый резонатор на ПАВ Рис.2.2. Звено фильтра из двух резонаторов с поперечной акустической связью 17

Фильтр ФП-728 с поперечно-связанными парами резонаторов Рис.2.3. Двух-звенный фильтр ФП-728 (85,38 / 0,05 МГц) с парами акустически связанных резонаторов и электрической связью между звеньями а – топология фильтра; б – сборка в корпусе : SMD 9.1 x 4.8 x 1.6 mm, KD-V93742, KYOCERA, Япония, в – эквивалентная схема; г – рекомендуемая схема включения a б в г 18

Частотные характеристики фильтра ФП-728 (85,38 / 0,05 МГц) на поперечно-связанных резонаторах S21 log MAG 1.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz GDT - / 1.0 s/div REF s 3: s CENTER GHz SPAN GHz S21 log MAG 10.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz aб в Рис.2.4. Измеренные частотные характеристики фильтра ФП-728 на поперечно-связанных резонаторах: а - |S21| в полосе пропускания; б - ГВЗ в полосе пропускания; в - |S21| в широкой полосе частот. Частота: F 0 = 85,38 МГц. Полоса BW3= 49,6 КГц. Потери: IL= 3,6 дБ. Избирательность UR= 70 дБ 19

Частотные характеристики фильтра ФП-702 (130,4 / 0,1 МГц) на поперечно- связанных резонаторах aб в Рис.2.5. Измеренные частотные характеристики узкополосного трех-каскадного фильтра ФП-702 на поперечно-связанных резонаторах: а - |S21| в полосе пропускания; б – ГВЗ в полосе пропускания; в - |S21| в широкой полосе частот. Частота: F 0 = 130,413 МГц. Полоса BW3= 102 КГц. Потери: IL= 6,6 дБ. Избирательность UR= 70 дБ 20

2.2. УЗКО-ПОЛОСНЫЕ ЛЕСТНИЧНЫЕ РЕЗОНАТОРНЫЕ ФИЛЬТРЫ (Полосы 2-3%. Потери IL=1,3-4,0 дБ) a б в Г-type T-type П-type Г-sym T-sym П-sym Рис.2.6. Элементарные звенья лестничного резонаторного фильтра: а – одновходовый резонатор и его эквивалентная схема; б – несимметричные звенья фильтра для аксиальных нагрузок; в – симметричные звенья фильтра для балансных нагрузок a б Рис.2.7. Лестничный фильтр ФП-645 на 12 одно-входовых резонаторах для балансных нагрузок:: а – схема с учетом паразитных эффектов на СВЧ; б – сборка фильтра в корпусе SMD 3.8x3.8 мм 21

Частотные характеристики лестничного фильтра ФП-645 (1220 / 14 МГц) с балансными нагрузками 200/200 Ом. |S21|, дБ Частота, МГц a |S21|, дБ Частота, МГц б |S21|, дБ Частота, МГц в Рис.2.8. Измеренные частотные характеристики лестничного 12-ти резонаторного фильтра ФП-645 (1220 / 14 МГц): а - |S21| в полосе пропускания; б - |S21| в средней полосе пропускания; в - |S21| в широкой полосе частот; Частота: F 0 = 1220 МГц. Полоса BW3= 14 МГц. Потери: IL= 1.5 дБ. Избирательность UR= 54 дБ 22

Частотные характеристики лестничного фильтра ФП-637 (465 /9 МГц) с нагрузками 50/50 Ом. |S21|, дБ Частота, МГц a б в Рис.2.9. Измеренные частотные характеристики лестничного резонаторного фильтра ФП-637 (465 /5,0 МГц): а - |S21| в полосе пропускания; б - GDT в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе пропускания; г –|S21| в широкой полосе частот. Частота: F 0 = 465 МГц. Полоса BW3= 8.8 МГц.Потери: IL= 2.1 дБ. Избирательность UR= 55 дБ Частота, МГц г |S21|, дБ 23

2.3. СРЕДНЕ-ПОЛОСНЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ПРОДОЛЬНО-СВЯЗАННЫХ РЕЗОНАТОРАХ (Вносимые потери IL=2,8-3,5 дБ. Полосы BW3=2-8%) Рис Фильтр на продольно-связанных резонаторах: а – структура однозвенного фильтра; б – структура двух-звенного фильтра;в – эквивалентная схема двух-звенного фильтра aб в 24

Частотные характеристики фильтра ФП-518 (150,5 / 6,0 МГц) на продольно-связанных резонаторах S21 log MAG 1.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz S21 log MAG 10.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz S21 log MAG 10.0 dB/div REF dB 1: dB START GHz STOP GHz a Рис Измеренные частотные характеристики двух-каскадного фильтра ФП-518 на продольно-связанных резонаторах: а - |S21| в полосе пропускания; б - |S21| в средней полосе частот; в – |S21| в широкой полосе частот; г - схема включения фильтра ФП-518 в корпусе SMD 14,0x8,2x1,8 мм, IRK14F2-6041A-C, NTK Technical Ceramics, Япония. Частота: F 0 =150,951 МГц. Полоса BW3=6,1 МГц. Потери: IL=3,2 дБ. Избирательность UR=70 дБ. г б в 25

Частотные характеристики фильтра ФП-514 (278,5 / 7,3 МГц) на продольно-связанных резонаторах S21 log MAG 1.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz GDT - / 50.0 ns/div REF 94.2 ns CENTER GHz SPAN GHz S21 log MAG 10.0 dB/div REF dB CENTER GHz SPAN GHz aб в Рис Измеренные частотные характеристики трех-каскадного фильтра ФП-514 на продольно-связанных резонаторах: а - |S21| в полосе пропускания; б – ГВЗ в полосе пропускания; в - |S21| в средней полосе частот; г - |S21| в широкой полосе частот. Частота: F 0 =278,76 МГц. Полоса BW3=7,34 МГц. Потери: IL=4,3 дБ. Избирательность UR=45-50 дБ S21 log MAG 10.0 dB/div REF -4.42dB 1: dB START GHz STOP GHz г 26

2.4. ФИЛЬТРЫ С КОМБИНИРОВАНИЕМ ЛЕСТНИЧНЫХ И АКУСТИЧЕСКИ СВЯЗАННЫХ ЗВЕНЬЕВ Основные параметры резонаторных фильтров на ПАВ разработки ОАО "МНИИРС" б Рис Фильтр ФП-517 (484 / 5,0 МГц) с комбинированием лестничных и продольно-связанных резонаторных звеньев: а – эквивалентная схема; б – измеренные частотные характеристики фильтра а 27

4. НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКBИЙ УРОВЕНЬ РАЗРАБОТОК По достигнутым параметрам изделия на ПАВ, разработанные в ОАО "МНИИРС», практически не уступают лучшим зарубежным образцам и во многих случаях не имеют аналогов в России. Для реализации высоких параметров и их обеспечения при поставках с приемкой 5 на предприятии разработаны технологические процессы, оснастка, модели, методы проектирования и испытаний, выпущена рабочая КД, ТУ, методика испытаний, аттестованы рабочие места. По рассматриваемой тематике сотрудниками ОАО "МНИИРС опубликована одна монография и более 95 статей в советских и российских научно-технических журналах, получено 68 авторских свидетельств СССР. На оригинальные разработки ОАО "МНИИРС за последние 10 лет получено 12 российских и 1 международный патент. Результаты исследований за г. опубликованы в 12 докладах на Международном Симпозиуме по Ультразвуку (IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM) и в 14 докладах на Российских конференциях. 5. ПРОВЕДЕНИЕ РАЗРАБОТОК ДЛЯ СТОРОННИХ ЗАКАЗЧИКОВ ОАО "МНИИРС проводит разработки устройств на ПАВ для зарубежных компаний: Nortel, Канада; RF Monolithic, США; Motorola, США; TELEFILTER, Германия; TAI SAW Technology, Тайвань; Korean Electronic Company, Корея, и т.д. Заказчиками устройств на ПАВ в России являются более 20 компаний. Поставка для российских предприятий производится с приемкой ОТК и ПЗ. 28 MRRI SAW Devices