| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 1 BAK 501 Новая система электронно-лучевого осаждения, разработанная для R&D

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 2 BAK 501 Система BAK501 разработана для нанесения покрытий на подложки методом электронно- лучевого (термического) испарения. Внутри вакуумной камеры материал покрытия испаряется с помощью специального испарителя. Материал покрытия в виде паров свободно перемещается через вакуумную камеру. Поскольку процесс температурного испарения может производиться только в условиях высокого вакуума, BAK501 укомплектована таким оборудованием, как вакуумная камера, помпа высокого вакуума и станция предварительной откачки. Пользователь управляет BAK501 с помощью клавишной панели и монитора, через графический интерфейс пользователя. Cистемный контроллер KHAN XP BASIC управляет и полностью контролирует функционирование системы.

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 3 Процесс-камера основной системы В процесс-камере BAK501 располагается оборудование для выполнения процесса покрытия. Камера состоит из каркаса из нержавеющей стали с алюминиевыми панелями и снабжена фланцами для присоединения такого оборудования, как: испаритель, вращающийся привод, детектор толщины наносимой пленки, вакуумные помпы. Дверь камеры снабжена безопасным стеклом для наблюдения.

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 4 Помпа высокого вакуума Турбопомпа Pfeiffer TMH261 DN 100 ISO-K с контроллером TC600

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 5 Предварительная вакуумная помпа Вакуумная помпа Pfeiffer DUO 05 Baking Pump Система содержит: –Вакуумные клапаны –Управляющий вакуумный датчик PKR 251 –Управляющий вакуумный датчик TPR 280 –Газобалластная нагрузка, управляемая вручную –Напольное или консольное крепление –Применение одобрено сертификатом CE –Масло поставляется с помпой

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 6 Объединенный распределитель входных источников BAK501 использует объединенный распределитель для обеспечения системы: –холодной водой –горячей водой –сжатым воздухом –электроэнергией

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 7 Набор защитных экранов для камеры высокого вакуума Защитные экраны предотвращают отложение на стенках и двери камеры частиц наносимого покрытия. Они подразделяются на несколько секторов меньшего размера, которые могут легко устанавливаться и сниматься без использования специальных инструментов. Набор защитных экранов входит в состав системы.

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 8 Экран для защиты днища камеры Защитные экраны предотвращают загрязнение дна камеры. Они подразделяются на несколько секторов меньшего размера, которые могут легко устанавливаться и сниматься без использования специальных инструментов. Набор защитных экранов входит в состав системы.

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 9 Вращающийся привод MD 40 с панелью управления Центрально расположенный вращающийся привод позволяет разместить множество держателей с субстратом. Комплект поставки включает: –Магнитный привод –Байонетную систему присоединения для закрепления держателей с подложками –Контроллер управления мотором и приводом

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 10 Держатель субстрата Держатель плоских субстратов для 2, 4 или 6 пластин –для 2 на 32 шт. –для 4 на 8 шт. –для 6 на 4 шт. –Поставка приспособлений для субстрата возможна в соответствии со спецификацией покупателя, например, Flexcalotte

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 11 Электронная пушка EBS 500 с ESQ 212 и EEC 300 Состоит из: Блок источника ESQ 212 Высоковольтный ввод EHD 110 Блок управления EEC 300 with Media Supply for 2 Source Источник высокого напряжения EHV 500 на 10 kW Источник тока Filament Current Power Supply EFS 500 Источник тока Coil Current Power Supply ECS 200 Кабельные соединения

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 12 Шестиячеечный тигель Держатель для шестиячеечного тигеля Подвижная крышка для тигеля Пневмозаслонка для тигеля Управляемые заслонки для испарителя

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 13 BAK 501 схема размещения внутри камеры

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 14 QSK 621 Измеритель толщины наносимого покрытия QSK621- кварцевая измерительная головка расположена на центральной оси блока вращающегося привода. В состав головки входит магазин с шестью отдельными кварцевыми кристаллами. Это позволяет переключаться с одного кристалла на другой без открытия вакуумной камеры. Состоит из: –Держатель кварцевых кристаллов на 6 кристаллов –Приспособление для инсталляции QSK 621 –Запасной магазин (6 кристаллов) с крышкой для QSK 621

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 15 Система управления процессом "KHAN XP BASIC" Данные: –PCI – на базе Pentium IV с 512 MB памяти –164 MB memory key –Привод CD-DVD R/W –Жесткий диск >40 GB и 4 RS 232 последовательных порта –Цифровой вход / выход и аналоговый вход / выход модули –XTC/B индикатор кварцевых датчиков –15" плоский монитор и клавиатура –Софт: до 4-х окон интерфейса пользователя Software (относится и к варианту с SEMATECH ) –5 уровней управления с защищенным доступом –Управление автопроцессом (старт, стоп, останов, сброс, шаг назад, шаг вперед) –Ручное управление вакуумной системой и рабочим оборудованием –Соблюдение процесса, управление действующими и фоновыми программами –Учет Alarm-сообщений (память на 300 сообщений по трем различным каталогам) –Сервисные функции (непосредственный доступ к каждому I/O каналу) –Цветной принтер

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 16 Вид исполнения Все системы и устройства, входящие в состав продукта, смонтированы в одном моноблоке

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 17 Пространство Занимаемый объем= д x ш x в = 1250 x 750 x 2000 мм

| Evatec Ltd. | Lochriet 1 | CH-8890 Flums | Phone | Fax | | | | Page 18 Опции Клапан высокого вакуума с дополнительным вентилирующим устройством для мягкой вентиляции Flex calotte Термическая «лодочка» GSM1100 оптическая система мониторинга Возможность магнетронного напыления Дополнительный цифровой модуль для KHAN XP Архивный модуль для KHAN XP Host Integration Module for KHAN XP Установка процесса на EVATEC Инсталляция у заказчика