РАЗРАБОТКА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В АТМОСФЕРЕ СИЛАНА И АРГОНА ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В.

Презентация:



Advertisements
Похожие презентации
Конкурс У.М.Н.И.К. Исследование колебаний кремневодородных связей в тонких пленках аморфного гидрогенезированного кремния методами Рамановский и ИК-спектроскопии.
Advertisements

ХИМПРОМ НОВОЧЕБОКСАРСК РОССИЯ ОАО ХИМПРОМ 2009 г. ОРГСИНТЕЗ Р Е Н О В А.
Научно-технический Центр тонкопленочных технологий на основе кремния НТЦНТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе Общество с ограниченной.
Объемный гетеропереход на основе нанокомпозитных тонких пленок C 60 CdS. Е.И. Супрун студ. СПбГПУ, каф. ФППиНЭ, И.Б. Захарова к.ф.-м. н, доц., СПбГПУ,
Международный день охраны озонового слоя Атомы кислорода в молекулах кислорода и озона.
Установка магнетронного распыления и дугового испарения ООО НПЦ «Поиск-МарГТУ» Н.И. Сушенцов.
Алматы, 2015 Шонгалова Айгуль. 2 * Гетеропереходом называется контакт двух различных по химическому составу полупроводников. * Гетероструктурой называется.
Грибин Артём Анатольевич Разработка вариконда на основе плёнок (Ba X Sr 1-X )TiO 3, получаемых методом ВЧ магнетронного распыления Марийский Государственный.
Влияние технологических параметров осаждения на фазовый состав тонких пленок микрокристаллического кремния, полученных методом PECVD В. Л. Кошевой 1, В.
Руководитель проекта Богданов Сергей Александрович к.т.н., доцент ООО «Эко Энерджи», создано в рамках 217 ФЗ.
ВНЦ ГОИ им. Вавилова Школа «б» класс Исследование способов защиты поверхности оптических деталей из нестойких стёкол Исполнитель: Гукасов Артём Арсенович.
НАУЧНЫЙ СЕМИНАР Лаборатории возобновляемых источников энергии ОИВТ РАН (совместно с Экспертными советами Технологических платформ «Перспективные технологии.
1. Этапы реализации инновационного процесса и составные части инновационного проекта 2. Функции управления организационными системами 3. Классификация.
Синтез и свойства нанокристаллов GeSn в слоях Si и SiO 2.
«Активный фильтр высших гармоник с компенсацией реактивной мощности для городских сетей низкого и среднего напряжения» ООО «Центр экспериментальной отработки.
Hevel Solar Презентация о компании. О Компании Основана летом 2009 года Профиль деятельности – развитие в России современного производства солнечных модулей.
Презентация По дисциплине «Мехатроника и робототехника» тема : «Мехатронные модули движения»
Разработка фотоэлектрических преобразователей на основе кристаллического кремния с конкурентными на мировом рынке энергетическими и экономическими показателями.
БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ УДК Выпускная работа по Основам информационных технологий Магистрант кафедры физики полупроводников и наноэлектроники.
Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко Радиофизический факультет Изготовление, свойства и применение пленок ITO Л.В.Ищук, доцент кафедры.
Транксрипт:

РАЗРАБОТКА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В АТМОСФЕРЕ СИЛАНА И АРГОНА ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В КАЧЕСТВЕ БУФЕРНЫХ СЛОЕВ СОЛНЕЧНЫХ МОДУЛЕЙ ОТЛИЧАЮЩИХСЯ ПОВЫШЕННЫМИ ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ Кукин Алексей Валерьевич Санкт-Петербург, ФТИ им. А.Ф. Иоффе

Цели и задачи Разработка метода получения наноструктурированных материалов на основе кремния, с возможностью варьирования свойств; Получение наноструктурированных материалов на основе кремния, применимых в солнечной энергетике; Исследование свойств полученных материалов; Проведение общей экономической оценки применения данных материалов в солнечной энергетике.

Применение в 2ух каскадных тонкопленочных солнечных модулях Верхний прозрачный проводящий оксид Первый каскад Второй каскад Нижний прозрачный проводящий оксид Буферный слой

Получаемые преимущества Верхний прозрачный проводящий оксид Первый каскад Второй каскад Нижний прозрачный проводящий оксид Буферный слой

Верхний прозрачный проводящий оксид Первый каскад Второй каскад Нижний прозрачный проводящий оксид Буферный слой Получаемые преимущества

Выбор метода получения Метод магнетронного распыления в среде силана и аргона с добавлением кислорода, т.к.: 1.Метод магнетронного распыления хорошо освоен и промышленно применяется; 2.Возможность масштабирования; 3.Возможность варьирования свойств материалов, путем изменения состава атмосферы.

Результаты экспериментов Рис. 1. Изображение нанокластеров кремния полученное методом ПЭМ. Рис. 2. Спектры оптического поглощения пленок выращенных с содержанием кислорода на входе в рабочий объем магнетрона: 1) 17 мол. %, 2) 22 мол. %, 3) 25 мол. %. Рис. 3. Спектры ИК- пропускания пленок при концентрацией кислорода на входе в рабочий объем магнетрона: 1) 0.15 мол. %, 2) 17 мол. %, 3) 22 мол.% Рис. 4. Спектры КРС пленок выращенных при концентрации кислорода на входе в магнетронную камеру: 1) 0.15 мол. % (остаточный кислород), 2) 17 мол. %, 3) 22 мол. %, 4) 25 мол. %

Ценовой паритет солнечной и традиционной энергетики

Общая экономическая оценка Повышение КПД с 9% до 11% Буферный слой Входное широкозонное окно Использование дешевых материалов и технологий Снижение стоимости вата солнечной энергии до 35 рублей без учета монтажа

Перспективы (кому куда как) ООО «НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им. А.Ф. Иоффе» ООО «Хевел»

Результаты Методом магнетронного распыления в атмосфере силана и аргона получены пленки наноструктурированного кремния Исследованы свойства полученных материалов Предложены варианты применения полученных материалов Проведена общая экономическая оценка вариантов внедрения разработки

СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ!!!