Установка магнетронного распыления и дугового испарения ООО НПЦ «Поиск-МарГТУ» Н.И. Сушенцов. - презентация

1 Установка магнетронного распыления и дугового испарения ООО НПЦ «Поиск-МарГТУ» Н.И. Сушенцов

2 Износостойкие покрытия

3 Тонкопленочные нанотехнологии в декоративном убранстве православных храмов

4 Вакуумные методы получения пленок Дуговое испарение Магнетронное распыление

5 Установка магнетронного распыления и дугового испарения

6

7 Спасибо за внимание!

8 Строение (АСМ) поверхности пленок TiN, ZrN

9 Дуговое испарение

10 Магнетронное распыление При магнетронном распылении (один из методов ионного распыления, характерной особенностью которого является наличие магнитного поля у распыляемой поверхности мишени, позволяющего локализовать плазму и тем самым повысить скорость распыления) содержание рентгеноаморфной фазы в пленке достаточно велико, т.к. имеет место недостаточная ионизация пленкообразующих частиц

11 Магнетронное распыление Развитие конструктивных улучшений установок магнетронного распыления (появление несбалансированных магнетронов) позволило значительно расширить область применения метода в различных отраслях. За счет особой конфигурации магнитного поля несбалансированного магнетрона, ионизация рабочего газа и распыленных частиц происходит не только у поверхности мишени, но и на всем протяжении от мишени до подложки

12 Сканы поверхности и скола пленки AlN