Е.Н.Пятышев Микросистемная техника « Введение в MЭMС ». Ю.Д.Акульшин Санкт-Петербург СПбГПУ Санкт-Петербургский Государственный Политехнический Университет Лаборатория Нано- и Микросистемной техники М.С.Лурье Часть III

МЭМС Автомобиль Температура (комфорт) Алкоголь (водитель) Акустика (столкновения) Угловое ускорение (подвеска) Давление (шины, АВС) NOX (выхлоп) Гироскопы (навигация) Расход воздуха (воздух/топливо) Кислород (воздух/топливо) Давление (MAP, топливо, EGR ) Аzide (подушка безопасности) Линейное ускорение Плотность заряда (аккумулятор) ENME 489F / 808K

МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ ДАТЧИКИ АкселерометрыГироскопы Месячный выпуск более 60 млн Годовой выпуск более 0, 90 млн Объем1 6 см 3 ИНС - GPS Снижение СКО в 10 раз МЭМС

усилитель столбец массива СВЧ переключатели СВЧ конденсаторы СВЧ индуктивности СВЧ волноводы СВЧ сетевые фильтры СВЧ МЭМС в ФАР СВЧ перестраиваемые схемы Возможности создания ФАР новой архитектуры и компоновки. ВЧ МЭМС RF MEMS

ВЧ МЭМС RF MEMS

Био-МЭМС Bio-MEMS МЭМС – флюидика Microfluidics Микроклапан Биофильтр с иммуносенсором Система управления Датчик расхода жидкости Магнитный гомогенизатор с дендромером Встроенный Био - чип Интегральная микрофлюидная система для биохимического анализа