Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Руководитель: Декан факультета электроники и приборостроения, д.т.н., - презентация

1 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Руководитель: Декан факультета электроники и приборостроения, д.т.н., профессор Коноплев Борис Георгиевич Центр коллективного пользования «Нанотехнологии» Федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Южный федеральный университет» (ЦКП «Нанотехнологии» ЮФУ)

2 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Общая численность специалистов 41( 2008 г) из них: - докторов наук 8 - кандидатов наук 23 - аспирантов 10 Интернет-сайт ЦКП

3 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Основные направления исследований: выполнение научно-исследовательских работ (наноэлектроника, наноинженерия, функциональные наноматериалы для энергетики, функциональные наноматериалы для космической техники, нанобиотехнологии, конструкционные наноматериалы, композитные наноматериалы, нанотехнологии для систем безопасности) проектирование и конструирование полупроводниковых приборов микро- и наноэлектроники обучение и повышении квалификации кадров научно-методическая помощь в области исследований поверхности и наноразмерных систем

4 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Перечень оказываемых услуг: проведение научных исследований проведение измерений сотрудниками ЦКП предоставление оборудования ЦКП для другой организации работы по сертификации продукции подготовка научных кадров (кандидатов и докторов наук) проведение обучения и стажировки для повышения квалификации персонала центров аттестация методик проведения измерений оказание аналитико-информационных услуг образовательные программы для студентов

5 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Оборудование РМЦКП «Нанотехнологии» ЮФУ Комплекс оборудования для сканирующей зондовой микроскопии: Зондовая нанолаборатория Ntegra Vita СЗМ Solver P47 Pro Учебные СЗМ NanoEducator (ЗАО Нанотехнологии МДТ г. Зеленоград) (ЗАО Нанотехнологии МДТ г. Зеленоград) Многофункциональныйсверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9 (ЗАО Нанотехнологии МДТ г. Зеленоград) г. Зеленоград) Электронно-ионный сканирующий микроскоп Nova NanoLab 600 (FEI Company) Nova NanoLab 600 (FEI Company) с системой электронно-лучевой литографии Комплект технологического оборудования для формирования структур микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники Контрольно-измеритальноеоборудование для исследования параметров наноматериалов и наносистем Технологическое оборудование для электронно-лучевой, лазерной, быстрой термической обработки материалов и структур

6 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9 (ЗАО Нанотехнологии МДТ г. Зеленоград)

7 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Электронно-ионный сканирующий микроскоп Nova NanoLab 600( FEI Company ) Nova NanoLab 600 ( FEI Company ) Газовая химия – локальное травление и осаждение материалов Система электронно-зондового рентгеновского микроанализа (энергодисперсный анализ - EDS) Система электронно-лучевой литографии (ELPHY Quantum Lithography system) Сканирующая электронная микроскопия Пробоподготовка для просвечивающей электронной микроскопии ПО для анализа изображений

8 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Наиболее значимые результаты, полученные с использованием научного оборудования ЦКП Разработаны принципы построения и основы технологии субмикронной и наноразмерной элементной базы сверхбольших интегральных схем, интегральных сенсорных и актюаторных элементов микро- и наносистем. Разработаны принципы построения и основы технологии сверхбыстродействующих интегральных коммутаторов на основе управляемой передислокации максимума волновой функции носителей заряда, отличающихся от аналогов более высокой эффективностью использования объема кристалла, более высоким быстродействием (время задержки менее 0,2 пс) и низкой энергией переключения. Разработаны конструкции и технология изготовления компонентов микро- и наносистемной техники: интегральных микрозеркал, гироскопов и автоэмиссионных элементов интегральных акселерометров. Разработаны принципы технологии формирования наноструктур с использованием сверхвысоковакуумного нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9. Разработана фотонно-стимулированная технология металлической наноэлектроники. Показана возможность формирования туннельных переходов с использованием СЗМ и др.

9 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Участие в выставках 2005 г. Диплом II международной специализированной выставки нанотехнологий и материалов «NTMEX», г., Москва 2005 г. Бронзовая медаль IV Московского международного салона инноваций и инвестиций 2006 г. Диплом III международной специализированной выставки нанотехнологий и материалов «NTMEX», г., Москва 2006 г. Серебряная медаль V Московского международного салона инноваций и инвестиций 2007 г. Диплом участника IV международной специализированной выставки нанотехнологий и материалов "NTMEX ", Москва г. Диплом лауреата конкурса «Перспективные технологии для реального сектора экономики» за научно-техническую разработку «Элементная база наноэлектроники на основе связанных квантовых областей». II Международная выставка и конгресс «Перспективные технологии XXI века». Москва, ВВЦ октября г. Диплом участника V международной специализированной выставки нанотехнологий и материалов "NTMEX ", Москва.

10 Центр коллективного пользования «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮЖНОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА Участие в международных конференциях Международная конференция "Микроэлектронные преобразователи и приборы на их основе", г.Баку-Сумгаит, декабрь 2003г. International Conference "Micro- and nanoelectronics ". Moskow - Zvenigorod, Russia, th International Conference on ASIC (ASICON-2003). Beijing, China Международная научно-техническая конференция ПЭМ-2004, 2004 г. 5th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials ECSCRM2004", 31 August- 4 September, 2004, Bologna, Italy. V International Seminar on Silicon Carbide and Related Materials", May 24-27, 2004, Novgorod the Great, Russia. 10th International Conference on SiC and Related Materials ICSCRM2003", Oct 5-10, 2003, Lyon, France. Седьмая международная научная конференция "Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы", Владимир, 26 июня - 3 июля International conference "Micro- and nanoelectronics ", Zvenigorod, October, 3 - 7, Пятая международная научная конференция "Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии", Кисловодск, сентября International Congress of Nanotechnology, October 31 - November 4, 2005, San Francisco. VI МНК "Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии".- Кисловодск-Ставрополь: СевКавГТУ, Х международная научно-техническая конференция ПЭМ-2006.Дивноморское, VII МНК "Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии".-Кисловодск- Ставрополь:СевКавГТУ,2007. International Conference "Micro- and nanoelectronics "-Moskow: PTI RAS, inc. Workshop on compound semiconductor Devices and integrated Circuits, WocsDice. Belgium, Х Международная конференция «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы».– Ульяновск: УлГУ, и др.