Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Осаждение нитрида кремния. - презентация

1 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Осаждение нитрида кремния

2 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Добавление слоя поликремния ( Поли 0)

3 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Нанесение изображения через 1-ый уровень маски (Поли0), используя литографию Фоторезист Структурированный фоторезист

4 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Структурированный фоторезист Удаление ненужного Поли0, используя реактивное ионнное травление

5 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Осаждение 1-ого слоя оксида, используя LPCVD (химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении)

6 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Нанесение изображения через маску 2-го уровня (углубление) используя фотолитографию... Фоторезистt и глубинное реактивное ионное травление

7 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Нанесение изображения через маску 2-го уровня (углубление) используя фотолитографию... Фоторезист и глубинное реактивное ионное травление

8 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Нанесение безпримесного осаждённого слоя поликремния (Поли1) используя LPCVD… Затем осаждение PSG (фософосиликатного стекла) и отжиг

9 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Si подложка Нанесение изображения через 4-й уровень маски (Поли1), используя фотолитографию... Фоторезист и глубинное реактивное ионное травление

10 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Осаждение 2-го слоя оксида Si подложка

11 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 5-го уровня, используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление Si подложка

12 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 6-го уровня, используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление Si подложка

13 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Осаждение безпримесного поликремния, Si подложка затем нанесение PSG (фосфосиликатное стекло) слоя жёсткой маски, затем отжиг

14 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 7-го уровня, используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление Si подложка

15 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 8-го уровня, используя фотолитографию и отрыв, затем удаление ненужного фоторезиста и металла в ванне растворителя Si подложка

16 Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Реализация структуры, используя HF Si подложка