Растровая электронная микроскопия и элементный анализ Батурин А.С. 26 октября 2005 года

Процессы на границе раздела среда-вакуум Термоэлектронная эмиссия Автоэлектронная и автоионная эмиссия Фотоэлектронная эмиссия Вторичная эмиссии (под действием ) – Вторичные электроны, упруго-отраженные электроны и оже-электроны – Вторично-ионная эмиссия Рассеяние частиц

Устройство растрового микроскопа JEOL JSM-840

Электронная пушка i = 100 мкА, f = 5 мм, V a = 20 кВ, T k = 2700 К, d c = мкм

Электронно-оптическая система a = 200 мм, b = 300 мм, f 1 = 25 мм, f 2 = 20 мм уменьшение D = 88 Диаметр электронного зонда около 0.5 мкм С s коэффициент сферической аберрации линзы, обычно равный 2–3 фокусным расстояниям Диафрагмирование пучка

Спектр вторичных электронов

Электронная лавина в твердом теле

Упруго-отраженные электроны (элементный контраст) Образец Cu-Cr Элементный контраст

Упруго-отраженные электроны (топографический контраст)

Схема детектора упруго- отраженных электронов

Истинно вторичные электроны Cu-Cr Углеродные нанотрубки

Стереопары

Способы получения изображения в РЭМ Вторичные электроны Упруго-отраженные электроны – Элементный контраст – Топографический контраст Катодолюминесценция Наведенный ток

Спектр вторичных электронов

Оже-спектроскопия

Характеристический рентген

Способы детектирования характеристического рентгеновского излучения Волновой спектрометр Энерго-дисперсионный спектрометр

Волновой спектрометр

Операционный усилитель

Глаз мухи

Яичная скорлупа и крыло бабочки

Спасибо за внимание!