Разработка базовой технологии сборки и монтажа металлокерамического объемного электронного модуля для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления.

Схема базового технологического процесса изготовления металлокерамических объемных (3D) электронных модулей (ОЭМ) МК ЛРПА «Т»

Подготовка керамических подложек ЛРПА МК Лазерное фрезерование керамических подложек ЛРПА ОКУ Химическая обработка деталей ОЭМ ЛРПА ОКУ Механическая обработка торцевой поверхности деталей ОЭМ ЛРПА ОКУ Формирование металлизированной токопроводящей разводки и межслойных переходов ЛРПА МК Химическое осаждение покрытия Ni-P на детали ОЭМ ЛРПА МК Контроль качества электрических параметров деталей ОЭМ ЛРПА ОКУ Изготовление рабочих фотошаблонов ЛРПА МК Изготовление прецизионных ферромагнитных масок ЛРПА МК Регенерация металлизированной токопроводящей разводки деталей ОЭМ ЛРПА ОКУ

Обслуживание деталей ОЭМ ЛРПА МК Контроль электрических параметров деталей ОЭМ ЛРПА ОКУ Сборка кристаллодержателей ОЭМ со сквозными токопроводящими каналами ЛРПА МК Контроль электрических параметров кристаллодержателей ОЭМ ЛРПА ОКУ Монтаж кристалла ИС на кристаллов держатель на клей (эвтектику) ЛРПА ОКУ Присоединение выводов кристалла к контактным площадкам кристаллодержателя ультразвуковой сваркой ЛРПА ОКУ Заливка кристалла компаундом ЛРПА ОКУ Контроль внешнего вида кристаллодержателей ОЭМ в сборе с кристаллами ИС ЛРПА ОКУ Функциональный контроль кристаллодержателей ОЭМ в сборе с кристаллом ИС ЛРПА ОКУ Сборка объемного (ЗD) ОЭМ со сквозными токопроводящими каналами ЛРПА МК Контроль внешнего вида ОЭМ ЛРПА ОКУ Контроль электрических параметров ОЭМ ЛРПА ОКУ

Обслуживание торцевых поверхностей ОЭМ ЛРПА ОКУ Формирование системы внешних выводов ЛРПА ОКУ Контроль габаритных, установочных и присоединительных размеров ОЭМ ЛРПА ОКУ Проверка натекания ОЭМ ЛРПА ОКУ Функциональный контроль ОЭМ ЛРПА ОКУ Проведение приемочных испытаний ОЭМ ЛРПА ОКУ Упаковка ОЭМ ЛРПА ОКУ

Детали объемного 3D модуля

Сборочная единица объемного 3D модуля (кристаллов держатель)

Кристаллодержатель объемного 3D модуля СОЗУ 16М

Объемный электронный 3D модуль

Макетные образцы объемного 3D модуля СОЗУ 64М.

Схема объемного электронного 3D модуля для средств сбора и хранения данных

АКТ сдачи-приемки 1 этапа ОКР «Разработка базовой технологии сборки и монтажа металлокерамического объемного электронного модуля для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления», шифр «Ростра», выполняемой по государственному контракту от г. Настоящий акт составлен в том, что Исполнитель Закрытое акционерное общество «Научно-производственное объединение «НИИТАЛ» (ЗАО «НПО «НИИТАЛ»), в лице директора Серегина Вячеслава Сергеевича, действующего на основании Устава, сдал, а Заказчик Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России), в лице директора Департамента радиоэлектронной промышленности Якунина Александра Сергеевича, действующего на основании доверенности от г. ХВ-71/14, принял выполненные в соответствии с 1 этапом ведомости исполнения следующие работы: 1. Разработка технического проекта. 2. Изготовление макета объемного электронного модуля. и полученные результаты: Документация технического проекта – 1 компл. Макет объемного электронного модуля - 2 компл. Перечисленные работы выполнены согласно утвержденному техническому заданию и ведомости исполнения в полном объеме и в установленные сроки. Срок выполнения 1 этапа по ведомости исполнения с даты заключения государственного контракта – ноябрь 2011 г. Цена 1 этапа по государственному контракту составляет ,00 (Пятнадцать миллионов) рублей, НДС не облагается. Стоимость выполненных работ по 1 этапу составляет ,00 (Пятнадцать миллионов) рублей, НДС не облагается. Сумма аванса, перечисленная Исполнителю на выполнение 1 этапа составила ,00 (Четыре миллиона пятьсот тысяч) рублей, НДС не облагается. Следует к перечислению Исполнителю ,00 (Десять миллионов пятьсот тысяч) рублей, НДС не облагается.

Работу сдал: Генеральный директор ЗАО «НПО «НИИТАЛ» В.С. Серегин «____» ___________ 2011 г. м.п. Работу принял: Директор Департамента радиоэлектронной промышленности Минпромторга России А.С. Якунин «____» _____________2011 г. м.п. Согласовано Директор (Заместитель директора) Департамента корпоративного управления и федеральных целевых программ Минпромторга России «____» _____________ 2011 г. Приложения: 1. Справка - отчет по 1 этапу на 4 листах. 2. Справка о привлечении внебюджетных средств на 2 листах. 3. Перечень РНТД, созданных в процессе 1 этапа на 1 листе. 4. Сохранная расписка на 1 листе.

Приложение 4 к акту сдачи-приемки 1 этапа ОКР «Ростра» Сохранная расписка ЗАО «НПО «НИИТАЛ» Составлена 28 октября 2011 г. Настоящая сохранная расписка выдана Закрытым акционерным обществом «Научно- производственное объединение «НИИТАЛ» в том, что материальные ценности и документация технического проекта (1 компл.), разработанные и изготовленные в ходе выполнения 1 этапа ОКР «Разработка базовой технологии сборки и монтажа металлокерамического объёмного электронного модуля для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления», шифр «Ростра», за счет средств Заказчика Министерства промышленности и торговли Российской Федерации по государственному контракту от г., являются собственностью Заказчика и находятся на ответственном хранении у Исполнителя. 1. Материальные ценности п.п. Наименование материальных ценностей, их тип (марка) Кол-во Техническое состояние Стоимость по данным бухгалтерского учета, руб Макет объемного электронного модуля 2 Пригодны для дальнейших исследований ,00

Генеральный директор ЗАО «НПО «НИИТАЛ» ______________ В.С. Серегин «___» __________ 2011 г. Главный бухгалтер ЗАО «НПО «НИИТАЛ». ______________ Л.А. Грошкова «___» _________ 2011 г. Принятые на ответственное хранение материальные ценности по п.1 (макеты объёмного электронного модуля - 2 компл.) хранятся в отделе 1 в сейфе 3 ЗАО «НПО «НИИТАЛ». Принятая на ответственное хранение документация технического проекта (1 компл.) хранится в отделе 1 в сейфе 2 ЗАО «НПО «НИИТАЛ». Материально-ответственное лицо ЗАО «НПО «НИИТАЛ», начальник отдела 1 _____________И.Е. Русанов «___» __________ 2011 г. 2. Документация технического проекта ЛРПА по ОКР «Разработка базовой технологии сборки и монтажа металлокерамического объёмного электронного модуля для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления», шифр «Ростра», инв. 5ТП/11.

Выписка из решения НТС ЗАО «НПО «НИИТАЛ» 7/11 от 28 октября 2011 г. по обсуждению результатов ОКР «Разработка базовой технологии сборки и монтажа металлокерамического объёмного электронного модуля для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления», шифр «Ростра», (государственный контракт от г.), полученных при выполнении 1 этапа «Разработка технического проекта. Изготовление макета объёмного электронного модуля». Получены следующие результаты работы: 1. Документация технического проекта – 1 компл. 2. Макет объёмного электронного модуля - 2 компл. На основании статьи 1465 Гражданского кодекса Российской Федерации (часть четвертая) следующие результаты ОКР: документация технического проекта, относится к секретам производства (ноу-хау), так как она имеет действительную ценность, в том числе коммерческую, неизвестна третьим лицам, не имеет свободного доступа, и в отношении этого РНТД вводится режим коммерческой тайны на основе конфиденциальности: (далее перечисление секретов производства (ноу-хау). Исключительные права на РНТД принадлежат Заказчику. Соблюдение режима конфиденциальности определяется разделом VIII государственного контракта и обеспечивается Сторонами государственного контракта. Технические требования по 1 этапу ОКР «Ростра» выполнены полностью в соответствии с техническим заданием и ведомостью исполнения и в установленные сроки. НТС ЗАО «НПО «НИИТАЛ» рекомендует приступить к выполнению 2 этапа ОКР «Ростра» в соответствии с техническим заданием и ведомостью исполнения. Председатель НТС ЗАО «НПО «НИИТАЛ», д.т.н. В.С. Серегин

Приложение 2 к акту сдачи-приемки 1 этапа ОКР «Ростра» СПРАВКА об объемах финансирования и проведенных работах на 1 этапе ОКР «Ростра» за счет привлеченных внебюджетных средств в обеспечение выполнения государственного контракта от г. Перечень проведенных работ за счет привлеченных внебюджетных средств Собст- венные средства Кредит ы Инвестици и Российских инвесторов Инвестици и иностранной ых инвесторов Прочие средств а Модернизация технологической установки вакуумного магнетронного распыления металлов для формирования многослойной металлизированной разводки коммутационных подложек объемных электронных модулей 2 700,00 –––– Модернизация технологической лазерной установки для формирования межслойных переходов 2 200,00 –––– Изготовление специализированной технологической оснастки для лазерного фрезерования керамических подложек деталей объемного электронного модуля 800,00 –––– Отработка режимов лазерного фрезерования конструктивных элементов объемного электронного модуля 600,00 Разработка и изготовление специализированной технологической оснастки для формирования многослойной металлизированной разводки коммутационных подложек модулей. 700,00 Отработка режимов формирования прецизионной металлизированной топологической разводки коммутационных слоев 500,00 Итого по 1 этапу: 7 500,00–––– Всего в.7 500,00

По плану на 2011 г. – тыс. руб. Привлечено в 2011 г – 7 500,0 тыс. руб. Отклонение от плана 2011 г. – 0 руб. Генеральный директор ЗАО «НПО «НИИТАЛ» _______________В.С. Серегин м.п. Главный конструктор ОКР, первый заместитель генерального директора ______________Л.В. Пилавова

Приложение 3 к акту сдачи-приемки 1 этапа ОКР «Ростра» Перечень РНТД, созданных ЗАО "НПО "НИИТАЛ" в процессе выполнения 1 этапа по госконтракту от г., по ОКР "Ростра«

Приложение 1 к акту сдачи-приемки 1 этапа ОКР «Ростра» Справка – отчет о результатах выполнения 1 этапа ОКР «Ростра» Перечень научно-технической продукции, созданной в рамках 1 этапа ОКР «Ростра»: 1.1. Технический проект «Разработка базовой технологии сборки и монтажа металлокерамического объёмного электронного модуля для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления», ЛРПА , утверждённый от г. Решение НТС ЗАО «НПО «НИИТАЛ» 7/11 от г Конструкторская и технологическая документации на металлокерамический объёмный электронный модуль для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления Конструкторская документация литеры «Т»: - сп ецификация на объёмный модуль сбора и хранения данных ЛРПА ; - сборочный чертеж на металлокерамический объёмный электронный модуль сбора и хранения данных ЛРПА СБ; - спецификация на объёмный модуль СОЗУ 64М ЛРПА ; - сборочный чертеж на металлокерамический объёмный модуль хранения данных СОЗУ 64М ЛРПА СБ; - схема электрическая принципиальная ЛРПА Э3; - чертеж крышки модуля хранения данных СОЗУ 64М ЛРПА ; - спецификация на кристаллов держатель СОЗУ 16М ЛРПА ; - сборочный чертеж на кристаллов держатель СОЗУ 16М ЛРПА СБ - схемы подключения ЛРПА Э5, ЛРПА Э5, ЛРПА Э5, ЛРПА Э5 - спецификация на кристаллов держатель ЛРПА ; - сборочный чертеж на металлокерамический кристаллов держатель ЛРПА СБ; - чертеж на основание кристаллодержателя ЛРПА ; - чертеж намикроплату кристаллодержателя ЛРПА ; - чертеж на рамку кристаллодержателя ЛРПА ; - спецификация на объёмны модуль ПЗУ 64М ЛРПА ; - сборочный чертеж на металлокерамический объёмный модуль долговременного хранения данных ПЗУ 64М ЛРПА СБ;

- схема электрическая принципиальная на модуль долговременного хранения данных ПЗУ 64М ЛРПА Э3; - чертеж платы крышки модуля ПЗУ 64М ЛРПА ; - спецификация на кристаллов держатель ПЗУ 16М ЛРПА ; - сборочный чертеж на металлокерамический кристаллов держатель ПЗУ 16 М ЛРПА СБ; - чертежи на Кристаллодержатели ПЗУ 16М ЛРПА , ЛРПА , ЛРПА Технологическая документация литеры «Т»: - схема базового технологического процесса изготовления металлокерамического объёмного электронного модуля; - маршрутная карта базового технологического процесса сборки и монтажа металлокерамического объёмного электронного модуля для средств сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления ЛРПА МК Макет объёмного электронного модуля - 2 компл. 2. Краткое техническое описание выполненной работы 2.1. Наименование и назначение разработанной технологии. В процессе выполнения ОКР «Ростра» разрабатывается базовая технология сборки и монтажаметаллокерамических объёмных электронных модулей, предназначенных для использования в качестве блока сбора и хранения данных вычислительных комплексов систем управления как специального назначения так и для использования в вычислительной, телекоммуникационной, медицинской, авиационной технике общего назначения. На 1 этапе ОКР разработан технический проект ЛРПА ТП, в котором уточнен состав металлокерамического объёмного 3D электронного модуля блока сбора и хранения данных, состоящий из объёмного модуля хранения данных (СОЗУ 64М) на базе кристалла 1645РУ4, объёмного модуля долговременного хранения данных (ППЗУ 64М) на базе кристалла 1636РР2 и объёмного электронного модуля хранения данных (ПРЦ) на базе кристалла 1986ВЕ91. Состав модуля представлен в таблице 1.

Таблица 1 Состав и основные требования к параметрам опытных образцов объемного электронного модуля п/п Наименование параметра Значение 1 Тип используемого микропроцессора 1986ВЕ91 2Рабочая частота ядра микросхемы, МГц 80 3Тип используемой ОЗУ 1645РУ4Т 4Объем ОЗУ, Мбит 64 5Тип используемой ПЗУ 1636РР2У 6Напряжение питания, В 3,3…3,6 7 Диапазон рабочих температур, С - 45 … + 85

2.2. В рамках 1 этапа ОКР «Ростра» выполнены следующие работы: Разработана конструкция металлокерамических объемных 3D электронных модулей блока сбора и хранения данных, представляющая собой вертикальный блок из кристаллодержателей на основе керамических подложек с установленными кристаллами ИС, соединенных между собой сквозными токопроводящими каналами Разработана принципиальная электрическая схема металлокерамического объемного 3D электронного модуля, объединяющая модуль хранения данных СОЗУ 64М, модуль долговременного хранения данных ППЗУ 64М и модуль сбора данных ПРЦ и обеспечивающая его работоспособность Разработана схема технологического процесса изготовления металлокерамического объёмного 3D электронного модуля и определены основные технологические операции, подлежащие разработке Разработан технологический маршрут изготовления металлокерамического объёмного 3D электронного модуля с применением экологически чистых операций Проведен расчет разработанной конструкции металлокерамического объёмного 3D электронного модуля по определению величины деформаций и напряжений, возникающих в многослойном «пакете» из материалов с различными КЛТР при повышенной температуре с целью обоснования выбранной конструкции Проработаны вопросы надёжности конструкции металлокерамического объёмного 3D электронного модуля и определены требования по сохроняемости и безотказности. Рассмотрены вопросы совместимости, взаимозаменяемости и безопасности разработанной конструкции металлокерамического объёмного 3D электронного модуля Проведены расчеты показателей унификации и стандартизации разработанного объёмного электронного модуля. Уровень унификации – более 70 % Изготовлены макеты металлокерамического объемного 3D электронного модуля блока сбора и хранения данных в количестве 2 штук Проведены исследования макетов металлокерамических объемных электронных модулей по утвержденной программе для подтверждения соответствия разрабатываемой технологии требованиям ТЗ. Оформлены протоколы исследований Основные технические характеристики разрабатываемой базовой технологии приведены в таблице 2.

Таблица 2 Наименование параметра Требования к параметру по ТЗ Полученные параметры 1 Минимальная ширина проводников, мм 0,1 1 2 Минимальная ширина зазора между проводниками, мм 0,1 1 3 Диаметр межслойных переходных отверстий, мм 0,2 … 0,4 1 4 Минимальная конусность отверстий, полученных лазерным фрезерованием, мм 0,05 … 0,1 1 5 Материал токопроводящей разводки проводниковTi - Cu - Ni 1 6 Материал подложки модулякерамика AlN 1 7 Количество слоев коммутации 4 … 8

2.4. Область применения. Потенциальные потребители. Основными потребителями разрабатываемого металлокерамического объемного 3D электронного модуля блока сбора и хранения данных являются разработчики радиоэлектронной аппаратуры авиационной техники, ракетно-космических систем, систем связи, навигации и телекоммуникаций, медицинской и автомобильной техники. В России промышленно выпускаемых аналогов нет. Генеральный директор ЗАО «НПО «НИИТАЛ» _____________ В.С. Серегин «____» ___________ 2011 г. М.П.

Спасибо за внимание