Коррекция нелинейности сканера АСМ по изображениям тестовых структур Научный руководитель Малевич А.Э. доцент кафедры ДУ, кандидат физ.-мат. наук Лукьянова. - презентация

1 Коррекция нелинейности сканера АСМ по изображениям тестовых структур Научный руководитель Малевич А.Э. доцент кафедры ДУ, кандидат физ.-мат. наук Лукьянова М.Ю. БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ МЕХАНИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ КАФЕДРА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ

2 Содержание Актуальность Цели и задачи Основные понятия Объект и предмет исследований Научная гипотеза Основные результаты Положения, выносимые на защиту

3 Актуальность Широкое применение методов атомно-силовой микроскопии Расхождение теоретических результатов измерений при помощи АСМ с данными, получаемыми на практике. Необходимость калибровки устройства АСМ для устранения ошибок измерений

4 Цели и задачи Разработать алгоритм для корректировки нелинейности сканера АСМ по изображениям тестовых структур

5 Основные понятия Нелинейность сканера – нелинейная функциональная зависимость ширины шага при перемещении зонда сканера Корректирующая функция – функция, устраняющая последствия влияния нелинейности сканера на полученных изображениях

6 Основные понятия Тестовая структура - специальный периодический поверхностный образец с известными физическими и геометрическими параметрами

7 Объект и предмет исследования Объект исследования – АСМ-изображения тестовых структур Предмет исследования – алгоритмы обработки и анализа изображений (извлечения данных), методы численного приближения корректирующей функции

8 Научная гипотеза Предварительная обработка изображения Извлечение из обработанного изображения значимой информации (определенных точек) Построение по данным точкам корректирующей функции

9 Основные результаты Разработан набор фильтров для очистки изображения от помех и устранения тренда Разработан алгоритм выделения опорных точек изображения Интерполяция корректирующей функции

10 Основные результаты Применение фильтров

11 Основные результаты Выделение опорных точек

12 Основные результаты Корректирующая функция

13 Положения, выносимые на защиту Алгоритм предварительной обработка АСМ- изображений тестовых структур при помощи разработанного набора фильтров Алгоритм коррекции нелинейности сканера АСМ на изображениях тестовых структур

14 Спасибо за внимание