E-mail: tarasov@hpld.ioffe.ru Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM e-mail: nike @hpld.ioffe.ru Производство мощных полупроводниковых. - презентация

1 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Производство мощных полупроводниковых лазеров ( = 0.8 – 1.8 мкм) Физико-Технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН Лаборатория Полупроводниковой люминесценции и инжекционных излучателей (Зав.лаб. – проф. Илья Сергеевич Тарасов) ООО «ЭЛЬФОЛЮМ» - Центр поддержки инноваций ФТИ им.Иоффе РАН (Ген.директор – Никита Александрович Пихтин) Контакты: Никита А. Пихтин Teл : Fax:

2 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Основное направление деятельности: Разработка, исследование и изготовление мощных полупроводниковых лазеров, излучающих в диапазоне длин волн нм. Основные виды изготавливаемых лазерных диодов: Одномодовые Фабри-Перо лазеры: Диапазон длин волн – 780 – 1800 нм Непрерывная излучаемая рабочая мощность – до 100 мВт Типы корпусов: SOT-148 ( 9 мм), открытый теплоотвод, носитель Многомодовые Фабри-Перо лазеры: Диапазон длин волн – 780 – 1800 нм Непрерывная излучаемая рабочая мощность – до 4 Вт Импульсная излучаемая рабочая мощность – до 100 Вт *Новинка !!! Типы корпусов: HHL, открытый теплоотвод, носитель

3 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Основные применения: Телекоммуникации Метрология (локация, контроль волокна, дальнометрия) Накачка волоконных и твердотельных лазеров Медицина (терапия, акупунктура, микрохирургия) Технологические процессы (резка и сварка металлов, гравировка) Военная промышленность (приборы ночного видения, дистанционные пускатели)

4 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM

5 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Выставка «Ганновер 2005»

6 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM CW W = 100μm λ = 1.06 μm P=16 W КПД = 74 % R s = 24 mΩ R t = 4 ºC / W Ватт – амперная характеристика и зависимость КПД от тока накачки для InGaAs/AlGaAs/GaAs лазерного диода

7 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Спектр излучения InGaAs/AlGaAs/GaAs лазеров со сверхшироким волноводом Ток накачки А А А А

8 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Перпендикулярное и параллельное дальнее поле InGaAs/AlGaAs/GaAs лазеров со сверхшироким волноводом Генерация только на основной моде I=15 A P=12 Вт CW

9 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Т = 65 о С – heatsink temperature Р op = 3-4 W – operating power I op = А - drive current Тестирование срока службы лазерных диодов Δ Р < 3% часов

10 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Structure: Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Lab Head: Prof. Ilya S.Tarasov Staff: 40 people Wafer growth technology Wafer Design MOCVD - EMCORE GS/3100 MBE, LPE Post-growth technology Photolithography Wet chemical etching Dielectric coating Ohmic contacts Dry plasma-ion etching - AlCATEL Magnetron sputtering Ti/Pt/Au Measurement of output parameters and aging tests Die bonding Wire bonding Packaging Chip-on-submount SOT-148 C-mount or any heatsink HHL Wafer Characterization (PL, EL,AFM, TEM, SEM, X-ray) Mounting ELFOLUMELFOLUM Sales and management Start-up company

11 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM EMCORE installation for MOCVD growth of laser heterostructures 2- substrate rotation holder high homogeneity growth of thin layers

12 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Post-growth process: Photolithography installation 2 wafer processing Mesastripe photomask formation

13 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Post - growth process: Dry ion-plasma etching Mesastripe formation Vertical sidewalls Precise etching depth

14 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Post - growth process: Coating deposition on laser diode facets Magnetron sputtering Layer thickness control Antireflection/ Highreflection coating

15 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Post - growth process: Laser diode mounting and packaging Die bonding Precise chip position Wire bonding

16 Semiconductor Luminescence and Injection Emitters Laboratory ELFOLUM Test and measurement of laser diode output parameters L-I, V-I characteristics Beam divergence Emitting spectra Aging tests