Методика спектроскопии рассеяния ионов средних энергий. - презентация

1 Методика спектроскопии рассеяния ионов средних энергий.

2 Методика СРИСЭ Физической основой методики спектроскопии рассеяния ионов средних энергий (СРИСЭ) является резерфордовское обратное рассеяния. Пучок ускоренных заряженных частиц (1), попадает на образец (2), находящегося при свер х высоком вакууме. Часть ионов рассеивается на атомах мишени (3) и регистриру е тся детектором(4).

3 Методика СРИСЭ Отличительн ыми особенност ями методики явля ю тся: 1.Использование анализирующего пучка ионов меньшей энергий по сравнению с традиционными ионно- пучковыми методиками ; 2.Применение уникальной системы детектирования ионов, позволяющей проводить исследования структур с разрешением по глубине до одн ого моносло я ; 3.Проведение исследований без разрушения образцов при сверхвысоком вакууме.

4 Актуальность и новизна Исследование структуры наноразмерных многослойных покрытий и пленок; Высокая чувствительность элементного (изотопного) состава покрытий и пленок; Определение глубины залегания элементов и их распределение с разрешением до монослоя; Возможность одновременного анализа кристалличности образца.

5 Экспериментальный комплекс методики СРИСЭ Комплекс построен на базе ускорителя HVEE c энергиями анализирующего пу ч ка ионов до 500кэВ.

6 Экспериментальный комплекс методики СРИСЭ Внешний вид камеры для исследования образцов с помощью методики СРИСЭ с системой откачки до сверхвысокого вакуума

7 Экспериментальный комплекс методики СРИСЭ Внутренний вид камеры: по центру - гониометрическая система, слева - система диафрагм, на дальнем плане - уникальный тороидальный электростатический анализатор.

8 Достигнутые результаты MgO(подложка)/Fe/BaTiO 3 – перспективн ый материал для создания устройств хранения информации на основе новых физических механизмов. Исследуемый образец – наноразмерная тонкопленочная структура

9 Структура исследовалась несколькими методиками (РОР, СЭМ, ПЭМ,АСМ) однако, однако они имеют ряд недостатков: 1.Многие из них являются разрушающими, что не желательно в случае исследования современных дорогостоящих структур микро- и наноэлектроники; 2.Другие не позволяют проводить анализ элементного состава по глубине; 3.Ряд методов име е т недостаточное разрешение по глубине для решения современных задач микро- и наноэлектроники. Достигнутые результаты

10 С помощью методики СРИСЭ удалось разрешить пики Ti и Fe, а также удалось рассчитать толщину слоя титаната бария, составившую 64Å. Ti Fe Ba

11 Достигнутые результаты Разработан пакет программ, позволяющий производить сбор, сохранение и предварительную обработку данных программа в автоматическом режиме.

12 Цель проекта Создание уникального экспериментального комплекса, позволяющего проводить исследования с разрешением по глубине в один монослой; Доработка программного обеспечения, позволяющего производить исследования в автоматическом режиме.

13 Потенциальные потребители 1.Разработчики и производители элементов микро- и наноэлектроники, такие как Samsung, IBM, Philips, группа компаний Ангстрем и другие; 2.Научно-исследовательские организации; 3.Научные группы исследующие фундаментальные законы взаимодействия заряженных частиц с веществом.

14 Спасибо за внимание!